説明

株式会社荏原製作所により出願された特許

1,461 - 1,470 / 1,477


【課題】 研磨布の使用に伴なう摩耗の不均一性または研磨布上のスラリー分布の不均一性によらず、ポリッシング対象物の研磨面を均一に研磨することができるポリッシング方法および装置を提供する。
【解決手段】 ターンテーブル20とトップリング3との間にウエハ6を介在させて所定の力で押圧することによってウエハ6の表面を平坦且つ鏡面状に研磨するポリッシング方法において、ウエハ6の裏面6Aに所定量の水を供給する工程と、ウエハ6を保持する凹球面に形成した保持面4を有するトップリング3に、裏面に所定量の液体を供給されたウエハ6を保持する工程と、トップリング3に保持したウエハ6の研磨面をターンテーブル20上の研磨布23に対向して押圧して研磨する工程とからなる。 (もっと読む)


【目的】 簡単でコンパクトな装置で効率よく、運転できるエンジン排熱を利用する冷暖房装置とその運転方法を提供する。
【構成】 発電用エンジン24の排熱を温水又は蒸気として回収する排ガス熱交換器26と、回収した排熱を熱源とする吸収冷温水機と暖房用熱交換器とを有すると共に、該吸収冷温水機と暖房用熱交換器に接続する冷房用冷水系15又は暖房用温水系15を有するエンジン排熱5を利用する冷暖房装置において、前記冷房用冷水系15では発電用エンジン24で発電25した電気を利用する圧縮式冷凍機23を接続すると共に、前記暖房用温水系15では発電用エンジン24で発電25した電気を利用する電気ヒーター22を接続したものであり、電気負荷が定格未満であり、冷暖房負荷が運転中の発電用エンジン排熱による冷暖房出力を上回る場合に、発電用エンジンで発電した電気で圧縮式冷凍機23又は電気ヒーター22を駆動することとしたものである。 (もっと読む)



【目的】 軸スリーブとその固定手段とを含む全体が小型でかつ分割面がずれることがない分割型軸スリーブを提供する。
【構成】 軸スリーブ片1a,1bの軸方向一端部に軸中心に向かって傾斜したテーパー面11を形成し、軸2に軸スリーブ片1a,1bの一端部のテーパー面11に密接するテーパー面12を有した係合部Aを形成し、軸スリーブ片1a,1bの軸方向他端部にこれらを組み合わせた状態で軸の中心線に沿って横から見て頂部から傾斜した主テーパー面15を形成し、かつ主テーパー面15の外周縁に軸中心に向かって傾斜した補助テーパー面13を形成し、主テーパー面15に密接するテーパー面16を有したスリーブ押さえ内輪3と補助テーパー面13に密接するテーパー面14を有したスリーブ押さえ外輪4とを設けた。 (もっと読む)


【目的】 制御が簡単でしかも安価に流動媒体から熱が回収できる方法及び流動床燃焼装置を提供する。
【構成】 流動床燃焼炉1と該炉から流動媒体を取り出して循環するためのシュート3、流動媒体取り出しコンベア4、不燃物除去装置5、流動媒体貯槽14、流動媒体供給弁15、及びこれらを順次連結して移送する移送手段11、12、16を有する流動媒体循環系統からなる流動床燃焼装置において、前記流動媒体循環系統のいずれか1以上に流動媒体から熱を回収する熱交換手段6〜9、19〜21を設けることとした。 (もっと読む)


【目的】 紫外線分解法において、十分な分解ができしかも効率的で安全な揮発性有機塩素化合物の処理方法とその装置を提供する。
【構成】 揮発性有機塩素化合物を含有する気相中に水素源を付加した後、該気相を紫外線に曝露して前記気相中の揮発性有機塩素化合物を分解することを特徴とする揮発性有機塩素化合物の処理方法としたものであり、該処理装置として、揮発性有機塩素化合物を含有する気相21中に水蒸気又は水素を含む気体23を付加する水素源付加装置22と、該水素源を付加された揮発性有機塩素化合物24を含む気体に紫外線25を照射する紫外線照射装置26とを有し、さらに紫外線照射後の気体27をアルカリ剤により処理する湿式中和装置28とを備えたこととしたものである。 (もっと読む)


【目的】 モリブデン酸塩等の溶解度の低い腐蝕抑制剤を水溶液として自動的に添加でき、腐食抑制剤の濃度を適正範囲に保持できる吸収冷凍機を提供する。
【構成】 再生器G、吸収器A、蒸発器E、凝縮器C、及びそれらを連絡する溶液通路1〜4及び冷媒通路7〜9と溶液ポンプ5及び冷媒ポンプ6を有し、水を冷媒の主成分とし、吸収溶液に塩水溶液を用い、溶解度の低い腐蝕抑制剤を用いる吸収冷凍機において、腐蝕抑制剤の水溶液を保有する抑制剤タンク10を設け、該タンク10と溶液ポンプ吸込側の溶液通路1とを溶液弁12を有する溶液配管11で結び、前記腐食抑制剤の添加量又は添加速度を調整する機構13を設けたものであり、前記調整機構は、腐蝕抑制剤の単位時間当たりの添加量を設定し、その設定値に基づいて溶液配管中の溶液弁の開閉時間を制御するのがよい。 (もっと読む)


【目的】 エネルギーが低く、粒子線束の高い高速原子線を効率よく放出することのできる高速原子線源を提供する。
【構成】 高速原子線源において、放電部21,22に交流電圧24を印加する。 (もっと読む)


【目的】 クリーンエネルギーである水素を高速、高効率で生産することができる微嫌気水素発酵法を提供する。
【構成】 有機性廃棄物1を水素発酵7させる微嫌気水素発酵法において、前記水素発酵における発酵液を酸化還元電位9が、−100〜−200mVの範囲の微嫌気条件となるように制御3しながら発酵させる方法であり、前記水素発酵は、減圧発酵で行うか、又は、発生ガスをガス分離膜11を通過させて水素12と炭酸ガス13を分離させながら行うのがよい。 (もっと読む)


【目的】 固形物と泥状物との燃焼物を受け入れから燃焼装置まで1本化して、設備を単純化できる燃焼物の投入方法とその装置を提供する。
【構成】 固形物と泥状物とからなる燃焼物を、均質に混合して、切り出し機構をもつ供給装置から流動床燃焼装置の流動床部に投入するするものであり、その装置は、固形物3と泥状物12との燃焼物を混合する手段5を有する貯留槽2と、貯留槽2からの混合した燃焼物を移送する手段5と、移送した燃焼物を受け入れる底部に切り出し機構8を有する供給装置6とを有し、該切り出し機構8の排出先を流動床燃焼装置9の流動床部10に接続している。 (もっと読む)


1,461 - 1,470 / 1,477