株式会社荏原製作所により出願された特許

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【課題】トップリング(ウエハ保持機構)に保持されたウエハが離脱してプッシャー機構(ウエハ受渡機構)に着座するまでのウエハ受渡工程の所要時間を短縮できるウエハ受渡装置を提供する。
【解決手段】ウエハWを保持するトップリング60と、トップリング60との間でウエハWの受け渡しを行うプッシャー機構10とを備えたウエハ受渡装置において、プッシャー機構10は、ウエハWを載置するウエハトレイ40を備え、トップリング10の下端面から離脱したウエハWがウエハトレイ40に着座するように構成し、プッシャー機構10に、ウエハWがウエハトレイ40に適正に着座したことを検知するセンサ機構50を備えた。センサ機構50は、投光装置51から投光されたセンサ光が、ウエハトレイ40に着座したウエハWによって遮断されるようになっている。 (もっと読む)


【課題】速やかに研磨パッドの表面温度を目標温度にまで上昇させることができる改良されたパッド接触部材を備えた研磨装置を提供する。
【解決手段】パッド温度調整機構は、研磨パッド3の表面に接触するパッド接触部材11と、温度調整された液体をパッド接触部材11に供給する液体供給システム30とを有する。パッド接触部材11は、その内部に第1の液体流路21と第2の液体流路22を有し、これらは直列に接続されている。第1の液体流路21と第2の液体流路22には、研磨テーブル2の半径方向に対して略垂直に延びる複数のバッフル25がそれぞれ配置される。 (もっと読む)


【課題】送水管への負荷の増大、不要な放出水量の増加、及びエネルギーの浪費などの問題を生じない消火ポンプシステムを提供する。
【解決手段】消火ポンプシステムの制御装置4は、建物の各階または各階層群に対応する複数の目標圧力を記憶した記憶手段4aを有しており、制御装置4は、消火ポンプ1の吐出側の圧力が、放水信号によって特定される階またはその階が属する階層群に対応する目標圧力に維持されるようにインバータ3を制御し、制御装置4は、複数の階または複数の階層群での放水装置7,20から放水されていることを示す複数の放水信号を受信したときは、消火ポンプ1の吐出側の圧力が、記憶手段4aに記憶されている最高階または最高階層群に対応する最高目標圧力に維持されるようにインバータ3を制御する。 (もっと読む)


【課題】回転機械が据え付けられる構造体への回転機械の振動の伝搬を防止し、回転機械の芯合わせ作業を容易にすることができ、さらに地震などで回転機械が大きく揺れても回転機械の転倒を防止することができる防振装置を提供する。
【解決手段】防振装置は、複数の防振ユニット31から構成される。各防振ユニット31は、構造体6に固定される基台34と、回転機械2に固定されるマウント部材40と、基台34とマウント部材40との間に配置された防振パッド50と、基台34と回転機械2とを連結する連結部材60とを備える。連結部材60は、回転機械2を持ち上げるジャッキ機構62,64a,64bと、回転機械2の上下方向の動きを制限する上限ストッパ63および下限ストッパ64とを有する。 (もっと読む)


【課題】一体のスラリー分配機構を備えた化学的機械研磨ヘッド及び方法を提供する。
【解決手段】研磨装置の研磨面125に表面を有した基板105を位置決めするための研磨ヘッドであって、底面を有したキャリア155を備え、該底面は、研磨工程中に基板を保持するようになっている下面を含み、キャリア155は、研磨工程中に研磨物質を研磨面に分配するために下面の周りの底面を貫通して延びている複数のポート325を備えている。 (もっと読む)


【課題】十分な研磨速度を維持しつつ基板の被研磨面(表面)の研磨を行い、しかも、研磨後の基板表面に研磨残りを生じさせることを防止して、所望の研磨プロファイルを得ることができるようにする。
【解決手段】研磨パッド14aに向けてガスを噴射して研磨パッド14aの温度を制御しながら研磨する研磨方法において、研磨中、ガス噴射流量又はガス噴射方向をPID制御しつつ、被研磨面の研磨状態を監視し、所定の膜厚に到達する前後で、制御する研磨パッド14aの温度を切り替えて研磨する。 (もっと読む)


【課題】従来のISM方式の永久磁石型モータの課題を克服し、簡便な構造で、より小型な高効率モータを実現できる回転子を低コストで提供する。
【解決手段】回転子10は、回転子鉄心11と、回転子鉄心11に埋設された複数の永久磁石13と、回転子鉄心11の外周面を覆う、導電性材料から形成された筒体15とを備える。回転子鉄心11には、永久磁石13の表面から回転子鉄心11の外周面に向かって延びる複数のスリット12が形成されている。 (もっと読む)


【課題】封入圧力の低下などの圧力タンクの異常を精度よく検知することができる圧力タンクの異常検知方法および圧力タンクの異常検知機能を有する給水装置を提供する。
【解決手段】本発明の圧力タンクの異常検知方法は、給水装置10のポンプ14の回転速度を監視し、ポンプ14の回転が完全に停止する前にポンプ14が再始動した場合には、圧力タンク36に異常が生じていると判断する。 (もっと読む)


【課題】研磨パッド表面に向けてガスを噴射して研磨パッドの温度を制御しつつ、基板と研磨パッドとの研磨界面への研磨液供給量が不足して研磨レートが低下するのを抑制したり、適正な研磨レートを保つことができるようにする。
【解決手段】研磨パッドに向けてガスを噴射して研磨パッドの温度を制御しながら、研磨液が供給されている研磨パッドの表面に基板を摺接させて該基板を研磨する研磨方法であって、基板の研磨時に研磨パッドに向けて噴射されるガス流量と研磨パッドに供給される研磨液流量とを互いに連動させる。例えば、基板の研磨時に研磨パッドに向けて噴射されるガス流量と研磨パッドに供給される必要研磨液流量との相関を示すデータを基に、基板の研磨時に研磨パッドに供給される研磨液流量を調整する。 (もっと読む)


【課題】ポンプを引き上げることなくポンプを据え付けた状態で中間軸受を容易に交換することができる立軸ポンプを提供する。
【解決手段】立軸ポンプは、羽根車10と、羽根車10が収容されるガイドケーシング1と、ガイドケーシング1を吊下げる吊下管3と、吊下管3の上端に接続される吐出曲管4と、吐出曲管4および吊下管3を通って延びる回転軸6と、吐出曲管4の上部に配置された外軸受11と、羽根車10の下方に配置された水中軸受12と、外軸受11と水中軸受12との間に配置された中間軸受31と、中間軸受31が収容され、開口した上端部を有する軸受ケーシング35とを備え、中間軸受31は、回転軸6の軸方向に沿って分割可能な複数の分割体から構成されている。 (もっと読む)


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