【課題】研磨テープを用い、しかも堆積膜及び該堆積膜の下のシリコンにそれぞれに適した研磨条件でシリコン基板の外周部を効率的に研磨できるようにする。
【解決手段】シリコンの表面に堆積膜を堆積させたデバイス基板１４を第１回転速度で回転させながら、該デバイス基板１４の外周部に第１研磨テープ３４を押圧してデバイス基板１４の外周部に位置する堆積膜１２を除去し、デバイス基板１４を第２回転速度で回転させながら、堆積膜１２を除去することで露出したデバイス基板１４外周部のシリコン１０に第２研磨テープ５２を押圧して該シリコン１０を所定の深さまで研削する。 （もっと読む）

【課題】冷媒液を蒸発部に移送する冷媒液の流れと、蒸発部から冷媒液を取り出した後に再び蒸発部に戻して循環させる冷媒液の流れとを同一冷媒ポンプによりにより発生させ、単純な構成とした吸収ヒートポンプを提供する。
【解決手段】冷媒蒸気ＣＳを凝縮して冷媒液ＣＬとする凝縮部Ｃ、５Ａと、凝縮部から供給される冷媒液を単一の圧力下で蒸発させて冷媒蒸気を発生させ、蒸発しない余剰の冷媒液を凝縮部に戻す蒸発部Ｅと、凝縮部で凝縮した冷媒液を昇圧し蒸発部へ供給する冷媒昇圧手段４とを備える吸収ヒートポンプとする。 （もっと読む）

【課題】ロータの、特に該ロータの一部を構成する回転軸を効果的に冷却し、例えば動翼と該動翼に対向して配置される静翼との間のクリアランスが変化して、排気性能が変化するような時に、警報を発するか、またはポンプ運転を停止して、ポンプを保護できるようにする。
【解決手段】磁気軸受５０，５２，５８によりロータを磁気浮上させ、該ロータをモータ１２により高速回転させて気体を排気するターボ分子ポンプにおいて、磁気軸受５０，５２，５８に冷却用気体を導入する冷却用気体導入部６４と、磁気軸受に導入される冷却用気体の圧力を検出する圧力検出部６８とを備え、ポンプ運転中に圧力検出部６８で検出された圧力が規定圧力以下になった時に、警報を発すか、またはポンプ運転を停止する。 （もっと読む）

【課題】２つのメカニカルシールの間に冷却液循環用の遠心羽根車を設けたタンデムメカニカルシールを提供する。
【解決手段】タンデムメカニカルシールは、第１スリーブ１０２、第１回転シールリング１０４、第１回転シールリングに当接する第１静止シール部１０７，１０９、および第１回転シールリングと第１静止シール部とを互いに押し付ける第１ばね機構１１０を有する第１シールユニット１００と、第２スリーブ１３１、第２回転シールリング１３２、第２回転シールリングに当接する第２静止シール部１２１，１２３、第２回転シールリングと第２静止シール部とを互いに押し付ける第２ばね機構１３３、および遠心羽根車２０を有する第２シールユニット１２０とを備える。第１スリーブ１０２の端面と第２スリーブ１３１の端面同士は接触し、遠心羽根車２０は、第１シールユニットのシール面と第２シールユニットのシール面との間にある。 （もっと読む）

【課題】モータを取囲むウォータジャケットを循環する冷却液とポンプの取扱液との熱交換を効率的に行うことのできる水中モータポンプを提供する。
【解決手段】水中モータポンプは、冷却液の循環流路を有するウォータジャケット１１と、冷却液を循環させる遠心羽根車２０と、循環流路と遠心羽根車の流体入口とを連通する吸込流路と、遠心羽根車の流体出口と循環流路とを連通する吐出流路とを備える。吐出流路は、互いに対向する２つの壁面によって形成された熱交換流路８０を含み、２つの壁面のうちの一方は、主羽根車１２によって移送される取扱液に接触するサイドプレート３０から構成されている。熱交換流路８０は、遠心羽根車２０の流体出口から径方向外側に拡張する円形の形状を有しており、熱交換流路８０は、回転軸１の軸方向の長さ成分を持つ少なくとも１つの軸方向流路区間を含む。 （もっと読む）

【課題】基板のトップエッジ部および／またはボトムエッジ部を正確かつ均一に研磨することができる研磨装置を提供する。
【解決手段】研磨装置は、基板Ｗを水平に保持し、該基板Ｗを回転させる回転保持機構３と、基板Ｗの周縁部に近接して配置された少なくとも１つの研磨ヘッド３０とを備える。研磨ヘッド３０は、基板Ｗの周方向に沿って延びる少なくとも１つの突起部５１ａ，５１ｂを有し、研磨ヘッド３０は、突起部５１ａ，５１ｂにより研磨テープ２３の研磨面を基板Ｗの周縁部に対して上方または下方から押圧する。 （もっと読む）

【課題】流体摩擦損低減、耐圧性、耐熱性、耐エロージョン性、及び耐放射線性に優れ、且つキャンによる渦電流損がゼロ又は極めて小さいキャンド構造の回転電機を提供すること。
【課題手段】円筒状フレーム１１内に固定子巻線１７ｂを装填した固定子鉄心１７ａを挿入固定し、該固定子巻線１７ｂ及び該固定子鉄心１７ａをキャン２１で包囲し、該キャン２１で囲まれた空間に回転自在にロータを配置したキャンド構造の回転電機において、キャン２１は、繊維強化プラスチックからなる第１層２１ａと、該第１層の内面に配置された金属蒸着層又はセラミック蒸着層又は薄厚金属板とからなる第２層２１ｂとで構成される。 （もっと読む）

【課題】取扱液を移送する主羽根車の裏側に滞留する空気を素早く確実に排出することができるモータポンプを提供する。
【解決手段】モータポンプは、モータと、モータにより回転駆動される回転軸１と、回転軸に固定された羽根車１２と、羽根車の上方に配置された円環壁部３０とを備える。羽根車１２は、取扱液を昇圧する主翼と、円環壁部３０に対向して配置された裏羽根１４とを有する。円環壁部３０は、羽根車１２の上方の空間を内周側空間４１と外周側空間４２とに区分けする。円環壁部３０は、裏羽根１４によって半径方向外方に移送される取扱液の一部を、内周側空間４１へ戻す戻り流路３６を有する。 （もっと読む）

【課題】アンモニアガス等の劇物を処理する為の複雑な装置を必要とすることなく、たとえ基板表面に形成した下地金属膜の表面に自然酸化膜が形成されていても、液体中に溶解させた金属錯体に含まれる金属からなる金属膜を下地金属膜の表面に十分な密着力をもって形成できるようにする。
【解決手段】表面に下地金属膜を形成した基板を用意し、金属錯体と還元性物質とを溶媒に溶解させた液体中に前記基板を浸漬させながら、前記下地金属膜を陰極、別の金属を陽極とした電気めっきを行って、前記金属錯体に含まれる金属からなる金属膜を前記下地金属膜の表面に形成する。 （もっと読む）

【課題】研磨パッドとドレッシング部材とを接触させてドレッシング処理を行う際に、自励振動を防いで研磨パッドのドレッシングを確実に行い、パッド表面の研磨面の再生を行うことができるドレッシングユニットを備えた研磨装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る研磨装置は、研磨テーブル上の研磨パッドに基板を押圧して研磨する基板保持ユニットと、該研磨パッドにドレッシング部材を接触させて該研磨パッドを目ならしするドレッシングユニットを備え、さらに該ドレッシングユニットは、ドレッシングユニット本体を内部に収容する容器と、該容器の上に載置される錘と、を備えている。 （もっと読む）