株式会社荏原製作所により出願された特許
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一過型多段ナノろ過実施設の処理機能を予測する装置および方法
【課題】 一過型多段ナノろ過実施設の処理機能を簡素な構成で予測できる循環型ナノろ過試験装置を得る。
【解決手段】 循環型ナノろ過試験装置である循環型装置2は、一過型多段ナノろ過実施設の任意の箇所の少なくとも1つの膜エレメント周りの水量収支を再現したものである。循環型装置2は、一過型多段ナノろ過実施設のものと同じ例えば2つの膜エレメント21、21を備えている。上流側の膜エレメント21には供給水が供給水管25と供給ポンプ26を介して流入する。膜エレメント21、21で生じた濃縮水の一部または全部は、循環水管31を介して供給ポンプ26の上流側の供給水管25に循環する。
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生物発電用アノード及びこれを利用する生物発電方法及び装置
【解決課題】 水溶液中での酸化還元活性と、pH7における標準電極電位(E0’)範囲が−0.13V〜−0.28Vである性質を保持したまま電子伝達媒体をアノード表面に高密度に固定化させた生物発電用アノード、該アノードを利用した生物発電装置及び方法を提供する。
【解決手段】 生物発電装置は、電子伝達媒体(電子メディエーター)が重合により固定化されているアノード1を含む嫌気性域4、隔膜(電解質膜)2、および多孔質カソード3を含む好気性域5が三重の筒状体をなすことによって構成される。筒状体の最内隔空間形態である嫌気性域4に嫌気性条件下で生育可能な微生物及び有機性物質を含む溶液又は懸濁液を流し、筒状体の最外隔空間形態である好気性域5には分子状酸素を含む空気を存在させる。好気性域5内に配置されている多孔質カソードは、カソードの少なくとも一部が、構造体内に空隙を有する導電性の多孔質材料、網状又は繊維状材料によって形成されている。嫌気性域4と好気性域5とを隔離する隔膜2は、物質交換係数が大きな隔膜で構成されている。
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立軸ポンプおよびポンプ機場
【課題】水位が低下しても気水混合運転になりにくく、大きな振動の発生しない立軸ポンプおよびポンプ機場を提供すること。
【解決手段】縦方向に配置される回転軸21により回転し、水槽1内の水を吸い込む羽根車20と、羽根車の上流側に配置され、羽根車に向けて水を流す流路90を形成する吸込管31と、吸込管の外側に配置され、吸込管に流入する水が流れる流路を形成する外ケーシング60と、吸込管の内側に配置される内筒であって、吸込管の流路を、内筒の内側92と、内筒の外側94とに区分する内筒とを備える立軸ポンプ。また、複数台の、上述の立軸ポンプと、複数台の立軸ポンプを設置する水槽1とを備え、複数台の立軸ポンプは、羽根車が異なる高さに配置される、少なくとも2台の立軸ポンプを含むポンプ機場。
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サーマルプロテクタ、電動機保護装置、水中ポンプ装置、及びマンホールポンプ装置
【課題】組み込み式のサーマルプロテクタを備え、該サーマルプロテクタが作動して電動機の主回路が遮断された場合、そのことを外部に通報することができるサーマルプロテクタ、電動機保護装置、水中ポンプ装置、及びマンホールポンプ装置を提供すること。
【解決手段】 電動機に組み込まれる該電動機に流れる電流値の過大や周囲温度の上昇に感応し、温度が所定の温度に達したら作動して開となる主接点(固定接点13、13、可動接点15、15)を具備するサーマルプロテクタ10を備え、該サーマルプロテクタの主接点が開となったら電動機の主コイルMCに通電する主回路を遮断するように構成した電動機保護装置であって、サーマルプロテクタ10の主接点が開となると閉となる補助接点(固定接点21、21、可動接点15、15)を備え、該補助接点の閉により電動機の主回路が遮断されたことを外部に通報する。
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電子線による検査装置、検査方法、及びその検査装置を用いたデバイス製造方法
【課題】試料やレンズ等を汚染することなく、ウエハの検査や露光等の作業を行う。
【解決手段】鏡筒5001の先端部を囲うようにして、差動排気部5004が取り付けられている。試料5002はステージ5003上に載置されている。差動排気部5004の外周側から荷電ビーム5050に向かって流入してくるガスを環状溝5005、5006を介して真空排気し、荷電ビーム領域を所定の真空度に維持する。
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電気透析装置、排水処理方法、およびフッ素処理システム
【課題】 電極腐食を伴うことなく、安定してフッ素含有排水を電気透析することができる電気透析装置を提供する。
【解決手段】 電気透析装置は、陽極2を有する陽極室10と、陰極3を有する陰極室50と、供給された排水からフッ素イオンを除去して処理水を生成する脱塩室40と、脱塩室40から移動した排水中のフッ素イオンを濃縮して濃縮水を生成する濃縮室30と、排水中のフッ素イオンが濃縮室30から直接陽極室10に流入しないように遮断するバッファ室20とを備えている。また、電気透析装置は、陽極室10に純水を供給する経路と、陽極室10から出た流出水をバッファ室20に供給する経路とを有している。
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電子線装置及び欠陥検査方法
【課題】高電圧が印加される試料と対物レンズとの間の放電による試料の破壊を防止する。
【解決手段】電子銃から放出された電子線を試料に照射し、試料の評価を行なう電子線装置であって、前記試料には負の高電圧を印加するようになっており、前記試料と対物レンズ間の放電の前駆現象を検出する測定器を有し、該測定器の信号から、試料に印加する電圧あるいは電流を放電電圧あるいは電流以下に調整できる機能を有することを特徴とする。
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ポンプ
【課題】 始動時にも軸スラストが回転体に作用せず、始動時の軸スラストによる軸受の損傷という問題が無く、安定した始動が可能なポンプを提供する。
【解決手段】 スラストバランス機構19を備えたポンプであって、前記ポンプの吸込段羽根車15の回転により発生する静圧に基づいて、前記ポンプの回転軸に作用する軸推力に対して反対方向の力を作用させるバランス機構30を、ポンプ回転軸12の吸込側に備えた。前記ポンプの吸込段羽根車の回転により発生する静圧を、吸込段羽根車外周15a付近から取り出すことが好ましい。
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マイクロポンプ
【課題】 送液機構に弁や多くのアクチュエータを備えることなく、微量の液体を一方向に向けて精度よく送ることができるようにする。
【解決手段】 液体を順方向に送る流路部16と流体の逆流を阻止する逆流阻止部18とを内周面に有し、液体の流路10を構成するケーシング12と、ケーシング12を振動させる加振源14とを備え、ケーシング12を振動させて流体を順方向に送るようにした。
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めっき装置及びめっき方法
【課題】CMPプロセスのやりやすいめっき膜を形成して、次工程のCMPプロセスでの負担を軽減できるようにしためっき装置及びめっき方法を提供する。
【解決手段】基板Wを保持する基板保持部36と、基板保持部36で保持した基板Wと接触して通電させるカソード電極88を備えたカソード部と、基板Wの表面に対向する位置に配置されるアノード98と、基板保持部36で保持した基板Wとアノード98と間に基板Wと接離する方向に移動自在に配置され、該移動方向に沿って直線状に貫通して延びる貫通孔112aを有する接触材112を有する。
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