旭化成株式会社により出願された特許

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【課題】スリーブの回転時に生じる回転振れを抑制でき、高速回転でのパターニングを実現できる露光装置を提供すること。
【解決手段】本発明の露光装置(1)は、軸方向の一端部に被保持部(16b)が設けられたスリーブ(16)と、スリーブ(16)の中心を回転軸Xとして、スリーブ(16)を周方向に回転させる回転駆動部(13)と、被保持部(16b)の外周面の外側に配置され、チャック部(14)の中心に向けて駆動され被保持部(16b)をチャックする少なくとも2つの保持爪(14a)を有するチャック部(14)と、スリーブ(16)に露光する露光部(18)とを具備し、チャック部(14)の中心及び回転駆動部(13)の回転軸が略同一直線上に配置されることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】溝深さが深いパターンを形成するためのフロン系ガスのドライエッチングに対して高い耐性をもつ熱反応型レジスト材料、それを用いた熱リソグラフィ用積層体及びそれらを用いたモールドの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の熱反応型レジスト材料は、フロン系ガスを用いたドライエッチングに用いる熱反応型レジスト材料であって、主要フッ化物の沸点が200℃以上である元素を少なくとも1種類含んでおり、分解性酸化物材料、分解性窒化物材料、分解性炭化物材料、分解性炭酸化物材料、分解性硫化物材料、分解性セレン化物材料のいずれかを含有することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】無機基材表面に残膜の薄い微細マスクパターンを付与した後、アスペクト比の高い微細パターンを無機基材表面に精度よく製造する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】無機基材の一主面側に形成された微細パターンの製造方法であって、光透過性の基材と、前記基材上に設けられ表面に微細凹凸構造を有する光硬化性樹脂層とを備えたリール状樹脂モールドの光樹脂硬化性樹脂層上にマスク材料層を積層して得た積層体Aと、前記無機基材上に樹脂層を形成して得られた積層体Bとを、マスク材料層側と樹脂層側とを貼り合わせた後、硬化し、その後リール状樹脂モールドを剥離して得られた凹凸構造がマスク材料層に転写されたマスク材料層-樹脂層−無機基材からなる積層体を、引き続き、エッチングして得られることを特徴とする無機基材の一主面側に形成された微細パターンの製造方法。 (もっと読む)


【課題】基材中を通過する導波光又は透過光を抑制でき、被転写材に連続的に微細構造を転写できるロール状モールドを提供すること。
【解決手段】本発明のロール状モールド(1)は、円筒状基材(11)と、円筒状基材(11)の外周面上に設けられた微細構造層(12)と、円筒状基材(11)の内周面上及び/又は微細構造層(12)上に設けられたUV吸収層(13)と、を具備することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】本発明はヒト型糖鎖結合タンパク質の精製、あるいはウイルスを吸着するために用いる糖ペプチド固定化ビーズを提供する。
【解決手段】下記式で表される糖ペプチドのLys(リジン)残基の遊離アミノ基のうち、少なくとも一つの遊離アミノ基にリンカーを介してビーズが結合する糖ペプチド誘導体。
【化1】
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【課題】例えば、還元剤として軽油を用いてリーンバーン排ガスに含まれる酸化窒素を300℃付近の温度領域で効率的に浄化する。
【解決手段】少なくともケイ素を含有する酸化物を含んでなる担体に、金とロジウムを含んでなる金属触媒成分を担持した担持触媒であり、金属触媒成分中の全金属に対する金とロジウムの合計が60質量%以上である担持触媒を用い、還元剤として例えば軽油を用いてリーンバーン排ガスに含まれる酸化窒素の浄化処理を行う。 (もっと読む)


【課題】複数個の点光源を用いながら、導光板の入光面近傍における輝度ムラ(ホットスポット)の発生がほとんどない面光源装置を液晶表示装置として用いたテレビ受信装置を提供する。
【解決手段】出光面、出光面と対向する対向面、及び、出光面と対向面との間に挟まれた少なくとも1つの入光面を有する導光板、並びに、導光板の少なくとも1つの入光面の近傍に配置された複数の点光源を有する面光源装置と、導光板の出光面と対向するように配置され、光の透過を調整することによって表示をする表示エリア及び表示エリアを画定する遮光枠を有する表示パネルと、放送映像信号を受信するチューナーと、を備えるテレビ受信装置であって、導光板の少なくとも1つの入光面が、開口部又は底面が出光面と垂直な方向に長い異方性形状を有する複数の凹部又は凸部を有する、テレビ受信装置。 (もっと読む)


【課題】複数個の点光源を用いながら、導光板の入光面近傍における輝度ムラ(ホットスポット)の発生がほとんどない面光源装置を液晶表示装置として用いたテレビ受信装置を提供する。
【解決手段】出光面、出光面と対向する対向面、及び、出光面と対向面との間に挟まれた少なくとも1つの入光面を有する導光板、並びに、導光板の少なくとも1つの入光面の近傍に配置された複数の点光源を有する面光源装置と、導光板の出光面と対向するように配置され、光の透過を調整することによって表示をする表示エリア及び表示エリアを画定する遮光枠を有する表示パネルと、放送映像信号を受信するチューナーと、を備えるテレビ受信装置であって、導光板の少なくとも1つの入光面が、開口部又は底面が出光面と垂直な方向に長い異方性形状を有する複数の凹部又は凸部を有する、テレビ受信装置。 (もっと読む)


【課題】複数個の点光源を用いながら、導光板の入光面近傍における輝度ムラ(ホットスポット)の発生がほとんどない面光源装置を液晶表示装置として用いたテレビ受信装置を提供する。
【解決手段】出光面11、該出光面11と対向する対向面、及び、前記出光面11と前記対向面との間に挟まれた少なくとも1つの入光面12を有する導光板1、並びに、該導光板1の前記少なくとも1つの入光面12の近傍に配置された複数の点光源を有する面光源装置と、前記導光板1の出光面11と対向するように配置され、光の透過を調整することによって表示をする表示エリア及び該表示エリアを画定する遮光枠を有する表示パネルと、放送映像信号を受信するチューナーと、を備えるテレビ受信装置であって、前記導光板の前記少なくとも1つの入光面12が、開口部又は底面が出光面11と垂直な方向に長い異方性形状を有する複数の凹部又は凸部を有する、テレビ受信装置。 (もっと読む)


【課題】溝深さが深いパターンを形成するためのフロン系ガスのドライエッチングに対して高い耐性をもつ熱反応型レジスト材料、それを用いた熱リソグラフィ用積層体及びそれらを用いたモールドの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の熱反応型レジスト材料は、フロン系ガスを用いたドライエッチングに用いる熱反応型レジスト材料であって、主要フッ化物の沸点が200℃以上である元素を少なくとも1種類含んでおり、Ti、Fe、Ni、Zr、Nb、Rh、Hf、Ta、Al、Zn、Ga、In、Sn、Sb、Pb、及びBiからなる群から選ばれた元素の不完全酸化物を含有することを特徴とする。 (もっと読む)


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