説明

株式会社荏原製作所により出願された特許

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【課題】 気密性が良好で確実に所定雰囲気を確保することができ、当該所定雰囲気中で薄膜材料に電離性放射線を照射することができる電離性放射線照射装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 電離性放射線を照射する照射部2と、薄膜材料10を所定雰囲気中に保持する処理部3と、処理部3に形成され、薄膜材料10を連続的に処理部3に送り込む導入部4と、処理部3に形成され、薄膜材料10を連続的に処理部3から導出する導出部5と、導入部4または導出部5に配設され、薄膜材料10の両面に接し所定雰囲気を保持する気密機構6、7とを備え、照射部2には、電離性放射線を処理部3に取り出して、処理部3内で薄膜材料10に電離性放射線を照射する照射窓21が形成される。 (もっと読む)


【課題】 基板搬送容器固定用のラッチ動作で容器を開ける際に、ファンの運転に伴う気流が発生せず、汚染粒子の吸込みなどを生じない基板搬送容器及び使用方法を提供する。
【解決手段】 基板を内部に収容すると共に基板搬出入用の開口部を持った容器本体と該開口部を開閉可能なドアとで構成される基板搬送保管容器において、基板搬送保管容器は、ファンを内蔵し気流を形成する手段を有する環境ボックスと、ドアをロックするロック機構とを備え、ロック機構の開閉ロック動作を検知するセンサを設けた基板搬送保管容器。センサが前記基板搬送保管容器のロック機構のツメに取り付けられ、センサによりロック状態を検知する。ロック機構のロックの解除動作が開始される前に環境ボックスのファンに停止信号が送信されて、基板搬送保管容器が開く前に環境ボックスのファンの運転が停止される。 (もっと読む)


【課題】 植物廃棄物の有効利用法及び汚泥脱水の有効な前処理法として期待される植物を破砕して脱水助剤として使用する技術において、脱水助剤として使用する植物繊維破砕物と汚泥との混合性を向上させて、脱水助剤としての効果を高める方法を提供する。
【解決手段】 本発明の一態様は、植物を膨張粉砕処理して得られた膨張粉砕物を汚泥に添加混合し、脱水することを特徴とする汚泥の脱水処理方法に関する。 (もっと読む)


【課題】ポンプとゲートを別工場で製作した場合でも、工場組合せ試験を省略でき輸送・検査コストを低減でき、且つ設置後にポンプが故障し、該ポンプを工場持帰り補修する場合でも、ゲート内に逆流防止弁を残しておく構造とすることで、ポンプを取り外してもゲート機能を維持することができるポンプゲート設備を提供すること。
【解決手段】水路1を開閉するゲート2にポンプ4及び逆流防止弁5を設け、該ゲート2で閉じた一方の水路1の水をポンプ4で汲み上げ逆流防止弁を通して他方の水路に排水するように構成されたポンプゲート設備において、ゲート2の止水板であるスキンプレートに台板10を設け、該台板10を介してポンプ4と逆流防止弁5を組合わせた。また、台板10にポンプ4及び逆流防止弁5をそれぞれ異なった取り合い位置に個別に脱着自在に取付けた。 (もっと読む)


【課題】 ウェット洗浄処理後に行われる乾燥処理で、基板を迅速かつ確実に乾燥できるようにした基板処理装置、並びに、基板のベベル部乃至エッジ部に成膜乃至付着した不要な薄膜を、例え硬質な膜であっても、急勾配なエッジプロファイルを得た状態で、短時間で除去でき、しかも、不要な薄膜を除去した後のベベル部乃至エッジ部における表面粗さを小さく抑えることができるようにする。
【解決手段】 本発明の基板処理装置は、基板Wを保持する基板ホルダ22と、基板ホルダ22で保持した基板Wの表面の少なくとも一部が曝される雰囲気を、湿度が制御されたドライガス雰囲気にするドライガス供給部32,36とを有する。本発明の基板処理システムは、基板のベベル部乃至エッジ部に成膜乃至付着した薄膜を研磨する研磨装置と、研磨装置による研磨後の基板のベベル部乃至エッジ部に残った薄膜をエッチング除去するエッチング装置とを有する。 (もっと読む)


研磨装置は、研磨面(40)を有する研磨テーブル(18)と、基板上の複数の領域(C1−C4)に対する押圧力を独立に制御しつつ基板を研磨面(40)に押圧するトップリング(20)とを備える。研磨装置は、複数の基板の計測点の基板状態を監視するセンサ(52)と、センサ(52)からの信号に所定の演算処理をしてモニタ信号を生成するモニタ装置(53)と、それぞれの計測点におけるモニタ信号と基準信号とを比較し、計測点におけるモニタ信号が基準信号に収束するように、トップリング(20)による押圧力を制御する制御部(54)とを備える。
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廃農薬などの残留性有機汚染物質を間接加熱処理法で処理する方法において、汚染物質の分解効率を向上して排ガス処理の負担量を大幅に低減することのできる低コストで安全・確実な処理を行う方法を提供する。本発明の一態様は、残留性の有機汚染物質を処理する方法であって、有機汚染物質と、固体媒体と、アルカリ剤と、高沸点の極性溶媒とを混合することを特徴とする方法に関する。また、本発明の他の態様は、固体媒体中に含まれる残留性の有機汚染物質を処理する方法であって、固体媒体中の有機汚染物質と、アルカリ剤と、高沸点の極性溶媒とを混合することを特徴とする方法に関する。 (もっと読む)


投受光部(52)は、液体が基板(14)に供給されて縁部(30)に流れる状態で、レーザ光を縁部(30)に投光し、反射光を受光する。信号処理コントローラ(54)は、反射波の電気信号を処理して縁部(30)の状態を判断する。研磨途中の縁部の状態が監視される。また、研磨終点が検知される。レーザ光以外の送信波が用いられてもよい。縁部(30)が流路形成部材で囲まれて、流路が好適に形成されてもよい。液体が基板縁部に流れる状況でも好適に縁部を測定可能にする。
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【課題】高濃度の有機物、リン及び窒素を含有する有機性排水から、重金属由来粒子を分離除去しMAP等の有価物粒子を効率良く回収することにより、容易かつ低コストで重金属含有率の比較的小さい汚泥を生成し、さらに有用有価物も同時に回収することを可能にする有機性排水又は汚泥の処理方法及び装置を提供する。
【解決手段】嫌気性処理工程を組み入れた有機性排水又は汚泥の処理システムであって、該嫌気性消化工程の汚泥中に存在する2種類以上の微粒子の中から重金属由来化合物粒子を液中粒子状態で分離する分離手段を有し、該分離手段として該粒子の比重、粒径、表面電荷、磁性、及びぬれ性のうち少なくとも2つ以上の特性を利用した微粒子分級手段を採用することを特徴とする有機性排水及び汚泥の処理方法。及び装置。 (もっと読む)


少なくとも二つのポリマーセグメントを含む共重合体であって、少なくとも一つのポリマーセグメントが下記一般式(1)で示されるホスホリル誘導体を含み、少なくとも一つのポリマーセグメントが下記一般式(1)で示されるホスホリル誘導体を含まないことを特徴とする共重合体を用いることにより、安価で化学的安定性に優れ、機械的強度が高く、さらにハロゲン元素を含まず、廃棄時おける環境付加の低い高分子および組成物、成形体を提供する。
【化1】


(Rは、各々独立に、炭化水素,芳香環,水素,金属イオン,オニウムイオンを示す。)
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