株式会社荏原製作所により出願された特許

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【課題】高温気体の送風においても振動を生じることのない高温気体の送風に好適な送風機の羽根車及び送風機を提供すること。
【解決手段】円柱状の回転軸11と、回転軸11に取り付けられたボス12と、ボス12に固定されボス12の外周に放射状に延びる複数枚の翼13とを備え、ボス12はボス12と回転軸11の間に円周方向に等配した3個以上のキー15で固定した。これにより常温から数百度の高温に至る気体を送風する際に回転軸11とボス12の温度差により回転軸11とボス12の間に発生する隙間による振動を抑制する。 (もっと読む)


【課題】生産性の高いバッチ処理方式を採用し、しかも前の処理等で使用した水分の持込みを極力低減させて、一連の連続した各処理を、より均一に安定して行うことができるようにする。
【解決手段】複数枚の基板を鉛直方向に平行に保持して搬送し、搬送の前後で異なる処理槽内の処理液中に複数枚の基板を同時に浸漬させる基板ホルダを有する無電解めっき装置において、基板ホルダは、基板の外周部を位置させて基板を支持する複数の支持溝130を有する支持棒94aと、支持溝130の内部乃至その周辺に溜まる水分を除去する水分除去機構136aを有する。 (もっと読む)


【課題】基板の研磨中にノズルにより研磨パッドに気体を吹き付けて研磨パッドの表面の温度を制御することによりディッシングやエロージョン等を防止することができるとともに研磨パッド上の研磨液が飛散してノズルやノズル取付部品等に付着する量を減らすことができる研磨装置および方法を提供する。
【解決手段】研磨テーブル1上の研磨パッド2に基板を押圧して基板の被研磨面を研磨する研磨装置において、研磨パッド2に向けて気体を噴射する少なくとも1つの気体噴射ノズル24を有し、研磨パッド2に気体を吹き付けて研磨パッド2の温度を調整するパッド温度調整機構22と、研磨パッド2に向けて液体又は気体と液体の混合流体を噴射する少なくとも1つのノズルを有し、研磨パッド2に液体又は混合流体を吹き付けて研磨パッド上の異物を除去するアトマイザ30とを備え、パッド温度調整機構22とアトマイザ30とは一体のユニットとして形成されている。 (もっと読む)


【解決課題】低コストで効率的、且つ安定的な焼却処理を可能にする放射性廃棄物、特に粉末状の活性炭に関する集合固化体の製造方法及び集合固化体を提供する。
【解決手段】原子力関連設備で使用した後の粉末状の活性炭を含む放射性廃棄物スラリーと、ポリアクリル酸、ポリアクリル酸アルカリ金属塩、ポリアクリル酸アルカリ土類金属塩及びセルロース系繊維から選択される吸水材とを、該放射性廃棄物スラリーの含有水100質量部に対して、該吸水材5質量部以下の比率で混合して、該吸水材に該放射性廃棄物の残留水分を吸水させる吸水工程と、吸水後の放射性廃棄物と吸水材との混合物に、軟化点が水の沸点以下で且つ常温で固体である石油ワックス、植物性ワックス、木蝋、白蝋から選択される粉末又は粒状の可燃性結合材を、該放射性廃棄物100質量部に対して100質量部〜200質量部の範囲の比率で添加し混合する可燃性結合材添加工程と、吸水後の放射性廃棄物と吸水材と可燃性結合材との混合物を、可燃性結合材の軟化点以上の温度に維持して成形体を成形する工程と、該成形体を冷却し固体化する冷却固化工程と、を含む。 (もっと読む)


【課題】電子線を走査して試料を観察するにあたって、高い分解能を有するとともに、電子線の走査に要する時間を短くできる試料観察装置を提供する。
【解決手段】ステージに載置された試料SMに電子線IBを照射して、試料SMからの電子線を検出することにより試料を観察する電子線検査装置に於いて、1つの電子筒体50は、試料SMに照射される複数の電子線IB及び試料SMからの電子線が通る電子線路を形成する複数の電子線照射検出系により構成される。ここで、複数の電子線照射検出系を同時に用いることで、検査の高速化を実現する。 (もっと読む)


【課題】フットプリントや洗浄時間を増大させることなく、スクラブ洗浄部材への負荷を低減させ、研磨後の基板表面の研磨性能を向上させた洗浄を行う。
【解決手段】移動アーム48を移動させて、基板Wのエッジ上方の退避位置に位置するスクラブ洗浄部材40を基板Wのセンタ上方のスクラブ洗浄位置に移動させ、移動アーム48の移動に伴って、2流体ノズル70を該2流体ノズル70から回転中の基板Wの表面に向けて流体を噴出させて該表面の2流体ジェット洗浄を行いながら移動させ、2流体ノズル70からの流体の噴出を停止させた後、スクラブ洗浄部材40を基板Wの表面に接触させてスクラブ洗浄を行う。 (もっと読む)


【課題】基板を保持するトップリングの外周部に設けられ基板の外周縁を保持するリテーナリングの研磨面に対する追従性を高め、所望のリテーナリング面圧を研磨面に与えることができる研磨装置を提供する。
【解決手段】研磨面を有した研磨テーブル100と、圧力流体が供給される圧力室を有し、圧力室に圧力流体を供給することで流体圧により基板を研磨面101aに押圧するトップリング本体2と、トップリング本体2の外周部に設けられるとともにトップリング本体2とは独立して上下動可能に設けられ、研磨面101aを押圧するリテーナリング3とを備え、リテーナリング3を研磨面101aの動きに追従させるためにリテーナリング3を傾動可能に支持する支持機構を基板の中心部の上方に位置させるようにした。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成で軸受部に液分の混入(浸入)がなく、軸受動作不良による故障が発生することのない真空ポンプを提供する。
【解決手段】平行な2つの回転軸32にそれぞれ取付けた一対のポンプロータ11と、該一対のポンプロータを内部に収納するポンプケーシング12とを具備するポンプ部Pと、回転軸32を回転駆動するモータ部Mとを備え、一対のポンプロータ11とポンプケーシング12との間に閉じ込められた気体を移送して排気する真空ポンプにおいて、回転軸32は、モータ部Mのモータステータ30を挟んだ両側に配置した軸受34,35のみ、またはモータ部とポンプ部の間に配置した2つの軸受のみで回転自在に支承されており、ポンプケーシング12のモータ側端部に吸気口15が、反モータ部側端部に排気口16がそれぞれ設けられて、気体がモータ部Mから離れる方向に移送される。 (もっと読む)


【課題】主排気送風機翼を回転駆動するための駆動機器の動力アップが必要なく、補機故障により換気設備の主機能に影響を及ぼすことが少なく信頼性の高いトンネル用換気設備を提供すること。
【解決手段】主排気送風機102を備えたトンネル用換気設備であって、主排気送風機翼5を駆動する電動機2により直接駆動される冷却用ファン7を備え、電動機2を排気流路101内の主排気送風機翼5より上流側に設置すると共に、電動機2を電動機保護カバー6で覆い、電動機保護カバー6の主排気送風機翼5の反対側側部に外部冷却空気導入口8、主排気送風機翼5側の側部に外部冷却空気放出口9を設け、外部冷却空気導入ダクト10を通って電動機保護カバー6内に導入された外部冷却空気を排気流路101内に放出する。 (もっと読む)


【課題】サイホンを形成するサイホン配管をポンプ吐出側に接続したポンプ設備において、制御性(操作性)、維持管理性、経済性及び信頼性を向上させたポンプ設備を提供する。
【解決手段】サイホンを形成するサイホン配管20をポンプ吐出側に接続したポンプ設備において、サイホン配管20の開口端の周囲及び端面の下方を覆う位置に、吐出水槽24より容量が小さく、且つ吐出水を開口端端面より上方からオーバフローさせる受水枠50を配置した。 (もっと読む)


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