洗浄具及び基板洗浄装置

【課題】被洗浄基板に接触するスポンジ等の洗浄部材の装着が容易で、被洗浄基板の縁部まで洗浄範囲とすることができ、洗浄部材の押付力の変化によって被洗浄基板との接触面積が変化しにくく、被洗浄基板の膜面にダメージを与えることがない洗浄具及び該洗浄具を用いた基板洗浄装置を提供すること。
【解決手段】基板洗浄装置に用いる洗浄具であって、洗浄具は被洗浄基板の洗浄面に接触させる洗浄部材１と該洗浄部材１を保持する洗浄部材保持機構２とを具備し、洗浄部材保持機構２は下方部が複数のチャック爪４ａに分割された挟持部材（スリーブ）４と、該挟持部材の外周に嵌入されるリング部材５を具備し、該挟持部材の複数のチャック爪４ａで形成された挿入穴に該洗浄部材１の端部を挿入し、該リング部材５を該挟持部材の外周に嵌入することにより、該複数のチャック爪４ａで該洗浄部材１を締め付け固定する構造、即ちコレットチャック構造とした。

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体ウエハ等の被洗浄基板を水平姿勢に保持して回転させながら該被洗浄基板上に洗浄液を供給しながら洗浄具で洗浄する洗浄装置に用いる洗浄具及び該洗浄具を用いた基板洗浄装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来この種の洗浄具としては図１に示す構造のものがあった。洗浄具は図１に示すように、洗浄部材である円板状のスポンジ部材１０１と、該スポンジ部材１０１を保持する洗浄部材保持機構１０２とからなる。洗浄部材保持機構１０２は下方が円錐台状で上端部に鍔部が形成された円柱状の保持部本体１０３と、該保持部本体１０３の外周部に嵌合し、下方が保持部本体１０３の円錐台状の外周と所定の間隔の隙間を形成するよう絞られた形状のリング部材１０４とからなる。
【０００３】保持部本体１０３の円錐台状部にスポンジ部材１０１を当接し、リング部材１０４を該保持部本体１０３の外周部に嵌合させることにより、保持部本体１０３の外周とリング部材１０４の内周の間にスポンジ部材１０１が挟持され、洗浄部材保持機構１０２にスポンジ部材１０１が装着されるようになっている。保持部本体１０３には該洗浄具を保持し回転するための回転軸の先端が螺合するネジ穴１０６が形成されている。また、保持部本体１０３とリング部材１０４はネジ１０５で互いに固着される。上記構造の洗浄具は、下記のような問題があった。
【０００４】■スポンジ部材１０１を保持部本体１０３とリング部材１０４で挟持する構造であるため、スポンジ部材１０１を洗浄部材保持機構１０２に正しく装着するためには治具を必要とし、その装着作業に熟練を必要とする。
【０００５】■また、図５（ａ）に示すように、被洗浄基板Ｗｆを保持し回転させる基板保持回転機構の突起状部（チャック）１１１と洗浄部材保持機構１０２及びスポンジ部材１０１の干渉を避ける範囲でスポンジ部材１０１と洗浄部材保持機構１０２を回転中の被洗浄基板Ｗｆに接触させて該被洗浄基板Ｗｆの略直径方向に移動させる際に、スポンジ部材１０１の被洗浄基板Ｗｆとの接触面が被洗浄基板Ｗｆの縁部Ｗｆａを充分カバーできず、洗浄範囲が該縁部Ｗｆａまで及ばない。即ち、洗浄具の洗浄範囲の半径Ｒ１が小さく被洗浄基板Ｗｆの洗浄残り縁部Ｅ１が大きくなる。
【０００６】■また、スポンジ部材１０１の被洗浄基板接触面の隅部がアール形状のため、該スポンジ部材１０１の被洗浄基板への押付力の変化により、該スポンジ部材１０１の被洗浄基板接触面積（外径）が変化し易く、押付力の変化により洗浄範囲が変化する。
【０００７】また、この種の従来の洗浄具の他の例としては、図２に示す構造のものもあった。該洗浄具は図２に示すように、上方側外径が大きく下方側外径が小さい段付の円柱状のスポンジ部材２０１と、該スポンジ部材２０１を保持する洗浄部材保持機構２０２とからなる。洗浄部材保持機構２０２は上方側外径が大きく下方側外径が小さい段付の円柱状の保持部本体２０３と、該保持部本体２０３の下側外周部に螺合するリング部材２０４からなる。また、リング部材２０４はその先端に内側に突出する突起部２０４ａが形成されている。
【０００８】保持部本体２０３のスポンジ部材２０１を当接し、リング部材２０４を該保持部本体２０３の下方外周部に螺合させることにより、リング部材２０４の突起部２０４ａがスポンジ部材２０１の段部に当接し、該突起部２０４ａと保持部本体２０３の間にスポンジ部材２０１の上方部が挟持され、洗浄部材保持機構２０２にスポンジ部材２０１が装着されるようになっている。保持部本体２０３には該洗浄具を保持し回転するための回転軸の先端が螺合するネジ穴２０５が形成されている。上記構造の洗浄具は、下記のような問題があった。
【０００９】■保持部本体２０３とリング部材２０４の結合がネジ結合のため、スポンジ部材２０１の脱着の際に、リング部材２０４の緩め、締め付けの手間がかかる。
【００１０】■スポンジは使用状態では洗浄水等で膨潤し、若干堆積が増加するが、図２に示す構造の洗浄具では洗浄部材保持具２０３、２０４でこれを押えるため、スポンジ部材２０１の被洗浄基板接触面で膨張が顕著となり、中央部が膨らんだ形状となり易い傾向があって（図２中の二点鎖線）、被洗浄基板の表面に形成された膜種によっては、被洗浄基板の膜面にダメージを与えてしまうことがある。
【００１１】■また、この洗浄具のスポンジ部材２０１の被洗浄基板の接触面積は、図１の洗浄部材と異なり、スポンジ部材２０１の下面外周部が直角（Ｒ形状では無い）なので広く見える。しかしながら、この洗浄具の場合は図示しないチャックと洗浄部材保持機構２０２との干渉を避けるためにスポンジ部材２０１の突出量Ｌを長くしなければならない。そのためスポンジ部材２０１を基板の外周方向に移動させると図２中の一点鎖線のように基板の中心側に変形する。実際には基板外周部でのスポンジ部材２０１の接触外径は狭くなり、外周部の洗浄残りが生じ易い。またその変形によりスポンジ部材２０１の基板との接触圧力が変化（減少）する。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので、被洗浄基板に接触するスポンジ等の洗浄部材の装着が容易で、洗浄部材が変形しても被洗浄基板の縁部まで洗浄範囲とすることができ、洗浄部材の押付力の変化によって被洗浄基板との接触面積が変化しにくく、被洗浄基板の膜面にダメージを与えることがない洗浄具及び該洗浄具を用いた基板洗浄装置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため、請求項１に記載の発明は、基板洗浄装置に用いる洗浄具であって、洗浄具は被洗浄基板の洗浄面に接触させる洗浄部材と該洗浄部材を保持する洗浄部材保持機構とを具備し、洗浄部材保持機構は下方部が複数のチャック爪に分割された挟持部材と、該挟持部材の外周に嵌入されるリング部材を具備し、該挟持部材の複数のチャック爪で形成された挿入穴に該洗浄部材の端部を挿入し、該リング部材を該挟持部材の外周に嵌入することにより、該複数のチャック爪で該洗浄部材を締め付け固定する構造、即ちコレットチャック構造としたことを特徴とする。
【００１４】上記のように、洗浄部材を洗浄部材保持機構に装着する構造をコレットチャック構造とすることにより、挟持部材の複数のチャック爪で形成された挿入穴に該洗浄部材の端部を挿入し、該リング部材を該挟持部材の外周に嵌入するという簡単な操作で、洗浄部材を洗浄部材保持機構に装着することができる。
【００１５】また、請求項２に記載の発明は請求項１に記載の洗浄具において、洗浄部材の被洗浄基板に接触する部分の隅部の垂直断面形状を角形状としたことを特徴とする。
【００１６】上記のように、洗浄部材の被洗浄基板に接触する部分の隅部の垂直断面形状を角形状としたことにより、被洗浄基板の縁部も洗浄範囲に含ませることが可能となる。また、隅部がアール形状でなく角形状であるため、洗浄部材に加わる押し圧力が変化しても洗浄範囲が変化することがない。
【００１７】また、請求項１又は２に記載の洗浄具において、洗浄部材はその縦断面形状が被洗浄基板に接触する面側が広く挟持部材挿入端側が狭い段付き形状であり、該挟持部材の複数のチャック爪の先端を該洗浄部材の段部に押し当てる構造であることを特徴とする。
【００１８】上記のように、洗浄部材の縦断面形状を被洗浄基板に接触する面側が広く挟持部材挿入端側が狭い段付き形状とすることにより、該洗浄部材を被洗浄基板の縁部まで移動させた場合でも、被洗浄基板を保持する基板保持回転機構の突起状部が洗浄部材を保持する洗浄部材保持機構の外周部に干渉することがなく、被洗浄基板の縁部も洗浄範囲に含ませることが可能となる。また、チャック爪の先端を洗浄部材の段部に押し当てる構造としたので、洗浄部材の被洗浄基板接触面が被洗浄基板の反対側に押し上げられるのをチャック爪の先端で押えることとなり、洗浄部材の被洗浄基板の接触面圧の中央部が低くなり、被洗浄基板の表面に形成された膜面にダメージを与えることがない。
【００１９】また、請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の洗浄具において、挟持部材のチャック爪の洗浄部材に接する面及び／又は該洗浄部材の挿入端面が接する面に突起を設けたことを特徴とする。
【００２０】上記のように、挟持部材のチャック爪の洗浄部材に接する面及び／又は該洗浄部材の挿入端面が接する面に突起を設けたので、洗浄部材保持機構の回転力を洗浄部材に充分に伝達し、洗浄部材を被洗浄基板に押し付けた場合でも洗浄部材保持機構が洗浄部材と関係なく空転することがない。
【００２１】また、請求項４に記載の発明は、基板に接触させて、該基板を洗浄するための洗浄具であって、洗浄部材とそれを保持する洗浄部材保持機構を備えており、該洗浄部材を被洗浄基板に接触する面側の外径が前記洗浄部材保持機構側の外径より大きい段部を有し、その中心を通る垂直断面形状が凸形状であることを特徴とする。
【００２２】上記のように、洗浄部材を被洗浄基板に接触する面側の外径が前記洗浄部材保持機構側の外径より大きい段部を有し、その中心を通る垂直断面形状を凸形状とするので、被洗浄基板の縁部も洗浄範囲に含ませることが可能となる。
【００２３】また、請求項１乃至４のいずれか１に記載の洗浄具において、洗浄部材は多孔質体又はクロス保持体にクロスを貼り付けたものであることを特徴とする。
【００２４】また、請求項５に記載の発明は、基板保持回転機構及び洗浄具を具備し、該基板保持回転機構で被洗浄基板を水平姿勢に保持して回転させながら該被洗浄基板上に洗浄液を供給し、洗浄具を被洗浄基板面に接触させながら洗浄する基板洗浄装置において、洗浄具として請求項１乃至４のいずれか１に記載の洗浄具を用いたことを特徴とする。
【００２５】上記のように基板洗浄装置の洗浄具として、請求項１乃至４のいずれか１に記載の洗浄具を用いることにより、該洗浄具が有する上記作用を発揮できる基板洗浄装置が実現できる。
【００２６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態例を図面に基づいて説明する。図３及び図４は本発明の洗浄具の構造例を示す図で、図３は断面図、図４は分解斜視図である。図示するように、本洗浄具は被洗浄基板に直接接触する洗浄部材１と、該洗浄部材１を保持する洗浄部材保持機構２とを具備する。該洗浄部材保持機構２は保持芯体３、スリーブ４及びリング部材５を具備する。
【００２７】保持芯体３は円柱状で、下端面の外周部に４個の突起３ａが形成され、上部に外径寸法の大きい鍔体３ｂが形成された形状である。そして鍔体３ｂにはネジ６が貫通する貫通孔３ｃが形成されている。また、保持芯体３の中央部には本洗浄具を保持し回転するための回転軸の先端が螺合するネジ穴３ｄが形成されている。
【００２８】スリーブ４は上部と下部が肉厚で中央部が肉薄の円筒状で外周に４本の切り溝を設けて下方を４本のチャック爪４ａに分割されている。該４本のチャック爪４ａは円周上に配置され、該４本のチャック爪４ａの内周面で洗浄部材１の上部が挿入される挿入穴７を形成している。各々のチャック爪４ａの内周面には突起４ｂが設けられている。また、チャック爪４ａの上部にはネジ６が螺入されるネジ穴４ｃが形成され、先端部外周の外周面には突起部４ｄが形成され、該突起部４ｄから上方の外周面にはリング部材５の内周面に形成された溝５ａが嵌合する突起４ｅが形成されている。
【００２９】リング部材５はその内径がスリーブ４の外周と略同じ円筒体でその内周面にはスリーブ４のチャック爪４ａの外周に形成された突起４ｅが嵌合する溝５ａが形成されている。
【００３０】洗浄部材１はその縦断面形状が下端側、即ち被洗浄基板に接触する面側が広く、上端側、即ちスリーブ４のチャック爪４ａの内周面で形成された挿入穴７に挿入される部分が狭い段付きの円柱形状である。また、洗浄部材１の下端隅部はその垂直断面が角形（直角）状となっている。
【００３１】上記洗浄部材１、洗浄部材保持機構２、保持芯体３、スリーブ４及びリング部材５を具備する洗浄具を組み立てる場合、保持芯体３をスリーブ４の中央の穴にその鍔体３ｂの下面がスリーブ４の上端面に当接するまで挿入する。ネジ６を保持芯体３の貫通孔３ｃを通し、スリーブ４のネジ穴４ｃに螺合させて、保持芯体３とスリーブ４を固着する。このスリーブ４の組立体で洗浄部材１を挟持する挟持部材を構成している。
【００３２】次に洗浄部材１の上部をスリーブ４の４本のチャック爪４ａの内周面で形成された挿入穴７にその段部面が該チャック爪４ａの先端面に当接するまで挿入し、続いてリング部材５の上端から先端がチャック爪４ａの先端の突起部４ｄに当接するまで挿入する。
【００３３】上記のように、洗浄部材１の上部をスリーブ４に挿入し、次にリング部材５をスリーブ４の外周に嵌入することにより、外周方向に広がったチャック爪４ａは内周方向に押され、その内周面に設けられた突起４ｂが洗浄部材１の外周に食い込み、洗浄部材１をチャック爪４ａに充分な固着力で固着する。また、この時保持芯体３の下端面に設けられた４個の突起３ａも洗浄部材１の上端面に食い込み、洗浄部材１の固着力を増す。また、この時リング部材５の内周面に設けられた溝５ａはチャック爪４ａの外周に形成された突起４ｅに嵌合し、リング部材５はスリーブ４に固定される。
【００３４】また、洗浄部材１を洗浄部材保持機構２から取り外す場合は、リング部材５を押し上げることにより、チャック爪４ａは外側に屈曲自在になるから、洗浄部材１を下方に引き抜くことにより、容易に取り外すことができる。また、新しい洗浄部材１を取り付ける場合は、上記洗浄部材１をチャック爪４ａの内周面で形成された挿入穴７に挿入し、リング部材５を押し下げることにより行う。このように、洗浄部材１の洗浄部材保持機構２からの脱着は洗浄部材１の脱着とリング部材の押し上げ下げで行うことができるので、脱着作業が極めて容易になる。
【００３５】洗浄部材１の被洗浄基板に接触する部分の隅部の垂直断面形状を従来のようにアール形状（図５（ａ）参照）ではなく、各形（直角）状とし、また洗浄部材１の段部がチャック爪４ａの先端で保持されており、しかも洗浄部材の突出量Ｌを小さくできるので、洗浄部材１が変形しにくい。従って、図５（ｂ）に示すように、洗浄部材１の被洗浄基板Ｗｆへの押付力を変化させても洗浄部材１の被洗浄基板Ｗｆへの接触面が殆ど変化することがない。従って、洗浄範囲が殆ど変化しない。
【００３６】なお、洗浄する被洗浄基板Ｗｆ表面に形成される膜種等に応じて洗浄部材との摩擦力が変わるため、また設定する押圧力に応じて、洗浄部材１の変形量が異なる。この場合はその変形量に応じて洗浄部材の突出量と外径を洗浄範囲が可能な限り広くなるように最適に設定すれば良い。
【００３７】また、洗浄部材１をその縦断面形状が被洗浄基板に接触する面側が広くスリーブ挿入端側が狭い段付き形状としたので、洗浄部材１を基板保持回転機構の被洗浄基板Ｗｆを保持する突起状部（チャック）１１１に接近する位置迄移動させても、洗浄部材保持機構２の外周が該突起状部に干渉することがない。即ち、図５（ｂ）に示すように、洗浄具の洗浄範囲の半径Ｒ２が大きく被洗浄基板Ｗｆの洗浄残り縁部Ｅ２が小さくなる。図５（ａ）の従来例と図５（ｂ）の本発明の例を比較した場合、Ｒ２＞Ｒ１、Ｅ１＞Ｅ２となる。
【００３８】また、スリーブ４の複数のチャック爪４ａの先端を洗浄部材１の段部に押し当てる構造としたので、洗浄部材１の被洗浄基板接触面が被洗浄基板の反対側に押し上げる力が作用しても、チャック爪４ａの先端で押えるから、該被洗浄部材接触面が凸状になることなく、洗浄部材１の被洗浄基板の接触面圧が中央部で低くなる。従って、被洗浄基板の表面に形成された膜面にダメージを与えることがない。
【００３９】また、スリーブ４の複数のチャック爪４ａの内周面に突起４ｂを、保持芯体３の下端面に突起３ａを形成しているので、洗浄部材保持機構２の回転力を洗浄部材に充分に伝達でき、洗浄部材１を被洗浄基板に押し付けた場合でも洗浄部材保持機構２が洗浄部材１を空転させることがない。
【００４０】また、洗浄部材１を洗浄部材保持機構２に装着する際、洗浄部材１をスリーブ４のチャック爪４ａの内周面で形成された挿入穴７に挿入することにより、チャック爪４ａの内周面の突起４ｂが外側に押され、チャック爪４ａが外側に押し出されるが、リング部材５を押し下げることにより、チャック爪４ａが内側に押され、その内周面が洗浄部材１の外周面に密接すると共に、突起４ｂが外周面に食い込むことにより、洗浄部材１の保持が確実となる。
【００４１】図６は本発明の洗浄具の他の構造例を示す図で、図６（ａ）は断面図、図６（ｂ）は洗浄部材の底面図である。本洗浄具において、洗浄部材保持機構２の構造は図３及び図４に示す洗浄具の洗浄部材保持機構と同じ構造である。相違する点は洗浄部材１の下端面の外周部の下面（被洗浄基板への接触面）に平坦な環状突起１ａを設けている点である。洗浄部材１をこのような形状とすることにより、チャック爪４ａの先端は該洗浄部材１の段部面に当接しているから、被洗浄基板は環状突起１ａの接触面で均等な接触圧で洗浄されることになる。
【００４２】図７は本発明の洗浄具の他の構造例を示す図で、図７（ａ）は断面図、図７（ｂ）は洗浄部材の底面図である。本洗浄具において、洗浄部材保持機構２の構造は図３及び図４に示す洗浄具の洗浄部材保持機構と同じ構造である。本洗浄具が図６に示す洗浄具と相違する点は洗浄部材１の下端面の外周部に設けた環状突起１ａに半径方向に複数本の切り溝１ｂを設けて、環状突起１ａを複数（図では４個）に分割している点である。このように、切り溝１ｂを設けることにより、被洗浄基板上に供給された洗浄液は該切り溝１ｂを通して流れ、洗浄効果が向上する。
【００４３】図８は本発明の洗浄具の他の構造例を示す図で、図８（ａ）は断面図、図８（ｂ）は洗浄部材の底面図である。本洗浄具において、洗浄部材保持機構２の構造は図３及び図４に示す洗浄具の洗浄部材保持機構と同じ構造である。本洗浄具が図６及び図７に示す洗浄具と相違する点は洗浄部材１の下端面に複数の円板状突起部１ｃ、１ｄを同心円状に等ピッチで配置した点である。ここでは外周側に直径の大きい複数の円板状突起部１ｃを等ピッチで配置し、その内側に直径の小さい複数の円板状突起部１ｄを等ピッチで配置している。このようにすることにより、洗浄液は円板状突起部１ｃ、１ｄの間を通って流れ、洗浄効果が向上する。
【００４４】上記図３乃至図８に示す洗浄具において、洗浄部材保持機構２を構成する保持芯体３、スリーブ４及びリング部材５の材料は特に限定しないが、例えば、プラスチック材を用いる。プラスチック材としては、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）、ＰＥ（ポリエチレン）、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）、ＰＴＦＥ（ポリテトロフロロエチレン）等が使用される。
【００４５】また、洗浄部材１の材料としては吸液性の多孔質体であれば、特に限定しないが、例えばＰＶＡ（ポリビニルアルコール）スポンジ（＝多孔質基気質ＰＶＦ（ポリビニルホルマール））を使用する。
【００４６】また、上記例では洗浄部材保持機構２にスポンジ等の多孔質体からなる洗浄部材１を装着する例を示したが、このような洗浄部材は多孔質体に限定されるものではなく、図９に示すように、下面に環状のクロス９を貼り付けたクロス保持部材８を洗浄部材保持機構２に装着するようにしてもよい。この場合、クロス保持部材８の形状は図６に示す洗浄具の洗浄部材１と略同一形状とする。
【００４７】上記クロス保持部材８の材料としては上記保持芯体３、スリーブ４及びリング部材５の材料と同じプラスチック材でも良く、またＦＫＭ（フッ素ゴム）、ＥＰＤＭ（エチレンプロピレンゴム）、ウレタンゴム等も使用できる。また、クロス９の材料としては発砲ウレタン、繊維をウレタン樹脂で固めた不繊布やスエードタイプの研磨布等のように表面に微細な孔が形成されており、この孔の中にクロス９と被洗浄基板との摩擦で被洗浄基板の洗浄面から除去されたダスト等の異物が取り込まれる性質のクロスであればよい。
【００４８】上記のようにクロス９を用いた洗浄具としては、軟質（例えばゴム類）のクロス保持部材８に、それよりも硬質のクロス９を貼り合わせた構造のものが好ましいが、これに限定されるものではなく、クロス９とクロス保持部材８を一体的に形成したもの、或いは弾性の無いプラスチック類からなるクロス保持部材８にクロス９を貼り付けた構造のものでもよい。
【００４９】図１０は上記本発明の洗浄具を用いる基板洗浄装置の概略構成を示す図である。図示するように、基板洗浄装置は被洗浄基板Ｗｆを保持し回転させる基板保持回転機構１０と洗浄具２１を装着する洗浄具装着機構２０を具備する。基板保持回転機構１０は被洗浄基板Ｗｆを水平姿勢に保持するチャック１１が装着された複数本（図では４本）のアーム１２を具備し、該アーム１２が一体的に基台１３に取り付けられ、回転軸１４で矢印Ａ方向に回転できるようになっている。
【００５０】また、洗浄具装着機構２０は揺動アーム２３を有し、該揺動アーム２３の先端に回転軸２２が設けられ、該回転軸２２の先端に本発明の洗浄具２１が装着されるようになっている。回転軸２２は図示しない回転機構により矢印Ｂ方向に回転し、洗浄具２１を同方向に回転させるようになっている。また、揺動アーム２３の後端部には揺動軸２４が設けられ、揺動アーム２３を矢印Ｃ方向に揺動させるようになっている。また、揺動軸２４は揺動アーム２３を矢印Ｄに示すように昇降させるようにもなっている。
【００５１】上記構成の基板洗浄装置において、基板保持回転機構１０で水平姿勢に保持され矢印Ａ方向に回転している被洗浄基板Ｗｆの上面にノズル２５から純水等の洗浄液を噴射すると同時に、洗浄具装着機構２０により洗浄具２１を矢印Ｂ方向に回転させると共に揺動アーム２３を洗浄具２１が被洗浄基板Ｗｆの回転中心部を通過するように矢印Ｃ方向に揺動させることにより、被洗浄基板Ｗｆの上面を洗浄する。洗浄が終了すると揺動アーム２３を旋回させ洗浄具２１を洗浄液が収容された容器２６内に浸漬させる。また、洗浄の終了した被洗浄基板Ｗｆは基板保持回転機構１０で高速回転させ、スピン乾燥させた後、ロボットアーム（図示せず）等で次の処理行程に移送される。
【００５２】
【発明の効果】以上説明したように各請求項に記載の発明によれば下記のような優れた効果が得られる。
【００５３】請求項１に記載の発明によれば、洗浄部材を洗浄部材保持機構に装着する構造をコレットチャック構造とすることにより、スリーブの複数のチャック爪で形成された挿入穴に該洗浄部材の端部を挿入し、該リング部材を該スリーブの外周に嵌入するという簡単な操作で、洗浄部材を洗浄部材保持機構に装着することができる。
【００５４】また、請求項２に記載の発明によれば、洗浄部材の被洗浄基板に接触する部分の隅部の垂直断面形状を角形状としたことにより、被洗浄基板の縁部も洗浄範囲に含ませることが可能となり、該縁部も洗浄することができる。
【００５５】また、請求項３に記載の発明によれば、挟持部材のチャック爪の洗浄部材に接する面及び／又は該洗浄部材の挿入端面が接する面に突起を設けたので、洗浄部材保持機構の回転力を洗浄部材に充分に伝達し、洗浄部材を被洗浄基板に押し付けた場合でも洗浄部材保持機構が洗浄部材と関係なく空転することがない。
【００５６】また、請求項４に記載の発明によれば、洗浄部材を被洗浄基板に接触する面側の外径が前記洗浄部材保持機構側の外径より大きい段部を有し、その中心を通る垂直断面形状を凸形状とするので、被洗浄基板の縁部も洗浄範囲に含ませることが可能となる。
【００５７】また、請求項５に記載の発明によれば、基板洗浄装置の洗浄具として、請求項１乃至４のいずれか１に記載の洗浄具を用いることにより、該洗浄具が有する上記作用を発揮できる基板洗浄装置が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の洗浄具の構造例を示す断面図である。
【図２】従来の洗浄具の構造例を示す断面図である。
【図３】本発明の洗浄具の構造例を示す断面図である。
【図４】本発明の洗浄具の構造例を示す分解斜視図である。
【図５】従来の洗浄具と本発明の洗浄具の作用上の比較例を示す図で、図５（ａ）は従来例、図５（ｂ）は本発明例をそれぞれ示す図である。
【図６】本発明の洗浄具の構造例を示す図で、図６（ａ）は断面図、図６（ｂ）は洗浄部材の底面図である。
【図７】本発明の洗浄具の構造例を示す図で、図７（ａ）は断面図、図７（ｂ）は洗浄部材の底面図である。
【図８】本発明の洗浄具の構造例を示す図で、図８（ａ）は断面図、図８（ｂ）は洗浄部材の底面図である。
【図９】本発明の洗浄具の構造例を示す図で、図９（ａ）は断面図、図９（ｂ）は洗浄部材の底面図である。
【図１０】本発明の洗浄具を用いる基板洗浄装置の概略構成例を示す図である。
【符号の説明】
１洗浄部材
２洗浄部材保持機構
３保持芯体
４スリーブ
５リング部材
６ネジ
７挿入穴
８クロス保持部材
９クロス
１０基板保持回転機構
１１チャック
１２アーム
１３基台
１４回転軸
２０洗浄具装着機構
２１洗浄具
２２回転軸
２３揺動アーム
２４揺動軸
２５ノズル
２６容器

【特許請求の範囲】
【請求項１】基板洗浄装置に用いる洗浄具であって、前記洗浄具は被洗浄基板の洗浄面に接触させる洗浄部材と該洗浄部材を保持する洗浄部材保持機構とを具備し、前記洗浄部材保持機構は下方部が複数のチャック爪に分割された挟持部材と、該挟持部材の外周に嵌入されるリング部材を具備し、該挟持部材の複数のチャック爪で形成された挿入穴に前記該洗浄部材の端部を挿入し、該リング部材を該挟持部材の外周に嵌入することにより、該複数のチャック爪で該洗浄部材を締め付け固定する構造であることを特徴とする洗浄具。
【請求項２】請求項１に記載の洗浄具において、前記洗浄部材の前記被洗浄基板に接触する部分の隅部の垂直断面形状を角形状としたことを特徴とする洗浄具。
【請求項３】請求項１又は２に記載の洗浄具において、前記挟持部材のチャック爪の前記洗浄部材に接する面及び／又は洗浄部材の挿入端面が接する面に突起を設けたことを特徴とする洗浄具。
【請求項４】基板に接触させて、該基板を洗浄するための洗浄具であって、洗浄部材とそれを保持する洗浄部材保持機構を備えており、該洗浄部材を被洗浄基板に接触する面側の外径が前記洗浄部材保持機構側の外径より大きい段部を有し、その中心を通る垂直断面形状が凸形状であることを特徴とする洗浄具。
【請求項５】基板保持回転機構及び洗浄具を具備し、該基板保持回転機構で被洗浄基板を水平姿勢に保持して回転させながら該被洗浄基板上に洗浄液を供給し、前記洗浄具を被洗浄基板面に接触させながら洗浄する基板洗浄装置において、前記洗浄具として請求項１乃至４のいずれか１に記載の洗浄具を用いたことを特徴とする基板洗浄装置。

【図１】