説明

株式会社日立国際電気により出願された特許

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【課題】 処理室内の異物を低減することで、基板処理の品質を向上させ、生産歩留りを改善する。
【解決手段】 基板を処理する処理室と、基板を保持し、処理室内外に搬送される基板保持具と、基板保持具への基板の装填、又は基板保持具からの基板の脱装が行われる移載室と、移載室内の基板保持具に、不活性ガスを噴射するノズルを備える不活性ガス供給機構と、処理室内から移載室内に搬出されて基板が脱装された基板保持具に、ノズルから不活性ガスを噴射するように不活性ガス供給機構を制御する制御部と、を備え、ノズルは、上方から下方に向かって角度をつけて不活性ガスを噴射する。 (もっと読む)


【課題】頻繁に表示したい画面が階層の深い画面である場合でも、画面操作を簡単にする機能を有する基板処理装置を提供する。
【解決手段】各種画面情報が登録される格納部と、所望の画面へ切替表示する切替手段を表示する操作画面を備えた表示部と、前記操作画面からの入力指示を受付け、前記入力指示に従い前記操作画面に所定の画面を表示する表示制御部とを少なくとも備えた操作部を含む基板処理装置であって、表示制御部は、切替手段が押下されると、予め登録された各種画面情報に従い、所望の画面を操作画面に表示させる。 (もっと読む)


【課題】光の送受信レベル、またユーティリティの使用可能な電力残量等の表示を行い、表示を視認することによって、利用者が容易に判断することができるようにして、テレビジョンカメラ装置の運用性を向上する。
【解決手段】カメラヘッドと、前記カメラヘッドを制御するカメラコントロールユニットと、前記カメラヘッドと前記カメラコントロールユニットを接続するケーブルを有するテレビジョンカメラ装置において、前記カメラヘッドは、ユーティリティ電源を出力する手段、リターン映像出力手段、及びプロンプト出力手段を備え、前記カメラコントロールユニットは、前記テレビジョンカメラ装置が使用する電力を検出する検出手段を備え、前記カメラヘッドは、前記検出手段によって検出された前記電力と前記ユーティリティ電源が出力可能な電力を表示する出力手段を備えた。 (もっと読む)


【課題】
GPSアシストデータを取得する際に、冗長な測位サーバクセスを抑制する。
【解決手段】
GPS衛星からGPS信号を受信し、測位サーバからアシストデータを受信して、GPS信号とアシストデータを用いて自局の位置を測定する移動局装置において、移動局装置が第1の位置にいるときに、基地局からの受信レベルと送信電力値により第1の概略位置を算出するとともに、第1のアシストデータを取得して測位処理を行い、移動局装置が第2の位置に移動したときに、第2の概略位置を算出し、第1の概略位置と第2の概略位置の間の移動距離が閾値未満の場合は、第2のアシストデータの取得を行わず、第1のアシストデータを用いて測位処理を行い、移動距離が閾値以上の場合は、第2のアシストデータを取得して測位処理を行う。 (もっと読む)


【課題】音声の途切れにくい通信を実現する機能チャネル処理方法を提供する。
【解決手段】
機能チャネルの誤り検出符号化を行い、誤りが発生していない時の機能チャネルの情報要素から、無線チャネルにおける通信が音声通話か否かを判定して音声通話状態フラグとして記憶する。また、通信中に前記機能チャネルの内容を判断するための情報要素に誤りが発生して機能チャネルの内容が判断不能となった際に、音声通話状態フラグを参照する。そして、音声通話状態フラグが音声通話中であると判断できる場合は、機能チャネルを音声信号として復号化処理する。 (もっと読む)


【課題】成膜対象となる基板の劣化を防止ないしは抑制する。
【解決手段】原料ガスに光を照射することで種を生成し、種を基板2に堆積させることにより膜を成長させる光CVD装置(成膜装置)1であって、光源13と基板2を保持する試料台(基板保持部)14の間に遮光板(遮光部材)20を配置する。遮光板20は、基板2の成膜面2aと対向する裏面20a、裏面20aの反対側に位置する表面20b、裏面20aおよび表面20bのうちの一方から他方までを貫通する複数の貫通孔21を有している。また、遮光板20の裏面20aと基板2の成膜面2aの距離C1は、原料ガスの気体分子の平均自由行程以下である。 (もっと読む)


【課題】低温領域において適正な特性を有するSiC系の膜を形成できる半導体装置の製造方法、基板処理方法,基板処理装置およびプログラムを提供する。
【解決手段】基板を処理室内に収容する工程と、加熱された処理室内へ有機シリコン系ガスを供給して基板上にシリコンおよび炭素を含む膜を形成する工程と、を有し、シリコンおよび炭素を含む膜を形成する工程は、処理室内へ有機シリコン系ガスを供給して、有機シリコン系ガスを処理室内に封じ込める工程と、有機シリコン系ガスを処理室内に封じ込めた状態を維持する工程と、処理室内を排気する工程と、を含むサイクルを所定回数行う。 (もっと読む)


【課題】ダミー基板の使用効率の向上及び有効なダミー基板の運用を可能とする。
【解決手段】所定枚数の各種基板を処理する処理室を複数備えた基板処理装置であって、前記処理室毎の基板枚数が前記所定枚数となるように、前記処理室毎に使用するダミー基板の枚数を決定し、前記ダミー基板が均等に使用されるよう制御する制御手段を備えた基板処理装置が提供される。前記制御手段は、前記処理室毎の前記各種基板が前記所定枚数となるように前記ダミー基板の枚数を決定する際、前記処理室毎に使用される前記ダミー基板の枚数を、略同枚数となるように決定する。


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【課題】クロマキー合成後の映像をビューファインダで常に確認しながらカメラ撮影を行うことができるカラーテレビジョンカメラシステムを提供する。
【解決手段】クロマキーの背景画像をリターン映像信号として入力することができるカメラ制御装置と、撮影している映像の任意の色相の映像部分をリターン映像に置き換える機能を備えるカラーテレビジョンカメラと、その置き換え後の合成映像をビューファインダに出力し、ビューファインダに表示させるようにすることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】複数の検索キーを用いて類似画像検索を繰り返すことで網羅的な検索を行う類似画像検索システムに関し、検索回数の抑制と検索精度の向上を両立させることが可能な技術を提案する。
【解決手段】検索キーの候補である複数の画像の特徴量に基づいて、検索キーとする画像の特徴量を決定する複数検索キー選択部113と、複数検索キー選択部113により検索キーに決定された画像の特徴量に類似する特徴量を有する画像を検索する類似人物検索部218と、を備えた構成において、複数検索キー選択部113が、検索キーの候補である複数の画像の特徴量をクラスタリングし、クラスタ毎にそのクラスタを代表する画像の特徴量を検索キーとして決定し、類似人物検索部218が、検索キー決定手段により決定されたクラスタ毎の検索キーをそれぞれ用いて検索を行うように構成した。 (もっと読む)


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