株式会社荏原製作所により出願された特許

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【課題】研磨時間全体を短縮することができ、研磨テープを容易に交換できる研磨装置を提供する。
【解決手段】本発明の研磨装置は、基板Wのノッチ部を研磨する研磨装置において、基板Wを水平に保持し、回転させる回転保持機構3と、研磨テープを用いて基板Wを研磨する複数の研磨ヘッドモジュール70A,70B,70C,70Dと、複数の研磨ヘッドモジュールを互いに独立して移動させる移動機構とを備える。複数の研磨ヘッドモジュールは、研磨テープを基板Wのノッチ部に摺接させる研磨ヘッド30と、研磨ヘッドに研磨テープを供給し、回収するテープ供給回収機構2A,2B,2C,2Dとをそれぞれ有する。 (もっと読む)


【課題】仕切り弁(区間弁)としての機能と逆止弁としての機能、更に点検口としての機能も発揮できる真空下水道用弁を設置した真空式下水道システムを提供すること。
【解決手段】多段リフトを含む真空下水管1を備えた真空式下水道システムにおいて、真空下水管の多段リフトの上流側に吸気管52とバルブ51を備え、真空下水管内の真空度が低下した場合に空気を吸引する自動吸気装置を設置し、真空下水管1の自動吸気装置の設置位置より上流側に仕切り弁機能と逆止弁機能を備えた真空下水道用弁を設けた。これにより自動吸気装置のバルブ51を開放し吸気管を通して空気吸気時に汚水が真空下水管1の自動吸気装置の設置位置より上流側に流れる逆流を防止できる。 (もっと読む)


【課題】ゲート下端流出による流量制御において、自由流出時及びもぐり流出時の目標流量に対する目標開度の同定により、いかなる流出形態でも速やかに安定した流量制御が実現できるゲートによる流量制御方法及び流量制御装置を提供すること。
【解決手段】河道や水路の流量をゲート下端流出により制御するゲートによる流量制御方法であって、目標流量に対するゲート1の二次側水深h2を河道や水路の流下特性に応じて予測設定し、ゲート1の一次側水深h1の計測値と、ゲート1の二次側水深h2の予測設定値と、目標流量とを用いて演算されるゲート操作開度を目標値としてゲート開度の制御を行う。 (もっと読む)


【課題】作業員にとってより安全で、信頼性の高い設備を構築することができるようにした排水ポンプ車を提供する。
【解決手段】災害地において排水作業を行う排水ポンプ車であって、荷台12の車両前方側に設けられた操作制御盤14と、荷台12の床面12aより下部に設置されて車両用エンジンの動力で駆動される発電機16とを備え、操作制御盤14より車両後方に位置して床面12aを略平坦とした荷台12の側面及び上面は、車両の進行方向に伸縮可能なテント24で開放自在に覆われ、荷台12のテント24で覆われる領域内に、排水ポンプ26、排水ホース28及びフロート32を積載した。 (もっと読む)


【課題】インバータを制御する基板に異常が発生しても、需要先の利用者に不具合を生じさせることなく運転を継続することができる回転機械装置を提供する。
【解決手段】回転機械装置としての給水装置1は、複数のポンプ3と、対応するポンプの回転周波数を可変制御する複数のインバータ5と、複数のインバータ5を制御する制御部6とを備えている。制御部6は、それぞれが複数のインバータ5を単独で制御可能な複数の制御基板60a,60bを備えており、運転中に一の制御基板60aまたは60bに異常が発生した場合に、待機中の他の制御基板60bまたは60aがバックアップして複数のインバータ5を制御する。 (もっと読む)


【課題】仕切り弁(区間弁)としての機能と逆止弁としての機能、更に点検口としての機能も発揮できる真空下水道用弁を設置した真空式下水道システムを提供すること。
【解決手段】枝管1Bが本管1に合流する真空下水管を有する真空式下水道システムであって、枝管1Bが本管1に合流する合流部の本管1の上流側に仕切り弁機能と逆止弁機能を備えた真空下水道用弁10を設けた。これにより真空下水道用弁10の逆止弁機能により枝管1Bから本管に合流する汚水が本管1の上流側に逆流するのを防止できる。 (もっと読む)


【課題】水素よりもイオン化傾向の大きい金属をシード層として使用し、硫酸銅めっき液等の酸性のめっき液を使用した電気めっきを行っても、ビアホールの内部に銅等のめっき金属をより確実に埋込むことができるようにする。
【解決手段】表面に水素よりもイオン化傾向の大きな第1金属によって覆われたビアホールが形成された基板を用意し、基板を前記第1金属より貴な第2金属またはその塩を溶解させた前処理液に浸漬させて基板の前処理を行い、しかる後、基板の表面に電気めっきを行って前記ビアホール内に前記第2金属または第3金属を埋込む。 (もっと読む)


【課題】例えばオイルシールが経年劣化したときにオイルシールを容易且つ迅速に交換できるようにして、ポンプの信頼性、維持管理性及び環境性(軸受への外部流体浸入防止、外部への油脂流出防止)を向上させる。
【解決手段】主軸20との摺動面に潤滑油脂を介在させつつ該主軸20を回転自在に支承する水中軸受60と、水中軸受60内の潤滑油脂の漏出を防止する油封部66とを備え、油封部66は、オイルシール68a,68bと該オイルシールを内部に収納するオイルシールケース70とを有し、オイルシールケース70内の油脂充填部70bには予備オイルシール74が設置されている。 (もっと読む)


【課題】特殊な加工を必要とせず簡易な方法によって、ライニング材を母材にライニングすることができるライニング方法を提供する。
【解決手段】ライニング材1に接合材2を取付け、ライニングされる母材3に貫通穴4を設け、ライニング材1に取付られた接合材2と母材3の貫通穴4の位置が一致するように母材3とライニング材1を重ねた後、接合材2と母材3とを固定することにより、母材3にライニング材1をライニングする。 (もっと読む)


【課題】基板の周縁部を研磨して直角な断面形状を形成することができる研磨装置を提供する。
【解決手段】研磨ユニット25は、基板Wの周縁部に対して研磨テープ38を上から押し当てる押圧部材を有する研磨ヘッド50と、研磨ヘッド50に研磨テープ38を供給し、研磨ヘッドから研磨テープ38を回収するテープ供給回収機構70と、研磨ヘッド50を基板Wの半径方向に移動させる第1の移動機構42A,43A,40Aと、テープ供給回収機構70を基板Wの半径方向に移動させる第2の移動機構42B,43B,40Bとを備える。ガイドローラ84D,84Eは、研磨テープ38が基板Wの接線方向と平行に延び、かつ研磨テープ38の研磨面が基板Wの表面と平行となるように配置される。 (もっと読む)


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