説明

株式会社荏原製作所により出願された特許

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【課題】簡素な構成の信号処理部で、複雑な波形の電流信号を発生させ、ドライバーを介して該電流信号に応じた波形の電流を各電磁石の励磁コイルに通電できる電磁石制御装置を提供すること。
【解決手段】複数の電磁石10を備え、各電磁石10の励磁コイルXに所定波形の励磁電流を通電することにより、隔壁で仕切られた空間内に発生したプラズマ分布を能動的に制御する電磁石制御装置であって、所定波形の励磁電流信号を生成する信号処理部13と、該信号処理部13からの所定波形の励磁電流信号S2を増幅して各電磁石10の励磁コイルに通電するドライバー11と、当該電磁石装置の各部に電力を供給する電源部17とを備えた電磁石制御装置。 (もっと読む)


【課題】配線数が少なくて済み、製作が容易で且つノイズ等も抑制できる電磁石制御装置を提供すること。
【解決手段】複数の電磁石10を備え、該電磁石10の励磁コイルΧに所定波形の励磁電流を通電することにより、所定の磁場空間を形成する電磁石制御装置であって、励磁コイルΧに任意の励磁電流を通電するドライバー11と、励磁コイルに通電する励磁電流値をドライバーに指令する電流制御部12と、を備え、ドライバー11と電流制御部12をユニット20として、複数ユニット20を別置きにし、各ユニットの電流制御部とドライバーをデイジーチェーンのシリアル通信で接続し、電源部から各ユニットへ電流をマルチドロップで供給可能なバスライン22で供給する。 (もっと読む)


【課題】ドライバーと電磁石の励磁コイルと接続する大電流容量のケーブルが不必要で電流ロスの発生が少なくて、設備コスト及びランニングコストの安価な電磁石駆動制御装置、及び電磁石装置を提供すること。
【解決手段】電磁石10を備え、該電磁石10の励磁コイルXに所定波形の励磁電流を通電することにより、隔壁で仕切られた所定の空間に磁界を形成する電磁石装置を駆動制御する電磁石駆動制御装置であって、励磁コイルXに任意の励磁電流を通電するドライバー12と、励磁コイルXに通電する励磁電流iをドライバー12に指令する電流制御部16を備え、ドライバー12と電流制御部16を別置きとし、ドライバー12と電磁石10の励磁コイル又は接近として配置したドライバー・電磁石ユニット2とした。 (もっと読む)


【課題】試料表面に異物が付着することを極力防止することができる電子線検査装置を提供する。
【解決手段】試料200を配置したステージ100が真空排気可能な真空チャンバ112の内部に設置されており、該試料200の周囲を包囲する位置に集塵電極122が配置されている。集塵電極122には、試料200に印加される電圧と同じ極性で絶対値が等しいかそれ以上の電圧が印加される。これにより、集塵電極122にパーティクル等の異物が付着するので、試料表面への異物付着を低減することができる。集塵電極を用いる代わりに、ステージを包含する真空チャンバの壁面に凹みを形成するか、又は、所定の電圧が印加されるメッシュ構造の金属製平板を壁面に敷設してもよい。また、中央に貫通孔124aを有する隙間制御板124を試料200及び集塵電極122の上方に間隙制御板124を配置することにより、異物付着をより低減することができる。 (もっと読む)


【課題】CARE法のメリットを延ばし、CARE法のデメリットを補完することで、十分な加工速度を確保しながら、被加工物の加工後における加工表面にダメージを残すことなく該加工表面の平坦度を高めた表面除去加工を行うことができるようにする。
【解決手段】緩衝剤を含む第1処理液中に被加工物を配し、ガラス系金属酸化物からなる触媒定盤を透過させて被加工物の被加工面に光を照射させながら、触媒定盤の表面を被加工物の被加工面に接触または極接近させる光照射触媒基準エッチングで初期表面除去工程を行い、ハロゲン化水素酸、過酸化水素水またはオゾン水からなる第2処理液中に被加工物を配し、少なくとも表面が、白金、金、セラミックス系固体触媒、遷移金属、及びガラス系金属酸化物の何れかのみからなる触媒定盤の該表面を被加工物の被加工面に接触または極接近させる触媒基準エッチングで最終表面除去工程を行う。 (もっと読む)


【課題】特にシール部材の交換等のメンテナンス性を改善できるようにした基板ホルダを提供する。
【解決手段】基板Wの外周部を挟持して基板Wを着脱自在に保持する固定保持部材54及び可動保持部材58と、可動保持部材58に取付けられ、可動保持部材58と固定保持部材54で基板Wを保持した時に、可動保持部材58と基板Wの外周部との間、及び可動保持部材58と固定保持部材54との間をそれぞれシールする内側シール部材66及び外側シール部材68を有し、内側シール部材66及び外側シール部材68は、シールホルダ62と該シールホルダ62に取付けられる固定リング70との間に挟持されて可動保持部材68に取付けられている。 (もっと読む)


【課題】磁性流体シールを使用する必要がない磁気浮上型を採用し、しかも装置としてのアキシャル方向の長さを極力短くすることができるようにする。
【解決手段】回転動力を出力する回転子12を備え、回転子12は、回転子12のラジアル方向に配置されて該回転子12のラジアル方向変位を非接触で制御する2組以上のラジアル磁気軸受40と、回転子12の周囲に3組以上に分割配置されて該回転子12のアキシャル方向変位を非接触で制御するアキシャル磁気軸受50によって、所定の位置に非接触で回転支承され、ラジアル磁気軸受40のラジアル電磁石44とアキシャル磁気軸受50のアキシャル電磁石54は、略同一平面上に配置されてケーシング部14に固定されている。 (もっと読む)


【課題】圧力室を形成するメンブレンを用いた基板保持装置において研磨中に半導体ウエハ等の基板の温度を推定して基板の温度を制御することができる基板保持装置および該基板保持装置を備えた研磨装置を提供する。
【解決手段】研磨面101aを有した研磨テーブル100と、基板Wを保持して研磨面101aに押圧する基板保持装置1と、制御部50とを備えた研磨装置であって、基板保持装置1は、基板に当接して基板保持面を構成する弾性膜4と、弾性膜4の上方に位置するキャリア43と、弾性膜4とキャリア43との間に形成された圧力室5,6,7,8と、弾性膜4からの熱エネルギを測定する赤外線検出器45とを備え、制御部50は、赤外線検出器45による測定値を用いて弾性膜温度推定値を算出する。 (もっと読む)


【課題】研磨パッドの寿命を正確に決定することができ、研磨パッドの交換頻度を少なくすることができる研磨装置を提供する。
【解決手段】本研磨装置は、研磨テーブル12を回転させるテーブル回転モータ70と、トップリング20を回転させるトップリング回転モータ71と、研磨パッド22をドレッシングするドレッサ50と、研磨パッド22の高さを測定するパッド高さ測定器60と、研磨パッド22の高さから研磨パッド22の減耗量を算出し、研磨パッド22の減耗量と、テーブル回転モータ70のトルクまたは電流と、トップリング回転モータ71のトルクまたは電流とに基づいて研磨パッド22の寿命を決定する診断部47とを備える。 (もっと読む)


【課題】小型で且つ過渡的大電力需要を賄うことができる電源装置を提供すること。
【解決手段】商用電源を投入・遮断する遮断機と、任意の周波数の駆動電力を電動機M1、M2に出力するインバータ11、21を備えた電源装置において、インバータ11、21には商用電源を整流する整流部と、該整流部により整流した電圧を平滑する平滑部を具備し、平滑部の出力部にスイッチング素子で構成された周波数変換部を設け、該周波数変換部の出力電力が所定値以上となった場合、平滑部のコンデンサ又は別途設置した電力供給用コンデンサ12より周波数変換部へ不足する電力を供給し、更に周波数変換部の出力電力が所定値以下となった場合、整流部より電力供給用コンデンサ12に充電する過渡電力供給部14を設け、インバータ11、21への入力電力に対して出力電力の負荷変動を時間的に平均化しつつ周波数変換部の上位側の部品及び設備の容量を小型化する。 (もっと読む)


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