【課題】 熱伝導が良好であり、しかも、製造の容易な加熱装置及びこれに用いる冷却管の取付具を提供すること。
【解決手段】基板を加熱するヒーターと、このヒーターを内周に支持する筒状のシェル５０と、シェル５０の外周側に取り付けられて冷却媒体を流動させる冷却管５９とを備える。冷却管５９をシェル５０に取り付けるための複数の取付具５２をさらに設ける。これら取付具５２は、冷却管５９の外面に跨ってこの冷却管５９と面接触する保持部５２ａと、保持部５２ａの両端に位置しシェル５０に取り付けられる取付部５２ｂと、保持部５２ａ及び取付部５２ｂの間に位置する中間部５２ｃとを有する。この取付部５２ｂはシェル５０に複数箇所で部分溶接されている。 （もっと読む）

【課題】移動する送信装置と、送信装置から送信される電波を受信する受信装置と、表示部と、を備えた無線伝送システムにおいて、三次元を用いた伝送に関する情報の表示を有効に行う。
【解決手段】表示部は、送信装置（送信点４０２）から受信装置（受信点４０１）を見た場合における送信装置の後方から受信装置を見る視点で、三次元地図を用いた表示（例えば、図４に示されるような表示）を行う。また、表示部は、送信装置と受信装置の２点の位置を含む範囲を上空から見る視点で地図を用いた表示を行う機能や、送信装置と受信装置の２点の位置を含む範囲を水平に見る視点で地図を用いた表示を行う機能を有する。 （もっと読む）

【課題】接続されたＩＦケーブル長が不明であっても、長距離のＩＦケーブルを使用する。
【課題を解決するための手段】映像、音声を無線伝送する伝送装置において、高周波部と制御部を同軸ケーブルで接続し、前記制御部に前記同軸ケーブルには、公称電圧３６Ｖｄｃ以下の直流電圧と公称電圧４８Ｖｄｃ以上の直流電圧とを重畳する手段と識別信号送受信手段とを有し、前記高周波部には、直流電圧を分離する手段と識別送受信手段とを有し、起動時に、前記制御部から公称電圧３６Ｖｄｃ以下の直流電圧を前記同軸ケーブルに重畳し、前記制御部から前記高周波部に識別信号を送信し、前記高周波部から前記制御部に識別信号を返信し、該識別信号の返信までの遅延が所定時間以上で、該識別信号が前記制御部の識別信号と一致したならば、前記制御部は公称電圧４８Ｖｄｃ以上の直流電圧を同軸ケーブルに重畳する。 （もっと読む）

【課題】処理室に供給する液体原料を効率よく気化する半導体装置の製造方法及び基板処理装置を提供する。
【解決手段】処理室１６内にウエハ１４を搬入する工程と、処理室１６内に液体原料スプレーノズル７０より金属化合物を含む液体原料を供給しつつ液体原料スプレーノズル７０と支持台１８にバイアス電圧を印加することで、液体原料を気化させた原料ガスを帯電した状態で噴霧させてウエハ１４に供給し、ウエハ１４上に原料ガスを吸着させる工程と、処理室１６内に酸化剤を供給することで、ウエハ１４上に吸着させた原料ガスと酸化剤とを反応させて金属含有層を形成する工程と、を交互に繰り返すことで、ウエハ１４上に所定膜厚の金属含有膜を形成する処理を行う工程と、処理室１６内から処理済みのウエハ１４を搬出する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】測定器を変更したり、測定器の配置を変更する場合に、例えば、変更後の測定器の寸法や消費電力が、その測定器を収容予定の収容架（収容場所）の寸法や消費電力に合っているか否かを、判断することのできる試験システムを提供する。
【解決手段】複数の測定器を収容可能な収容架を備えた試験システムを、各測定器の仕様を記憶する測定器情報テーブルと、収容架の仕様を記憶する収容架情報テーブルとを記憶しておき、測定器の画像と収容架の画像が表示部に表示された状態において、操作員から指定された測定器を指定された収容架へ配置する指示を受け付けると、前記指定された測定器が前記指定された収容架に収容可能であるかを判定し、収容不可と判定された場合に、収容不可である旨の報知メッセージを、表示部に表示するよう構成する。 （もっと読む）

【課題】緊急一括通報において一括通報、グループ通報、又は個別通報を行う無線通信システム及び緊急通報方式を提供する。
【解決手段】（１）の通報開始ではオペレータが操作卓１１から一括通報、グループ通報、又は個別通報のいずれかを設定すると、（２）の緊急一括通報開始で親局装置１２に緊急一括通報開始データが送信され、（３）の呼番号通知では操作卓１１に呼番号通知データが送信される。（４）の通報開始指示では、親局装置１２は屋外拡声子局２０または戸別受信機３０に通報開始指示データを送信する。（５）の番号通知では、親局装置１２は屋外拡声子局２０または戸別受信機３０に番号通知データを送信する。通報開始指示データと番号通知データの通報種別「緊急一括通報開始」に対する子局識別番号に「一括番号、グループ番号、個別番号」を設定できるようにする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、商用電源が何者かに切断されても監視画像を途切れることなく記録し続ける画像記録システムを提供することを目的とする。
【解決手段】ＡＣ−ＤＣコンバータ６０３からのＡＣ電源入力が遮断されると、電源切換部６０４は自動的にＰｏＥインターフェース部からのＰｏＥ電源入力に切り換わる。そして、ＰｏＥ電源を画像記録装置６内に供給し、制御部６０５は、電源が切り換わると異常信号を外部に発報し、記録部６０６への画像の記録レートを通常時より高くする。これにより、何者かが重大な行為を行っている場面を漏れなく記録することができる。また、記録レートを高くするのみでなく、解像度を上げてもよい。 （もっと読む）

【課題】監視カメラの電力供給に関係する部位に障害が発生した場合でも、映像を送信できる監視カメラシステムを提供する。
【解決手段】監視カメラシステム１００において、映像信号生成部１２１はデジタル映像信号を生成して画像圧縮部１２２と映像確認用出力部１２４に出力する。画像圧縮部１２２は、デジタル映像信号の符号化と画像圧縮を行う。ネットワーク伝送部／電源分離部１２３は、ＰｏＥスイッチ１５０から送信される電力を分離して電源変換部１２６へ出力する。映像確認用出力部１２４は、デジタル映像信号をアナログ映像信号に変換する。電源分離部１２５は、電力供給ユニット１７０から送信される電力を分離して電源変換部１２６へ出力する。電源変換部１２６は、ネットワーク伝送部／電源分離部１２３と電源分離部１２５から電力を入力して並列に接続し、電圧と電流のバランスを取り監視カメラ１２０の各部位に電力を供給する。 （もっと読む）

【課題】回転棚のような移動棚の可動範囲の制限をなくし、所定のポッドをより短い距離及び時間で、移動棚の払い出し位置まで移動させることが可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】複数の基板が収容される基板収容器が搬入出されるロードポートと、前記基板収容器を複数収納する移動可能な容器収納棚と、基板を移載する際に基板収容器が載置される移載棚と、前記ロードポートと、前記容器収納棚と、前記移載棚との間で前記基板収容器を搬送する容器搬送装置と、前記移載棚に載置された基板収容器内の基板の移載を行う基板移載装置と、少なくとも前記容器搬送装置、前記基板移載装置の駆動を制御する制御装置とを備え、前記容器収納棚には、基板収容器が載置されることにより変位するフラグを備え、前記容器収納棚の周囲には、前記フラグを検出するための基板収容器検出センサが固定して設けられることを特徴とする基板処理装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】親局での通信起動から子局での音声通報までに時間がかかり、緊急地震速報などの緊急性を要する通報について、子局での音声通報が遅くなることがあるという課題を解決する。
【解決手段】音声出力可能な子局と、無線により子局と接続される親局とを備え、親局から子局へ配信情報を送信し、子局が受信した配信情報を音声で出力する無線通信システムを、親局が、第１の配信情報を作成する操作卓と、外部から第２の配信情報を受信し第３の配信情報を作成する緊急通報装置と、前記第１の配信情報に基づき第４の配信情報を作成して無線により子局へ送信し、前記第３の配信情報に基づき第５の配信情報を作成し、第４の配信情報よりも優先して第５の配信情報を無線により子局へ送信する無線送受信装置とを備え、子局が、前記第４の配信情報又は第５の配信情報を受信する子局送無線部と、該受信した情報に基づき音声信号を作成する子局制御部と、該作成した音声信号を出力するスピーカとを備えるように構成する。 （もっと読む）