株式会社荏原製作所により出願された特許

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【課題】処理液の流れ方向を自在に切替えることができ、かつ処理液の流れ方向を切替える際に、処理液の全体的な流量の変化や流れの不均一を生じさせることのないようにする。
【解決手段】処理槽20に接続され、該処理槽20内に方向が異なる処理液の流れが形成されるように切替えて使用される複数の入口配管26a,26b及び出口配管28a,28bと、入口配管26a,26b及び出口配管28a.28bを通して処理槽20内に処理液を供給し循環させるポンプ30を備え、入口配管26a、26b及び出口配管28a,2/8bには、切替えて使用される時に、内部を流れる処理液の流量が時間ととも変化するように制御部48で制御される流量制御装置44a,44b、46a,46bがそれぞれ設けられている。 (もっと読む)


【課題】基板の被処理面への光の照射による銅配線等のフォトコロージョンを防止し、しかも装置内の一部の処理ユニットのメンテナンス中においても、基板の処理枚数は減少するものの、光の照射による銅配線等のフォトコロージョンを防止した洗浄等の処理を行うことができるようにする。
【解決手段】遮光処理を施した複数の処理ユニット40a,40b,42a,42b,44a,44bを上下に配置して内部に収納する複数の処理エリア30,32,34と、搬送機46,48を内部に収納して処理エリアの間に設置される搬送エリア36,38とを有し、処理エリアと搬送エリアとの間を遮光壁50,52で、搬送エリアの前面をメンテナンス用扉54b,54dでそれぞれ遮光し、処理ユニットを遮光壁に遮光状態で連結した。 (もっと読む)


【課題】研磨装置の稼働率を低下させることなく渦電流センサの較正を行うことができ、精度の高い膜厚監視を可能とする研磨監視方法および研磨装置を提供する。
【解決手段】回転する研磨テーブル1上の研磨面2aに研磨対象の基板Wを押圧して基板W上の導電膜mfを研磨し、研磨中に研磨テーブル1に設置された渦電流センサ50により導電膜mfの厚さを監視する研磨監視方法であって、研磨中の渦電流センサ50の出力信号を取得し、渦電流センサ50の上方に基板Wが存在しない時の出力信号を用いて渦電流センサ50の出力調整量を算出し、出力調整量を用いて渦電流センサ50の上方に基板Wが存在する時の出力信号を補正して基板W上の導電膜mfの厚さを監視する。 (もっと読む)


【課題】本発明は、小流量運転時に流体機械のケーシング内で生じていると予測される、好ましくない流動現象を改善し、性能(Q−H)特性の右上がり不安定領域の低減を図る。
【解決手段】本発明の一実施携帯による流体機械は、回転駆動される羽根車(10)と、羽根車(10)を収容するケーシング(3)と、を有する。ケーシング(3)は、吐出管(5)へ流体を案内する舌部(35)と、羽根車(10)から軸方向に離間して羽根車(10)に面する少なくとも1つの内側壁面(31、32)とを備える。羽根車(10)とケーシング(3)の少なくとも1つの内側壁面(31、32)との間に流体流路(7)が画定される。かかる流体機械はさらに、流体流路(7)において発生し得る、流体機械の不安定動作を引き起こす渦の発生を抑制するために、ケーシング(3)の少なくとも1つの内側壁面(31、32)に、渦発生抑制構造(50、52)を有する。 (もっと読む)


【課題】電源等の外部動力源を必要とせず硫化水素の生成を抑制できるスラリー状の水酸化マグネシウムを汚水中に注入できるマンホールポンプ施設を提供する。
【解決手段】マンホール101内にマンホールポンプを備え、流入する汚水Wをマンホールポンプ102で圧送管107を通して圧送するマンホールポンプ装置100と、硫化水素の生成を抑制するための水酸化マグネシウムを汚水中に注入する薬品注入装置200を備え、薬品注入装置はスラリー状の水酸化マグネシウムQを貯蔵する貯蔵タンク202と、貯蔵タンク内の水酸化マグネシウムを攪拌するスラリー攪拌手段と、貯蔵タンク内のスラリー状の水酸化マグネシウムの所定量を汚水W中へ注入するスラリー注入手段と、水酸化マグネシウムが注入された汚水を攪拌する汚水攪拌手段を備えている。 (もっと読む)


【課題】内部にサイホンを形成するサイホン配管をポンプ吐出側に接続したポンプ設備において、維持管理性、経済性及び信頼性を向上させたポンプ設備を提供する。
【解決手段】内部にサイホンを形成するサイホン配管20をポンプ18の吐出側に接続したポンプ設備において、サイホン配管20の頂部に配置される頂部配管30に設けたサイホンブレーク用配管40を頂部配管30の内部に張出させ、該サイホンブレーク用配管40の下端に空気流出部64を取付けた。 (もっと読む)


【課題】高価で高性能の降雪センサを用いることなく、検出エリアの狭い比較的価格の安い汎用型降雪センサを使って精度の高い判定ができ、節水、節電を行いながら、確実に融雪のできる融雪装置の運転制御装置を提供する。
【解決手段】散水配管41、ポンプ(深井戸水中ポンプ51)を備え、ポンプで水源部300から揚水した水Wを散水ノズル42から、降雪面40に散水して融雪する融雪装置の運転制御装置であって、所定の水平面領域を通過する雪片をカウントする汎用型降雪センサ5と、カウントした雪片カウント数に基づいてポンプの運転制御を行うコントロール部102とを備えた融雪装置の運転制御装置において、コントロール部102は、ポンプの連続運転か間欠運転かを判断するのにポンプの運転時間の長短により、連続運転か間欠運転の判断となるしきい値(SP値)を変える。 (もっと読む)


【課題】半導体ウエハ等の基板の研磨中に研磨パッドに気体を吹き付けて研磨パッドの表面(研磨面)の温度を制御することにより、ディッシングやエロージョン等を防止して段差特性の向上を図ることができるとともに研磨レートの向上を図ることができる研磨装置および方法を提供する。
【解決手段】研磨パッド2に向けて気体を噴射する少なくとも1つの気体噴射ノズル22と、少なくとも1つの気体噴射ノズル22を保持するとともに気体噴射ノズル22に気体を供給する気体供給部20とを備え、少なくとも1つの気体噴射ノズル22の直下の点P1,P2を通り、研磨パッド2の回転中心を中心とする同心円C1,C2を描き、同心円C1,C2上の直下の点P1,P2における接線方向を研磨パッド2の回転接線方向と定義すると、少なくとも1つの気体噴射ノズル22の気体噴射方向は、回転接線方向に対して研磨パッド2の回転中心側に傾いている。 (もっと読む)


【課題】内部にサイホンを形成するサイホン配管をポンプ吐出側に接続したポンプ設備において、維持管理性、経済性及び信頼性を向上させたポンプ設備を提供する。
【解決手段】内部にサイホンを形成するサイホン配管20をポンプ18の吐出側に接続したポンプ設備において、サイホン配管20の頂部に配置される頂部配管70の横断面積を流体の流れ方向に沿って増加させた。 (もっと読む)


【課題】融雪のための散水量の適正化、使用するポンプ容量(定格動力)に合わせて起動頻度を調整し、ポンプを劣化させることなく、同じ運転制御装置で複数種類のポンプに対応でき、且つ既設の融雪装置にも適用できる融雪装置の運転制御装置を提供する。
【解決手段】道路40に埋設された散水配管41、ポンプ26を備え、ポンプ26で水源400から揚水した水を散水配管41に送り、降雪面に散水して融雪する融雪装置の運転制御装置であって、降雪強度を検知する降雪強度センサ200と、時計機能と、降雪強度センサ200で検知した降雪強度に応じてポンプの時間当たりの駆動電力であるポンプ運転強度を制御すると共に、降雪強度が同じでも時計機能に基づく時間帯によりポンプ運転強度を増減させる運転制御手段100とを備えた。 (もっと読む)


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