【課題】大型立軸ポンプにおいて、ポンプ本体を引き上げることなく、ポンプのインペラハブ底部及びインペラハブ内部の点検・整備を実施できる立軸ポンプを提供すること。
【解決手段】ポンプインペラ１ａを取付けたインペラハブ１を備え、該インペラハブ１の下方に吸込ライナー２を配置し、該インペラハブ１及び該吸込ライナー２を囲んでカサ形吸込水路８が形成された立軸ポンプにおいて、吸込ライナー２の上部の少なくとも一部を中空部２ａとし、中空部側壁及び天端部に点検用の開口９を設けた。 （もっと読む）

【課題】押圧リングを剛性高く、即ち、十分にしっかりと支持することができるとともに、押圧リングとトップリングの同芯度を精度良く確保することができるポリッシング装置を提供する。
【解決手段】半導体ウエハ４を収容するトップリングの周囲に押圧リング３を上下動自在に配置し、押圧リング３を研磨布６に対して可変の押圧力で押圧する押圧手段を設け、押圧リング３をベアリングを介してトップリングに支持させるように構成し、前記ベアリングは、押圧リング３とトップリング１との相対回転を支持する回転支持用ベアリング３８と、押圧リング３のトップリング１に対する上下動を支持する上下移動用ベアリング３９とからなる。 （もっと読む）

【課題】研磨プラテン上面から研磨パッドを引き剥がすのに、強大な力を必要とすることなく、比較的容易に引き剥がすことができる研磨プラテン、及び該研磨プラテンを用いた研磨装置を提供すること。
【解決手段】研磨プラテン１２を備え、該研磨プラテン１２上面に貼り付けた研磨パッド表面に被研磨基板を押圧し、該研磨プラテンと被研磨基板の相対運動により被研磨基板を研磨する研磨装置において、研磨プラテン１２の上面を鏡面仕上げした鏡面部２１と粗面仕上げした粗面部２２の組合せで構成し、研磨プラテン１２の上面に研磨パッドの裏面を粘着剤（接着テープ）で貼り付けた。 （もっと読む）

【課題】水位が変動してもロータを粉粒体を注入するのに適正な水深に維持でき、効率よく粉粒体の注入ができる粉粒体注入機構を備えた粉粒体注入装置、該粉粒体注入装置を利用した粉粒体移送装置、及び該粉粒体移送装置を備えた水処理設備を提供すること。
【解決手段】水中に配置したロータ１３２を回転させることにより、水の旋回流を発生させ、シャフト１３１の外周を取り囲むように配置したステータチューブ１３３に設けた吸込口１３５から粉粒体と気体の混合流体を吸込み、該混合流体を水中に注入するように構成された粉粒体注入機構１０４を備えた粉粒体注入装置であって、粉粒体注入機構１０４を支持する可動架台１５０に浮力体１６０を取り付け、浮力体１６０によりロータ１３２及びステータ１３４が水位ＷＬの変動にかかわらず常に所定の水深に位置するようにした。 （もっと読む）

【課題】 プロセスの反応条件に拘わらず、真空ポンプの過負荷を起こすことなくプロセス容器の圧力を短時間で目標圧力に到達させることができる圧力制御を行う真空排気装置を提供する。
【解決手段】プロセスガスＧ１を導入しプロセス反応を行うプロセス容器２１のガスＧ２を排出し、プロセス容器の圧力を真空にする真空ポンプ４、５と、真空ポンプの回転速度を調整し、前記プロセス反応時のプロセス容器の圧力状態が前記プロセス反応に適した圧力状態になるよう制御する第１の制御を行う制御手段６とを備え、制御手段が、前記プロセス反応のプロセス情報に基づいて、真空ポンプの所定の回転速度を算出し、前記第１の制御の前に、真空ポンプを前記所定の回転速度にする第２の制御を行う真空排気装置２とする。 （もっと読む）

【課題】固体高分子電解質膜と導電性ダイヤモンド電極との接触面の抵抗が小さく、電解オゾン生成処理における消費エネルギーを低減させることができる上に、固体高分子電解質膜の劣化を低減させることも可能な電極ユニットの提供、及びかかる電極ユニットを用いた電解オゾン生成装置を提供すること。
【解決手段】固体高分子電解質膜１０２の一の面と他の面とに、各々直流電流を印加する電極を接触させて成る電極ユニット１０１、該電極ユニットと接続される直流電源、ならびに電解槽を含む、固体高分子電解質型オゾン生成装置であって、該固体高分子電解質膜と該電極１０３とが金属１０５を介して接触しており、少なくとも該一つの電極が導電性ダイヤモンド電極であることを特徴とする、前記装置。 （もっと読む）

【課題】傾斜板又は傾斜管沈降装置内に流入する水の流速を均一化して、濁度密度、温度密度流を防止し、沈殿池内のフロックのフロックがキャリーオーバーを防止できる沈殿池設備を提供すること。
【解決手段】沈殿池１０内に傾斜板又は傾斜管沈降装置１１、集水トラフ１２、流入室１３を配置すると共に、該流入室底部に堆積した汚泥を排出する汚泥排出機構を備えた沈殿池設備において、流入室１３内の傾斜板又は傾斜管沈降装置１１の下方に水を整流し且つ汚泥を排出する整流排泥装置１４を設けた。整流排泥装置１４は多数の整流排泥セル１５を備え、各整流排泥セル１５は平断面形状が矩形状で、上端から所定部分は平断面が同じ形状で且つ同じ断面積であり、その下方断面が徐々に縮小するように構成されている。 （もっと読む）

本発明は基板の洗浄面に洗浄部材を接触させると共に洗浄液を供給し両者の相対的運動により、該洗浄面を洗浄する基板洗浄装置の洗浄部材に係る。洗浄部材は、防水性のコア部を具備し、該コア部の表面を多孔質高分子素材で被覆した被覆層を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 種々の外乱要因に備えて適切な処置を講じることで、安定かつ効率の良い処理を行うことができるような放電処理システムを提供する。
【解決手段】 この放電処理システムは、被処理液中に配置された電極部４ａ，４ｂ，４ｃと、この電極部に給電する給電部６ａ，６ｂ，６ｃとを有する放電ユニット２ａ，２ｂ，２ｃを用いるものである。放電ユニットは複数台設置され、複数台の放電ユニットの少なくとも１台が停止した場合に、残りの放電ユニットによって不足する放電エネルギーを補うようにする。 （もっと読む）

【課題】設備管理者以外の者が直流電力系統を勝手に切り離すことができないようにすると共に、中継箱からのケーブルがコネクタから外されない状態で覆蓋を移動した場合でもケーブルの切断、破損という事故が発生することなく、より安全に保守・点検作業が行える太陽光発電設備を提供すること。
【解決手段】複数の移動式覆蓋上に設置された太陽電池モジュール２０を直列に接続した太陽電池アレイ（２１−１、２１−２）と、直流電力系統と、インバータ２３を備えた太陽光発電設備において、複数の移動式覆蓋は上下に重なり合う上側覆蓋１２と下側覆蓋１１を具備し、上側覆蓋１２に切断器１７と、コネクタ１６を備えると共に、開閉扉を備えた中継箱１５を設置し、中継箱１５の扉を開閉するための鍵を備え、該鍵により中継箱１５の扉を開けないと切断器１７の開閉及びコネクタ１６の着脱ができない構造。 （もっと読む）