【課題】研磨の進捗を正確に監視し、さらには正確な研磨終点を検出することができる方法を提供する。
【解決手段】本方法は、基板の研磨中に基板に光を照射し、基板からの反射光を受光し、反射光の強度を波長ごとに測定し、強度の測定値から、強度と波長との関係を示すスペクトルを生成し、所定の時間当たりのスペクトルの変化量を算出し、スペクトルの変化量を研磨時間に沿って積算してスペクトル累積変化量を算出し、スペクトル累積変化量に基づいて基板の研磨の進捗を監視する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハの周縁部における研磨量の過不足を防止し、より平坦度の高い研磨を行うことができ、また半導体ウエハの周縁部の研磨量を意図的に増減することができるポリッシング装置及び方法を提供する。
【解決手段】ポリッシング対象物を保持するトップリング１を回転させる際の軸中心となるトップリングシャフト８の周囲に別個に設けられ、ポリッシング対象物を研磨する際、トップリングシャフト８とは一緒に回転しないよう構成された部材２１を備え、トップリング１の周囲に上下動自在に配置されたガイドリング３に押圧力を与えるための流体圧を調節する第２のレギュレータＲ２からガイドリング押え２０を介してガイドリング３へ行われる押圧力の伝達が、トップリングシャフト８の周囲に別個に設けられた部材２１を介して行われる。 （もっと読む）

【課題】汚水が制御装置に浸入することを防止することができる、真空汚水収集システムに使用される真空弁ユニットを提供する。
【解決手段】真空弁ユニットは、先端が汚水ます１内に配置される吸込管５０と、真空系５と吸込管５０との間に配置される真空弁４と、吸込管５０の所定の高さに接続された第１の差圧検出管５１と、第１の差圧検出管の接続位置よりも低い高さに接続された第２の差圧検出管５２と、差圧検出管５１，５２内の圧力に基づいて動作し、真空弁４の開閉を制御する機械式の制御装置１１と、差圧検出管５１，５２と制御装置１１とをそれぞれ接続するフレキシブルチューブ６１，６２とを備える。差圧検出管５１，５２の側部には、第１の接続ノズル５１Ｂおよび第２の接続ノズル５２Ｂがそれぞれ設けられており、接続ノズル５１Ｂ，５２Ｂは、フレキシブルチューブ６１，６２に接続されている。 （もっと読む）

【課題】汚水の水位が過度に上昇した場合でも、汚水の圧力による破損を防止することができる真空汚水収集システムに使用される真空弁の制御装置を提供する。
【解決手段】真空弁４の開閉動作のために供給する真空および大気圧を切換える真空弁開閉機構６４，６５，５３，７０ａと、該真空弁開閉機構を作動させる往復動可能な軸５４と、軸５４を、真空弁４を閉じる方向に付勢するバネ６８と、軸５４と一体に往復動可能な第１ダイヤフラム５６および第２ダイヤフラム５９と、第１ダイヤフラム５６の両側に差圧を生じさせて、軸５４を真空弁４を開く方向に移動させる第１室５７および第２室５８と、第２ダイヤフラム５９の両側に差圧を生じさせて、軸５４を真空弁４を開く方向に移動させる第３室６０および第４室６１と、軸５４の真空弁４を閉じる方向への変位を制限する変位制限機構７８とを備えた。 （もっと読む）

【課題】低コストかつ簡便に製造及び分解・組立てを行うことができるようにする。
【解決手段】ステータコア１８に導体２０を巻回した電機子２２を、モータフレーム１０の内部のステータキャン２４で区画されたステータ室５２内に収納したステータ１２と、ステータキャン２４の内周側に回転可能に配置されて外部へ動力を出力する回転軸１４を備えたロータ１６とを有し、ステータキャン２４の反負荷側端部には反負荷側ステータキャン端板３２が固定され、該反負荷側ステータキャン端板３２と該端板に対向する固定側部材１０ｂとの間には、密閉部材５０ｃが配置されている。 （もっと読む）

【課題】精度の良い試料表面検査を行える方法及び装置を提供する。
【解決手段】電子線式試料表面検査装置を用いて試料表面を検査する方法であって、前記試料表面検査装置の電子銃から発生した電子ビームを前記試料表面に照射し、前記試料表面から発生した二次電子を検出器の電子検出面に向けて結像させ前記試料表面を検査する方法において、前記検出器の検出面における前記二次電子の結像条件を、前記試料表面の電位が前記試料表面に照射された電子ビームの量に応じて変化するように制御する。 （もっと読む）

【課題】樹脂部、薄板金属部、モータフレームの間で生じる熱膨張差を吸収してそれぞれに過大な応力が生じないようにすることの可能な樹脂層と薄板金属層を有する複層構造キャンを備えた回転電機を提供すること。
【解決手段】円筒状フレーム（１３）内に固定子巻線を装填した固定子鉄心を挿入固定し、該固定子巻線及び該固定子鉄心をキャン（２１）で包囲し、該キャンで囲まれた空間に回転自在にロータを配置したキャンド構造の回転電機において、キャンは、繊維強化プラスチックからなる第１層（２１ａ）と、該第１層の内面に配置された薄板金属とからなる第２層（２１ｂ）とで構成され、第２層の薄板金属キャン端部に該薄板金属より厚い薄板金属からなるベローズ部（２１ｃ）を設け、フレームと第１層の熱膨張差を該ベローズ部で吸収する。 （もっと読む）

【課題】欠陥の発生を抑制することができる基板乾燥方法、制御プログラム及び基板乾燥装置を提供すること。
【解決手段】基板乾燥装置１は、リンス液ノズル２０と、乾燥気体ノズル３０と、リンス液ノズル２０及び乾燥気体ノズル３０を移動させる移動機構４０と、基板Ｗを回転させる回転機構１０と、制御プログラムがインストールされた制御装置５０とを備える。制御装置５０の制御プログラムで実行される基板乾燥方法は、乾燥気体流Ｇｆが基板Ｗに衝突する範囲に基板Ｗの回転中心Ｗｃが存在する範囲である中心エリアを乾燥させる工程と、中心エリアの外側を乾燥させる工程とを備える。乾燥気体流Ｇｆに含有するＩＰＡが、中心エリア乾燥工程中は２ｍｏｌ％未満を維持し、外側エリア乾燥工程では中心エリア乾燥工程中よりも高濃度とする。これで、遠心力が小さい中心エリアで欠陥の発生を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】効率のよい制御装置一体型モータポンプを提供する。
【解決手段】制御装置一体型モータポンプは、ポンプ１と、ポンプ１を駆動するモータ２と、モータ２を制御する制御装置３と、ポンプの吐出側の流体の圧力を測定する吐出側圧力測定器１６とを備える。制御装置３はモータ２のモータケーシングに取り付けられる。制御装置３は、商用周波数以上の周波数を含む帯域内の周波数を持つ交流電力を生成するインバータ２５と、ポンプ１の運転を制御するためのトルク指令値を生成するポンプ制御部３０と、トルク指令値を受けてインバータ２５への電圧指令値を決定するベクトル制御部４０とを有する。モータ２は、複数の永久磁石２０を持つ回転子を有する。 （もっと読む）

【課題】流体流路内に外部から過大な流体流が進入した場合に、簡単な構成で、過回転においても損傷することのない流体機械強度を有し、更に強制的な過回転現象が去った時点で速やかに正規の回転数に復帰する流体機械を提供すること。
【解決手段】流体流路（風路１１）内に配置され、回転翼１５を駆動機（電動モータ１７）で回転させることにより、流体を流体流路の一方向から他方に送る流体機械であって、回転翼１５の回転軸と駆動機の駆動軸の間に駆動機の正回転方向のみの回転力を回転翼の回転軸に伝達する第１機械的一方向クラッチ１６を配置し、駆動機の駆動軸と静止側の間に該駆動軸の正回転方向の回転を許し逆回転方向の回転を阻止する第２機械的一方向クラッチ２６を配置した。 （もっと読む）