加工装置
【課題】ツールホルダを確実に支持してワークの複数の孔部に高精度な加工を効率的に行うとともに、汎用性に優れる加工装置を提供する。
【解決手段】加工装置１０は、刃具によりワークＷの孔部２６の内周面を加工するツールホルダ３６と、前記ツールホルダ３６に設けられ、加工済みの孔部２６の内周面に挿入されて前記刃具による次段の前記孔部２６の加工をサポートするサポート機構４２とを備える。サポート機構４２は、ツールホルダ３６の外周面との間に第１流体軸受７６を構成するとともに、前記ツールホルダ３６の回転及び軸方向への移動を許容するリング部材７８と、前記リング部材７８の外周面との間に第２流体軸受８０を構成し、前記ツールホルダ３６の径方向外方に拡径又は突出して加工済みの孔部２６の内周面に押圧される支持部材８２とを備える。
【解決手段】加工装置１０は、刃具によりワークＷの孔部２６の内周面を加工するツールホルダ３６と、前記ツールホルダ３６に設けられ、加工済みの孔部２６の内周面に挿入されて前記刃具による次段の前記孔部２６の加工をサポートするサポート機構４２とを備える。サポート機構４２は、ツールホルダ３６の外周面との間に第１流体軸受７６を構成するとともに、前記ツールホルダ３６の回転及び軸方向への移動を許容するリング部材７８と、前記リング部材７８の外周面との間に第２流体軸受８０を構成し、前記ツールホルダ３６の径方向外方に拡径又は突出して加工済みの孔部２６の内周面に押圧される支持部材８２とを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに同軸的に設けられた複数の孔部を加工するための加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、エンジンを構成するシリンダブロックでは、クランクシャフトを挿入するために、複数の貫通孔が所定の間隔ずつ離間して設けられている。従って、ワークであるシリンダブロックのクランクボーリング加工は、ラインボーリングバー（所謂、両持式ボーリングバー）を使用して専用加工機で行われている。
【０００３】
具体的には、ワークがリフトアップされた状態で、ラインボーリングバーが加工孔に挿入される。続いて、ワークの前方に配置されている治具サポートの孔に、ラインボーリングバーの先端が挿入されることにより、前記ボーリングバーの両端が支持される。そして、ワークが下降着座された後、両持方式のボーリングバーにより同時多刃式の加工が行われる。
【０００４】
しかしながら、この方式では、ワークの長さよりも長尺なボーリングバーが必要となり、前記ボーリングバーの先端を確実にサポートするサポート機構が必要となる。この種のサポート方法には、様々な工夫がなされており、例えば、特許文献１に開示されている中ぐり加工装置が知られている。
【０００５】
図１１に示すように、中ぐり加工装置１は、ベッド２上に設けられて被加工物Ｗを載置したテーブル３と、長尺の工具Ｔの一端を保持し回転させる主軸４とを相対移動させることにより、前記被加工物Ｗに形成された貫通穴５の内周面が加工されている。
【０００６】
ベッド２又はテーブル３上に設けられた支持ジグ６の筒状支持面７により、工具Ｔの他端又は中間部が支持されている。支持ジグ６を通して支持面７に流体が供給されることにより、前記支持面７と工具Ｔの外周面との間には、流体軸受が形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−１４１９８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記の特許文献１では、被加工物Ｗが載置されるテーブル３に、長尺の工具Ｔ（ボーリングバー）の先端をサポートする支持ジグ６が設けられている。このため、被加工物Ｗの貫通穴５の位置に対応して支持ジグ６を作製する必要があり、マシニングセンタが持つ加工の汎用性（ｆｌｅｘｉｂｉｌｉｔｙ）という高い機能が制約されてしまう。
【０００９】
すなわち、被加工物Ｗの貫通穴５の高さが変わると、それに対応して支持ジグ６の高さを変える必要がある。さらに、被加工物Ｗの長さが変わると、それに対応して支持ジグ６の位置も変える必要があり、複数の被加工物Ｗに対応することが容易ではないという問題がある。しかも、流体軸受と貫通穴５までの距離は、前記貫通穴５毎に異なるため、加工条件も異なる。
【００１０】
さらにまた、支持ジグ６と工具Ｔの間で流体軸受が構成されている。この流体軸受は、機械内の切削粉が飛散する所に設置され、クーラント噴流や切削水により切屑が巻き上がったり、はね返ったりして前記流体軸受にかかるおそれがある。これにより、流体軸受に切粉等が介在して、支持ジグ６と工具Ｔの間で食い付き等が惹起されるという問題がある。
【００１１】
本発明はこの種の問題を解決するものであり、ツールホルダを確実に支持してワークの複数の孔部に高精度な加工を効率的に行うとともに、汎用性に優れる加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、ワークに同軸的に設けられた複数の孔部を加工するための加工装置に関するものである。この加工装置は、スピンドルに連結されて回転し、工具により孔部の内周面を加工するツールホルダと、前記ツールホルダに設けられ、加工済みの孔部内周面に挿入されて前記工具による次段の前記孔部の加工をサポートするサポート機構とを備えている。
【００１３】
そして、サポート機構は、ツールホルダの外周面との間に第１流体軸受を構成するとともに、前記ツールホルダの回転及び軸方向への移動を許容するリング部材と、前記リング部材の外周面との間に第２流体軸受を構成し、前記ツールホルダの径方向外方に拡径又は突出して加工済みの孔部内周面に押圧される支持部材とを備えている。
【００１４】
また、この加工装置では、サポート機構は、ツールホルダの外周面に形成される第１ノズルと、前記第１ノズルから流体が噴射される第１チャンバと、前記第１チャンバから前記流体を流出させる第１リーク溝と、リング部材に径方向に貫通形成される第２ノズルと、前記第２ノズルから前記流体が噴射される第２チャンバと、前記第２チャンバから前記流体を流出させる第２リーク溝とを設け、第１流体軸受は、前記第１チャンバ及び前記第１リーク溝を備える一方、第２流体軸受は、前記第２チャンバ及び前記第２リーク溝を備えることが好ましい。
【００１５】
さらに、この加工装置では、ツールホルダの内部には、流体であるクーラント液を流通させるクーラント流路が形成されるとともに、前記クーラント流路は、工具による加工部位に前記クーラント液を供給する第１分岐流路と、サポート機構に前記クーラント液を供給する第２分岐流路とを有することが好ましい。
【００１６】
さらにまた、この加工装置では、ツールホルダには、流体の圧力により前記ツールホルダの径方向に工具の位置を調整可能な補正ヘッドが設けられることが好ましい。
【００１７】
また、この加工装置では、支持部材は、一部が分離された断面Ｃ形状を有する弾性Ｃリング部材であり、前記弾性Ｃリング部材の内周面には、第２流体軸受を形成して拡縮自在な変形リング部材が配設されることが好ましい。
【００１８】
さらに、この加工装置では、支持部材は、第２流体軸受を形成するカバーリング部材に、径方向に進退自在に設けられるシュー部材であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係る加工装置では、ツールホルダに設けられるサポート機構は、加工済みの孔部内周面に挿入されることにより、工具による次段の孔部の加工をサポートしている。このため、複数の孔加工において、サポート機構によるサポート位置から加工する孔部までの位置関係は、前記孔部毎に同じ条件となる。従って、ツールホルダを確実に支持することができ、ワークの複数の孔部に高精度な加工を効率的に行うとともに、汎用性に優れる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】 本発明の第１の実施形態に係るボーリング加工装置の概略説明図である。
【図２】 前記ボーリング加工装置の要部断面図である。
【図３】 前記ボーリング加工装置の、図２中、ＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。
【図４】 前記ボーリング加工装置を構成するサポート機構の、図３中、ＩＶ−ＩＶ線断面図である。
【図５】 短尺ツールでワークの孔部を加工する際の説明図である。
【図６】 前記短尺ツールに代えて本発明のツールホルダが取り付けられた状態の説明図である。
【図７】 前記サポート機構の動作説明図である。
【図８】 前記ツールホルダの動作説明図である。
【図９】 本発明の第２の実施形態に係るボーリング加工装置を構成するサポート機構の断面説明図である。
【図１０】 前記サポート機構の、図９中、Ｘ−Ｘ線断面図である。
【図１１】 特許文献１に開示されている中ぐり加工装置の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
図１に示すように、本発明の第１の実施形態に係るボーリング加工装置１０は、ベッド１２を備える。ベッド１２上には、一対のＸ軸ガイドレール１４を介して装置本体１６がＸ軸方向（一方の水平軸方向）に進退自在に載置されるとともに、一対のＺ軸ガイドレール１８を介してワークテーブル２０がＺ軸方向（Ｘ軸に交差する他方の水平軸方向）に進退自在に載置される。
【００２２】
ワークテーブル２０は、Ｚ軸ガイドレール１８上に配置される基台２２を備え、前記基台２２上に設けられるテーブル２４には、ワークＷ、例えば、シリンダブロックが位置決め保持される。ワークＷは、ボーリング加工される複数の孔部（ジャーナル孔）２６、例えば、５つの孔部２６ａ〜２６ｅ（以下、単に孔部２６ともいう）を同軸的に設けている。
【００２３】
装置本体１６の正面には、鉛直方向（矢印Ｙ方向）に延在して一対のＹ軸ガイドレール２８が設けられる。Ｙ軸ガイドレール２８には、昇降部３０が矢印Ｙ方向に進退自在に支持されるとともに、前記昇降部３０には、回転駆動源３２に連結されてスピンドル３４が回転軸を水平方向に延在して設けられる。スピンドル３４には、ツールホルダ３６が離脱自在に取り付けられる。
【００２４】
ツールホルダ３６には、流体の圧力により前記ツールホルダ３６の径方向（矢印Ａ方向）に刃具（工具）３８の位置を調整可能な補正ヘッド４０と、加工済みの孔部２６の内周面に挿入されて前記刃具３８による次段の孔部、例えば、孔部２６ｃ〜２６ｅの加工をサポートするサポート機構４２とが設けられる。
【００２５】
図２に示すように、ツールホルダ３６内には、補正ヘッド４０を外部からの駆動用エアにより調整するための駆動力伝達部４４が設けられる。駆動力伝達部４４には、駆動用エア管路４６を介して駆動用エアが供給される。駆動力伝達部４４は、ブースタ構造を採用しており、駆動用エア管路４６に連通する空圧シリンダ部４８と、前記空圧シリンダ部４８よりも少容量な第１油圧シリンダ部５０とを直列的に備える。空圧シリンダ部４８には、ピストン５２が摺動自在に配置され、このピストン５２から延在するロッド５４は、第１油圧シリンダ部５０内に摺動シール５６を介装して突出する。
【００２６】
第１油圧シリンダ部５０は、油圧管路５８を介してパワーユニット６０に連通する。パワーユニット６０は、ヘッドハウジング６２内に収容され、油圧管路５８に連通する第２油圧シリンダ部６４と、ピストン６６とを備える。ピストン６６は、スピンドル３４の径方向（矢印Ａ方向）に進退可能である。ヘッドハウジング６２には、Ｓ字状のスリット６８が形成されるとともに、このヘッドハウジング６２は、パワーユニット６０に補正の油圧が作用する際に、径方向外方に押圧されて前記Ｓ字状のスリット６８を介して矢印Ａ１方向に変位する。
【００２７】
ツールホルダ３６内には、前記ツールホルダ３６の軸方向に延在してクーラント液（流体）を流通させるクーラント流路７０が形成される。クーラント流路７０は、刃具３８による加工部位にクーラント液を供給する第１分岐流路７２と、サポート機構４２に前記クーラント液を供給する４本の第２分岐流路７４とを設ける。第２分岐流路７４は、ツールホルダ３６の径方向に９０°間隔ずつ離間して放射状に延在する。
【００２８】
図３に示すように、サポート機構４２は、ツールホルダ３６の外周面との間に第１流体軸受７６を構成するとともに、前記ツールホルダ３６の回転及び軸方向への移動を許容するリング部材７８と、前記リング部材７８の外周面との間に第２流体軸受８０を構成し、前記ツールホルダ３６の径方向外方に拡径して加工済みの孔部２６（孔部２６ａ〜２６ｅの任意の１つ）の内周面に押圧される支持部材８２とを備える。
【００２９】
図３及び図４に示すように、サポート機構４２は、ツールホルダ３６の外周面に形成される第１ノズル８４と、前記第１ノズル８４からクーラント液が噴射される第１チャンバ８６と、前記第１チャンバ８６から前記クーラント液をツールホルダ３６の外周面に沿って円周状に流出させる第１リーク溝８８とを設ける。
【００３０】
サポート機構４２は、さらにリング部材７８に径方向に貫通形成される第２ノズル９０と、前記第２ノズル９０からクーラント液が噴射される第２チャンバ９２と、前記第２チャンバ９２から前記クーラント液を流出させる第２リーク溝９４とを設ける。第１流体軸受７６は、第１チャンバ８６及び第１リーク溝８８を備える一方、第２流体軸受８０は、第２チャンバ９２及び第２リーク溝９４を備える。
【００３１】
支持部材８２は、一部が分離された断面Ｃ形状を有する弾性Ｃリング部材であり、前記弾性Ｃリング部材の内周面には、第２流体軸受８０を形成して拡縮自在な変形リング部材９６が配設される。変形リング部材９６は、例えば、樹脂材で形成されるとともに、前記変形リング部材９６は、クランプリング９７を介して保持される（図４参照）。変形リング部材９６の内周面とリング部材７８の外周面との間に、例えば、４本のゴム棒体９８が介装されることにより、４つの第２チャンバ９２が分割形成される（図３参照）。
【００３２】
図２に示すように、ツールホルダ３６の軸方向先端側には、段部１００ａ、１００ｂを介して小径部が設けられる。この段部１００ａには、スプリング１０２の一端が当接する一方、前記スプリング１０２の他端がリング部材７８の一方の端面に当接する。リング部材７８の他方の端面は、段部１００ｂに当接することにより、刃具３８とサポート機構４２との間隔を一定に維持している。
【００３３】
このように構成されるボーリング加工装置１０の動作について、以下に説明する。
【００３４】
図１に示すように、ワークテーブル２０を構成するテーブル２４には、ワークＷが位置決め保持される。一方、装置本体１６を構成するスピンドル３４には、例えば、図５に示すように、短尺ツールであるツールホルダ３６ｓが取り付けられる。
【００３５】
ツールホルダ３６ｓは、ツールホルダ３６に比べて相当に短尺に構成されており、サポート構造を用いることなく、撓み等の変形が可及的に防止されている。ツールホルダ３６ｓは、補正ヘッド４０を備えるとともに、刃具３８を設ける。なお、初期サポート機能が不要であれば、ツールホルダ３６ｓを使用することなく、直接、ツールホルダ３６を使用して加工を開始してもよい。
【００３６】
また、本実施形態では、以下に説明するように、ツールホルダ３６ｓによりワークＷの２つの孔部２６ａ、２６ｂを加工するものであるが、これに限定されるものではない。例えば、ツールホルダ３６ｓによりワークＷの孔部２６ａを加工した後、他の孔部２６ｂ〜２６ｅを、全てツールホルダ３６により加工してもよい。
【００３７】
あるいは、ツールホルダ３６ｓによりワークＷの２つの孔部２６ａ、２６ｂを加工をした後、前記ワークＷを反転して前記ツールホルダ３６ｓにより該ワークＷの孔部２６ｅ、２６ｄを加工し、さらにツールホルダ３６により前記ワークＷの残りの孔部２６ｃを加工することもできる。
【００３８】
一方、ワークＷは、同軸上に５つの孔部２６ａ〜２６ｅを備えているが、これに限定されるものではなく、６つ以上の孔部や４つ以下の孔部を有する種々のワークＷにも適用可能である。
【００３９】
そこで、ツールホルダ３６ｓは、スピンドル３４に装着された状態で、装置本体１６がＸ軸方向に移動されるとともに、昇降部３０が矢印Ｙ方向に進退されて前記ツールホルダ３６ｓは、ワークＷに対して位置決めされる。この状態で、スピンドル３４の回転作用下に、ツールホルダ３６ｓが回転しながら、ワークＷは、Ｚ軸方向前方（装置本体１６側）に移動する。従って、回転する刃具３８により、ワークＷには、１番目の孔部２６ａと２番目の孔部２６ｂとの孔加工が、順次、行われる。
【００４０】
次いで、ツールホルダ３６ｓがスピンドル３４から離脱された後、ツールホルダ３６が前記スピンドル３４に取り付けられる。そして、ツールホルダ３６の先端がワークＷの内部に相対的に挿入され、刃具３８が孔部２６ｃの直前に配置されると、クーラント流路７０にクーラント液が供給される（図２参照）。
【００４１】
クーラント流路７０に供給されたクーラント液は、一部分が第１分岐流路７２に導入されて刃具３８による加工部位に噴射される。クーラント液の残余の部分は、４本の第２分岐流路７４に導入され、図３に示すように、ツールホルダ３６の径方向に９０°間隔ずつ離間して放射状に流動する。
【００４２】
第２分岐流路７４に導入されたクーラント液は、先ず、ツールホルダ３６の外周面に形成される第１ノズル８４で流量が調整されて第１チャンバ８６に流入される。この第１チャンバ８６に貯留されるクーラント液は、第１リーク溝８８の僅かな隙間から外部に流出することにより、第１流体軸受７６が構成される。このため、リング部材７８とツールホルダ３６との間には、求心性が確保されるとともに、サポート剛性の向上を図ることができる。
【００４３】
さらに、図４に示すように、第１チャンバ８６に貯留されるクーラント液は、第２ノズル９０で流量が調整されて第２チャンバ９２に流入される。第２チャンバ９２に貯留されるクーラント液の圧力は、変形リング部材９６を拡張させることができる。この変形リング部材９６が拡張することにより、支持部材８２が拡張される。これにより、拡張された支持部材８２は、加工済みの孔部２６ｂの内周面に密着してサポート機能を発揮することが可能になる。
【００４４】
第２チャンバ９２に貯留されるクーラント液は、第２リーク溝９４の僅かな隙間から外部に流出することにより、第２流体軸受８０が構成される。従って、支持部材８２とリング部材７８との間には、求心性が確保されるとともに、サポート剛性の向上を図ることができる。
【００４５】
一方、補正ヘッド４０では、図２に示すように、駆動用エアが駆動用エア管路４６を介して駆動力伝達部４４を構成する空圧シリンダ部４８に供給される。空圧シリンダ部４８では、ピストン５２が矢印Ｂ方向に押圧され、前記ピストン５２が矢印Ｂ方向に移動する。このため、第１油圧シリンダ部５０内が加圧され、加圧された油がこの第１油圧シリンダ部５０から油圧管路５８を介してパワーユニット６０に供給される。
【００４６】
これにより、パワーユニット６０を構成する第２油圧シリンダ部６４内の油圧が高くなり、ピストン６６がスピンドル３４の径方向外方（矢印Ａ１方向）に移動する。従って、パワーユニット６０に補正の油圧が作用し、ヘッドハウジング６２が直径外方向に押圧され、Ｓ字状のスリット６８を介して刃具３８が矢印Ａ１方向に変位する。このため、補正ヘッド４０による刃具３８の位置調整が行われる。なお、補正ヘッド４０による調整作業は、必要に応じて行われる。
【００４７】
上記の状態は、図７に概略的に示されており、サポート機構４２がワークＷの孔部２６ｂの加工済み内周面に結合されることにより、回転するツールホルダ３６を保持するとともに、前記ワークＷが矢印Ｃ方向に移動する。従って、図８に示すように、サポート機構４２は、スプリング１０２の弾性力に抗して孔部２６ｂの加工済み内周面と一体に矢印Ｃ方向に移動する一方、ツールホルダ３６は、軸方向に移動することなく、回転する。これにより、ワークＷの３番目の孔部２６ｃの孔加工が行われる。
【００４８】
孔部２６ｃの孔加工が終了すると、サポート機構４２に付与されるクーラント液による液圧が解除される。このため、サポート機構４２は、収縮して孔部２６ｂの内周面から離脱し、スプリング１０２の弾性力により段部１００ｂに当接する位置（原位置）に復帰する。一方、補正ヘッド４０に供給されていた駆動用エアもリリースされる。以下、同様に、ワークＷの第４番目の孔部２６ｄ及び第５番目の孔部２６ｅの孔加工が行われる。
【００４９】
この場合、第１の実施形態では、ツールホルダ３６に設けられるサポート機構４２は、ワークＷの加工済みの孔部２６の内周面に挿入されて刃具３８による次段の孔部２６の加工をサポートしている。このため、複数の孔加工において、サポート機構４２によるサポート位置から加工する孔部２６までの位置関係は、前記孔部２６毎に同じ条件となる。
【００５０】
これにより、ツールホルダ３６を確実に支持することができ、ワークＷの複数の孔部２６に高精度な加工を効率的に行うとともに、汎用性に優れるという効果が得られる。
【００５１】
図９は、本発明の第２の実施形態に係るボーリング加工装置１１０を構成するサポート機構１１２の断面説明図である。なお、第１の実施形態に係るボーリング加工装置１０と同一の構成要素には、同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【００５２】
サポート機構１１２は、図９及び図１０に示すように、支持部材１１４を備えるとともに、前記支持部材１１４は、第２流体軸受８０を形成するカバーリング部材１１６に径方向に進退自在に設けられるシュー部材である。カバーリング部材１１６は、等角度間隔ずつ離間して径方向に貫通する４つの段付き開口部１１８を設け、前記段付き開口部１１８には、それぞれ支持部材１１４が前記径方向に進退自在に配設される。
【００５３】
このように構成される第２の実施形態では、第１の実施形態と同様に、第１チャンバ８６に貯留されるクーラント液は、第２ノズル９０で流量が調整されて第２チャンバ９２に流入される。第２チャンバ９２に貯留されるクーラント液の圧力は、支持部材１１４を直径外方向に移動させ、加工済みの孔部２６ｂの内周面に密着してサポート機能を発揮することが可能になる。
【００５４】
これにより、第２の実施形態では、上記の第１の実施形態と同様の効果が得られる。なお、第１及び第２の実施形態では、第１チャンバ８６と第２チャンバ９２とがそれぞれ４つの独立したチャンバで構成されているが、これに限定されるものではない。例えば、第１チャンバ８６を１つの円周状の溝により構成してもよく、また、ゴム棒体９８を用いずに１つの第２チャンバ９２を採用してもよい。
【符号の説明】
【００５５】
１０、１１０…ボーリング加工装置 １２…ベッド
１６…装置本体 ２０…ワークテーブル
２６、２６ａ〜２６ｅ…孔部 ３０…昇降部
３４…スピンドル ３６…ツールホルダ
３８…刃具 ４０…補正ヘッド
４２、１１２…サポート機構 ４４…駆動力伝達部
４８…空圧シリンダ部 ５０、６４…油圧シリンダ部
６０…パワーユニット ７０…クーラント流路
７２、７４…分岐流路 ７６、８０…流体軸受
７８…リング部材 ８２、１１４…支持部材
８４、９０…ノズル ８６、９２…チャンバ
８８、９４…リーク溝 ９６…変形リング部材
９８…ゴム棒体 １０２…スプリング
１１６…カバーリング部材
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに同軸的に設けられた複数の孔部を加工するための加工装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、エンジンを構成するシリンダブロックでは、クランクシャフトを挿入するために、複数の貫通孔が所定の間隔ずつ離間して設けられている。従って、ワークであるシリンダブロックのクランクボーリング加工は、ラインボーリングバー（所謂、両持式ボーリングバー）を使用して専用加工機で行われている。
【０００３】
具体的には、ワークがリフトアップされた状態で、ラインボーリングバーが加工孔に挿入される。続いて、ワークの前方に配置されている治具サポートの孔に、ラインボーリングバーの先端が挿入されることにより、前記ボーリングバーの両端が支持される。そして、ワークが下降着座された後、両持方式のボーリングバーにより同時多刃式の加工が行われる。
【０００４】
しかしながら、この方式では、ワークの長さよりも長尺なボーリングバーが必要となり、前記ボーリングバーの先端を確実にサポートするサポート機構が必要となる。この種のサポート方法には、様々な工夫がなされており、例えば、特許文献１に開示されている中ぐり加工装置が知られている。
【０００５】
図１１に示すように、中ぐり加工装置１は、ベッド２上に設けられて被加工物Ｗを載置したテーブル３と、長尺の工具Ｔの一端を保持し回転させる主軸４とを相対移動させることにより、前記被加工物Ｗに形成された貫通穴５の内周面が加工されている。
【０００６】
ベッド２又はテーブル３上に設けられた支持ジグ６の筒状支持面７により、工具Ｔの他端又は中間部が支持されている。支持ジグ６を通して支持面７に流体が供給されることにより、前記支持面７と工具Ｔの外周面との間には、流体軸受が形成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−１４１９８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、上記の特許文献１では、被加工物Ｗが載置されるテーブル３に、長尺の工具Ｔ（ボーリングバー）の先端をサポートする支持ジグ６が設けられている。このため、被加工物Ｗの貫通穴５の位置に対応して支持ジグ６を作製する必要があり、マシニングセンタが持つ加工の汎用性（ｆｌｅｘｉｂｉｌｉｔｙ）という高い機能が制約されてしまう。
【０００９】
すなわち、被加工物Ｗの貫通穴５の高さが変わると、それに対応して支持ジグ６の高さを変える必要がある。さらに、被加工物Ｗの長さが変わると、それに対応して支持ジグ６の位置も変える必要があり、複数の被加工物Ｗに対応することが容易ではないという問題がある。しかも、流体軸受と貫通穴５までの距離は、前記貫通穴５毎に異なるため、加工条件も異なる。
【００１０】
さらにまた、支持ジグ６と工具Ｔの間で流体軸受が構成されている。この流体軸受は、機械内の切削粉が飛散する所に設置され、クーラント噴流や切削水により切屑が巻き上がったり、はね返ったりして前記流体軸受にかかるおそれがある。これにより、流体軸受に切粉等が介在して、支持ジグ６と工具Ｔの間で食い付き等が惹起されるという問題がある。
【００１１】
本発明はこの種の問題を解決するものであり、ツールホルダを確実に支持してワークの複数の孔部に高精度な加工を効率的に行うとともに、汎用性に優れる加工装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、ワークに同軸的に設けられた複数の孔部を加工するための加工装置に関するものである。この加工装置は、スピンドルに連結されて回転し、工具により孔部の内周面を加工するツールホルダと、前記ツールホルダに設けられ、加工済みの孔部内周面に挿入されて前記工具による次段の前記孔部の加工をサポートするサポート機構とを備えている。
【００１３】
そして、サポート機構は、ツールホルダの外周面との間に第１流体軸受を構成するとともに、前記ツールホルダの回転及び軸方向への移動を許容するリング部材と、前記リング部材の外周面との間に第２流体軸受を構成し、前記ツールホルダの径方向外方に拡径又は突出して加工済みの孔部内周面に押圧される支持部材とを備えている。
【００１４】
また、この加工装置では、サポート機構は、ツールホルダの外周面に形成される第１ノズルと、前記第１ノズルから流体が噴射される第１チャンバと、前記第１チャンバから前記流体を流出させる第１リーク溝と、リング部材に径方向に貫通形成される第２ノズルと、前記第２ノズルから前記流体が噴射される第２チャンバと、前記第２チャンバから前記流体を流出させる第２リーク溝とを設け、第１流体軸受は、前記第１チャンバ及び前記第１リーク溝を備える一方、第２流体軸受は、前記第２チャンバ及び前記第２リーク溝を備えることが好ましい。
【００１５】
さらに、この加工装置では、ツールホルダの内部には、流体であるクーラント液を流通させるクーラント流路が形成されるとともに、前記クーラント流路は、工具による加工部位に前記クーラント液を供給する第１分岐流路と、サポート機構に前記クーラント液を供給する第２分岐流路とを有することが好ましい。
【００１６】
さらにまた、この加工装置では、ツールホルダには、流体の圧力により前記ツールホルダの径方向に工具の位置を調整可能な補正ヘッドが設けられることが好ましい。
【００１７】
また、この加工装置では、支持部材は、一部が分離された断面Ｃ形状を有する弾性Ｃリング部材であり、前記弾性Ｃリング部材の内周面には、第２流体軸受を形成して拡縮自在な変形リング部材が配設されることが好ましい。
【００１８】
さらに、この加工装置では、支持部材は、第２流体軸受を形成するカバーリング部材に、径方向に進退自在に設けられるシュー部材であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１９】
本発明に係る加工装置では、ツールホルダに設けられるサポート機構は、加工済みの孔部内周面に挿入されることにより、工具による次段の孔部の加工をサポートしている。このため、複数の孔加工において、サポート機構によるサポート位置から加工する孔部までの位置関係は、前記孔部毎に同じ条件となる。従って、ツールホルダを確実に支持することができ、ワークの複数の孔部に高精度な加工を効率的に行うとともに、汎用性に優れる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】 本発明の第１の実施形態に係るボーリング加工装置の概略説明図である。
【図２】 前記ボーリング加工装置の要部断面図である。
【図３】 前記ボーリング加工装置の、図２中、ＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。
【図４】 前記ボーリング加工装置を構成するサポート機構の、図３中、ＩＶ−ＩＶ線断面図である。
【図５】 短尺ツールでワークの孔部を加工する際の説明図である。
【図６】 前記短尺ツールに代えて本発明のツールホルダが取り付けられた状態の説明図である。
【図７】 前記サポート機構の動作説明図である。
【図８】 前記ツールホルダの動作説明図である。
【図９】 本発明の第２の実施形態に係るボーリング加工装置を構成するサポート機構の断面説明図である。
【図１０】 前記サポート機構の、図９中、Ｘ−Ｘ線断面図である。
【図１１】 特許文献１に開示されている中ぐり加工装置の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
図１に示すように、本発明の第１の実施形態に係るボーリング加工装置１０は、ベッド１２を備える。ベッド１２上には、一対のＸ軸ガイドレール１４を介して装置本体１６がＸ軸方向（一方の水平軸方向）に進退自在に載置されるとともに、一対のＺ軸ガイドレール１８を介してワークテーブル２０がＺ軸方向（Ｘ軸に交差する他方の水平軸方向）に進退自在に載置される。
【００２２】
ワークテーブル２０は、Ｚ軸ガイドレール１８上に配置される基台２２を備え、前記基台２２上に設けられるテーブル２４には、ワークＷ、例えば、シリンダブロックが位置決め保持される。ワークＷは、ボーリング加工される複数の孔部（ジャーナル孔）２６、例えば、５つの孔部２６ａ〜２６ｅ（以下、単に孔部２６ともいう）を同軸的に設けている。
【００２３】
装置本体１６の正面には、鉛直方向（矢印Ｙ方向）に延在して一対のＹ軸ガイドレール２８が設けられる。Ｙ軸ガイドレール２８には、昇降部３０が矢印Ｙ方向に進退自在に支持されるとともに、前記昇降部３０には、回転駆動源３２に連結されてスピンドル３４が回転軸を水平方向に延在して設けられる。スピンドル３４には、ツールホルダ３６が離脱自在に取り付けられる。
【００２４】
ツールホルダ３６には、流体の圧力により前記ツールホルダ３６の径方向（矢印Ａ方向）に刃具（工具）３８の位置を調整可能な補正ヘッド４０と、加工済みの孔部２６の内周面に挿入されて前記刃具３８による次段の孔部、例えば、孔部２６ｃ〜２６ｅの加工をサポートするサポート機構４２とが設けられる。
【００２５】
図２に示すように、ツールホルダ３６内には、補正ヘッド４０を外部からの駆動用エアにより調整するための駆動力伝達部４４が設けられる。駆動力伝達部４４には、駆動用エア管路４６を介して駆動用エアが供給される。駆動力伝達部４４は、ブースタ構造を採用しており、駆動用エア管路４６に連通する空圧シリンダ部４８と、前記空圧シリンダ部４８よりも少容量な第１油圧シリンダ部５０とを直列的に備える。空圧シリンダ部４８には、ピストン５２が摺動自在に配置され、このピストン５２から延在するロッド５４は、第１油圧シリンダ部５０内に摺動シール５６を介装して突出する。
【００２６】
第１油圧シリンダ部５０は、油圧管路５８を介してパワーユニット６０に連通する。パワーユニット６０は、ヘッドハウジング６２内に収容され、油圧管路５８に連通する第２油圧シリンダ部６４と、ピストン６６とを備える。ピストン６６は、スピンドル３４の径方向（矢印Ａ方向）に進退可能である。ヘッドハウジング６２には、Ｓ字状のスリット６８が形成されるとともに、このヘッドハウジング６２は、パワーユニット６０に補正の油圧が作用する際に、径方向外方に押圧されて前記Ｓ字状のスリット６８を介して矢印Ａ１方向に変位する。
【００２７】
ツールホルダ３６内には、前記ツールホルダ３６の軸方向に延在してクーラント液（流体）を流通させるクーラント流路７０が形成される。クーラント流路７０は、刃具３８による加工部位にクーラント液を供給する第１分岐流路７２と、サポート機構４２に前記クーラント液を供給する４本の第２分岐流路７４とを設ける。第２分岐流路７４は、ツールホルダ３６の径方向に９０°間隔ずつ離間して放射状に延在する。
【００２８】
図３に示すように、サポート機構４２は、ツールホルダ３６の外周面との間に第１流体軸受７６を構成するとともに、前記ツールホルダ３６の回転及び軸方向への移動を許容するリング部材７８と、前記リング部材７８の外周面との間に第２流体軸受８０を構成し、前記ツールホルダ３６の径方向外方に拡径して加工済みの孔部２６（孔部２６ａ〜２６ｅの任意の１つ）の内周面に押圧される支持部材８２とを備える。
【００２９】
図３及び図４に示すように、サポート機構４２は、ツールホルダ３６の外周面に形成される第１ノズル８４と、前記第１ノズル８４からクーラント液が噴射される第１チャンバ８６と、前記第１チャンバ８６から前記クーラント液をツールホルダ３６の外周面に沿って円周状に流出させる第１リーク溝８８とを設ける。
【００３０】
サポート機構４２は、さらにリング部材７８に径方向に貫通形成される第２ノズル９０と、前記第２ノズル９０からクーラント液が噴射される第２チャンバ９２と、前記第２チャンバ９２から前記クーラント液を流出させる第２リーク溝９４とを設ける。第１流体軸受７６は、第１チャンバ８６及び第１リーク溝８８を備える一方、第２流体軸受８０は、第２チャンバ９２及び第２リーク溝９４を備える。
【００３１】
支持部材８２は、一部が分離された断面Ｃ形状を有する弾性Ｃリング部材であり、前記弾性Ｃリング部材の内周面には、第２流体軸受８０を形成して拡縮自在な変形リング部材９６が配設される。変形リング部材９６は、例えば、樹脂材で形成されるとともに、前記変形リング部材９６は、クランプリング９７を介して保持される（図４参照）。変形リング部材９６の内周面とリング部材７８の外周面との間に、例えば、４本のゴム棒体９８が介装されることにより、４つの第２チャンバ９２が分割形成される（図３参照）。
【００３２】
図２に示すように、ツールホルダ３６の軸方向先端側には、段部１００ａ、１００ｂを介して小径部が設けられる。この段部１００ａには、スプリング１０２の一端が当接する一方、前記スプリング１０２の他端がリング部材７８の一方の端面に当接する。リング部材７８の他方の端面は、段部１００ｂに当接することにより、刃具３８とサポート機構４２との間隔を一定に維持している。
【００３３】
このように構成されるボーリング加工装置１０の動作について、以下に説明する。
【００３４】
図１に示すように、ワークテーブル２０を構成するテーブル２４には、ワークＷが位置決め保持される。一方、装置本体１６を構成するスピンドル３４には、例えば、図５に示すように、短尺ツールであるツールホルダ３６ｓが取り付けられる。
【００３５】
ツールホルダ３６ｓは、ツールホルダ３６に比べて相当に短尺に構成されており、サポート構造を用いることなく、撓み等の変形が可及的に防止されている。ツールホルダ３６ｓは、補正ヘッド４０を備えるとともに、刃具３８を設ける。なお、初期サポート機能が不要であれば、ツールホルダ３６ｓを使用することなく、直接、ツールホルダ３６を使用して加工を開始してもよい。
【００３６】
また、本実施形態では、以下に説明するように、ツールホルダ３６ｓによりワークＷの２つの孔部２６ａ、２６ｂを加工するものであるが、これに限定されるものではない。例えば、ツールホルダ３６ｓによりワークＷの孔部２６ａを加工した後、他の孔部２６ｂ〜２６ｅを、全てツールホルダ３６により加工してもよい。
【００３７】
あるいは、ツールホルダ３６ｓによりワークＷの２つの孔部２６ａ、２６ｂを加工をした後、前記ワークＷを反転して前記ツールホルダ３６ｓにより該ワークＷの孔部２６ｅ、２６ｄを加工し、さらにツールホルダ３６により前記ワークＷの残りの孔部２６ｃを加工することもできる。
【００３８】
一方、ワークＷは、同軸上に５つの孔部２６ａ〜２６ｅを備えているが、これに限定されるものではなく、６つ以上の孔部や４つ以下の孔部を有する種々のワークＷにも適用可能である。
【００３９】
そこで、ツールホルダ３６ｓは、スピンドル３４に装着された状態で、装置本体１６がＸ軸方向に移動されるとともに、昇降部３０が矢印Ｙ方向に進退されて前記ツールホルダ３６ｓは、ワークＷに対して位置決めされる。この状態で、スピンドル３４の回転作用下に、ツールホルダ３６ｓが回転しながら、ワークＷは、Ｚ軸方向前方（装置本体１６側）に移動する。従って、回転する刃具３８により、ワークＷには、１番目の孔部２６ａと２番目の孔部２６ｂとの孔加工が、順次、行われる。
【００４０】
次いで、ツールホルダ３６ｓがスピンドル３４から離脱された後、ツールホルダ３６が前記スピンドル３４に取り付けられる。そして、ツールホルダ３６の先端がワークＷの内部に相対的に挿入され、刃具３８が孔部２６ｃの直前に配置されると、クーラント流路７０にクーラント液が供給される（図２参照）。
【００４１】
クーラント流路７０に供給されたクーラント液は、一部分が第１分岐流路７２に導入されて刃具３８による加工部位に噴射される。クーラント液の残余の部分は、４本の第２分岐流路７４に導入され、図３に示すように、ツールホルダ３６の径方向に９０°間隔ずつ離間して放射状に流動する。
【００４２】
第２分岐流路７４に導入されたクーラント液は、先ず、ツールホルダ３６の外周面に形成される第１ノズル８４で流量が調整されて第１チャンバ８６に流入される。この第１チャンバ８６に貯留されるクーラント液は、第１リーク溝８８の僅かな隙間から外部に流出することにより、第１流体軸受７６が構成される。このため、リング部材７８とツールホルダ３６との間には、求心性が確保されるとともに、サポート剛性の向上を図ることができる。
【００４３】
さらに、図４に示すように、第１チャンバ８６に貯留されるクーラント液は、第２ノズル９０で流量が調整されて第２チャンバ９２に流入される。第２チャンバ９２に貯留されるクーラント液の圧力は、変形リング部材９６を拡張させることができる。この変形リング部材９６が拡張することにより、支持部材８２が拡張される。これにより、拡張された支持部材８２は、加工済みの孔部２６ｂの内周面に密着してサポート機能を発揮することが可能になる。
【００４４】
第２チャンバ９２に貯留されるクーラント液は、第２リーク溝９４の僅かな隙間から外部に流出することにより、第２流体軸受８０が構成される。従って、支持部材８２とリング部材７８との間には、求心性が確保されるとともに、サポート剛性の向上を図ることができる。
【００４５】
一方、補正ヘッド４０では、図２に示すように、駆動用エアが駆動用エア管路４６を介して駆動力伝達部４４を構成する空圧シリンダ部４８に供給される。空圧シリンダ部４８では、ピストン５２が矢印Ｂ方向に押圧され、前記ピストン５２が矢印Ｂ方向に移動する。このため、第１油圧シリンダ部５０内が加圧され、加圧された油がこの第１油圧シリンダ部５０から油圧管路５８を介してパワーユニット６０に供給される。
【００４６】
これにより、パワーユニット６０を構成する第２油圧シリンダ部６４内の油圧が高くなり、ピストン６６がスピンドル３４の径方向外方（矢印Ａ１方向）に移動する。従って、パワーユニット６０に補正の油圧が作用し、ヘッドハウジング６２が直径外方向に押圧され、Ｓ字状のスリット６８を介して刃具３８が矢印Ａ１方向に変位する。このため、補正ヘッド４０による刃具３８の位置調整が行われる。なお、補正ヘッド４０による調整作業は、必要に応じて行われる。
【００４７】
上記の状態は、図７に概略的に示されており、サポート機構４２がワークＷの孔部２６ｂの加工済み内周面に結合されることにより、回転するツールホルダ３６を保持するとともに、前記ワークＷが矢印Ｃ方向に移動する。従って、図８に示すように、サポート機構４２は、スプリング１０２の弾性力に抗して孔部２６ｂの加工済み内周面と一体に矢印Ｃ方向に移動する一方、ツールホルダ３６は、軸方向に移動することなく、回転する。これにより、ワークＷの３番目の孔部２６ｃの孔加工が行われる。
【００４８】
孔部２６ｃの孔加工が終了すると、サポート機構４２に付与されるクーラント液による液圧が解除される。このため、サポート機構４２は、収縮して孔部２６ｂの内周面から離脱し、スプリング１０２の弾性力により段部１００ｂに当接する位置（原位置）に復帰する。一方、補正ヘッド４０に供給されていた駆動用エアもリリースされる。以下、同様に、ワークＷの第４番目の孔部２６ｄ及び第５番目の孔部２６ｅの孔加工が行われる。
【００４９】
この場合、第１の実施形態では、ツールホルダ３６に設けられるサポート機構４２は、ワークＷの加工済みの孔部２６の内周面に挿入されて刃具３８による次段の孔部２６の加工をサポートしている。このため、複数の孔加工において、サポート機構４２によるサポート位置から加工する孔部２６までの位置関係は、前記孔部２６毎に同じ条件となる。
【００５０】
これにより、ツールホルダ３６を確実に支持することができ、ワークＷの複数の孔部２６に高精度な加工を効率的に行うとともに、汎用性に優れるという効果が得られる。
【００５１】
図９は、本発明の第２の実施形態に係るボーリング加工装置１１０を構成するサポート機構１１２の断面説明図である。なお、第１の実施形態に係るボーリング加工装置１０と同一の構成要素には、同一の参照符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【００５２】
サポート機構１１２は、図９及び図１０に示すように、支持部材１１４を備えるとともに、前記支持部材１１４は、第２流体軸受８０を形成するカバーリング部材１１６に径方向に進退自在に設けられるシュー部材である。カバーリング部材１１６は、等角度間隔ずつ離間して径方向に貫通する４つの段付き開口部１１８を設け、前記段付き開口部１１８には、それぞれ支持部材１１４が前記径方向に進退自在に配設される。
【００５３】
このように構成される第２の実施形態では、第１の実施形態と同様に、第１チャンバ８６に貯留されるクーラント液は、第２ノズル９０で流量が調整されて第２チャンバ９２に流入される。第２チャンバ９２に貯留されるクーラント液の圧力は、支持部材１１４を直径外方向に移動させ、加工済みの孔部２６ｂの内周面に密着してサポート機能を発揮することが可能になる。
【００５４】
これにより、第２の実施形態では、上記の第１の実施形態と同様の効果が得られる。なお、第１及び第２の実施形態では、第１チャンバ８６と第２チャンバ９２とがそれぞれ４つの独立したチャンバで構成されているが、これに限定されるものではない。例えば、第１チャンバ８６を１つの円周状の溝により構成してもよく、また、ゴム棒体９８を用いずに１つの第２チャンバ９２を採用してもよい。
【符号の説明】
【００５５】
１０、１１０…ボーリング加工装置 １２…ベッド
１６…装置本体 ２０…ワークテーブル
２６、２６ａ〜２６ｅ…孔部 ３０…昇降部
３４…スピンドル ３６…ツールホルダ
３８…刃具 ４０…補正ヘッド
４２、１１２…サポート機構 ４４…駆動力伝達部
４８…空圧シリンダ部 ５０、６４…油圧シリンダ部
６０…パワーユニット ７０…クーラント流路
７２、７４…分岐流路 ７６、８０…流体軸受
７８…リング部材 ８２、１１４…支持部材
８４、９０…ノズル ８６、９２…チャンバ
８８、９４…リーク溝 ９６…変形リング部材
９８…ゴム棒体 １０２…スプリング
１１６…カバーリング部材
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークに同軸的に設けられた複数の孔部を加工するための加工装置であって、
スピンドルに連結されて回転し、工具により前記孔部の内周面を加工するツールホルダと、
前記ツールホルダに設けられ、加工済みの孔部内周面に挿入されて前記工具による次段の前記孔部の加工をサポートするサポート機構と、
を備え、
前記サポート機構は、前記ツールホルダの外周面との間に第１流体軸受を構成するとともに、前記ツールホルダの回転及び軸方向への移動を許容するリング部材と、
前記リング部材の外周面との間に第２流体軸受を構成し、前記ツールホルダの径方向外方に拡径又は突出して前記加工済みの孔部内周面に押圧される支持部材と、
を備えることを特徴とする加工装置。
【請求項２】
請求項１記載の加工装置において、前記サポート機構は、前記ツールホルダの外周面に形成される第１ノズルと、
前記第１ノズルから流体が噴射される第１チャンバと、
前記第１チャンバから前記流体を流出させる第１リーク溝と、
前記リング部材に径方向に貫通形成される第２ノズルと、
前記第２ノズルから前記流体が噴射される第２チャンバと、
前記第２チャンバから前記流体を流出させる第２リーク溝と、
を設け、
前記第１流体軸受は、前記第１チャンバ及び前記第１リーク溝を備える一方、前記第２流体軸受は、前記第２チャンバ及び前記第２リーク溝を備えることを特徴とする加工装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載の加工装置において、前記ツールホルダの内部には、前記流体であるクーラント液を流通させるクーラント流路が形成されるとともに、
前記クーラント流路は、前記工具による加工部位に前記クーラント液を供給する第１分岐流路と、
前記サポート機構に前記クーラント液を供給する第２分岐流路と、
を有することを特徴とする加工装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の加工装置において、前記ツールホルダには、流体の圧力により該ツールホルダの径方向に前記工具の位置を調整可能な補正ヘッドが設けられることを特徴とする加工装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の加工装置において、前記支持部材は、一部が分離された断面Ｃ形状を有する弾性Ｃリング部材であり、
前記弾性Ｃリング部材の内周面には、前記第２流体軸受を形成して拡縮自在な変形リング部材が配設されることを特徴とする加工装置。
【請求項６】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の加工装置において、前記支持部材は、前記第２流体軸受を形成するカバーリング部材に、径方向に進退自在に設けられるシュー部材であることを特徴とする加工装置。
【請求項１】
ワークに同軸的に設けられた複数の孔部を加工するための加工装置であって、
スピンドルに連結されて回転し、工具により前記孔部の内周面を加工するツールホルダと、
前記ツールホルダに設けられ、加工済みの孔部内周面に挿入されて前記工具による次段の前記孔部の加工をサポートするサポート機構と、
を備え、
前記サポート機構は、前記ツールホルダの外周面との間に第１流体軸受を構成するとともに、前記ツールホルダの回転及び軸方向への移動を許容するリング部材と、
前記リング部材の外周面との間に第２流体軸受を構成し、前記ツールホルダの径方向外方に拡径又は突出して前記加工済みの孔部内周面に押圧される支持部材と、
を備えることを特徴とする加工装置。
【請求項２】
請求項１記載の加工装置において、前記サポート機構は、前記ツールホルダの外周面に形成される第１ノズルと、
前記第１ノズルから流体が噴射される第１チャンバと、
前記第１チャンバから前記流体を流出させる第１リーク溝と、
前記リング部材に径方向に貫通形成される第２ノズルと、
前記第２ノズルから前記流体が噴射される第２チャンバと、
前記第２チャンバから前記流体を流出させる第２リーク溝と、
を設け、
前記第１流体軸受は、前記第１チャンバ及び前記第１リーク溝を備える一方、前記第２流体軸受は、前記第２チャンバ及び前記第２リーク溝を備えることを特徴とする加工装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載の加工装置において、前記ツールホルダの内部には、前記流体であるクーラント液を流通させるクーラント流路が形成されるとともに、
前記クーラント流路は、前記工具による加工部位に前記クーラント液を供給する第１分岐流路と、
前記サポート機構に前記クーラント液を供給する第２分岐流路と、
を有することを特徴とする加工装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載の加工装置において、前記ツールホルダには、流体の圧力により該ツールホルダの径方向に前記工具の位置を調整可能な補正ヘッドが設けられることを特徴とする加工装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の加工装置において、前記支持部材は、一部が分離された断面Ｃ形状を有する弾性Ｃリング部材であり、
前記弾性Ｃリング部材の内周面には、前記第２流体軸受を形成して拡縮自在な変形リング部材が配設されることを特徴とする加工装置。
【請求項６】
請求項１〜４のいずれか１項に記載の加工装置において、前記支持部材は、前記第２流体軸受を形成するカバーリング部材に、径方向に進退自在に設けられるシュー部材であることを特徴とする加工装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２０１２−３０３４４（Ｐ２０１２−３０３４４Ａ）
【公開日】平成２４年２月１６日（２０１２．２．１６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１８１９３７（Ｐ２０１０−１８１９３７）
【出願日】平成２２年７月２９日（２０１０．７．２９）
【出願人】（０００１０２８６５）エヌティーエンジニアリング株式会社 (13)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年２月１６日（２０１２．２．１６）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年７月２９日（２０１０．７．２９）
【出願人】（０００１０２８６５）エヌティーエンジニアリング株式会社 (13)
【Ｆターム（参考）】
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