栗田工業株式会社により出願された特許

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【課題】洗浄設備を短時間で十分に洗浄することができる設備洗浄方法及び装置を提供する。
【解決手段】超純水ライン2から超純水を配管3、5,8、半導体洗浄機10、配管15、循環水槽17に流した後、循環水槽17内の水を循環ポンプ20、配管21を介して循環させ、薬液槽11〜13から薬液を添加する。主要な配管や、薬液槽11〜13、循環水槽17、カラム30,33、フィルタ6等はケーシング50内に設置されてユニット化されている。 (もっと読む)


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