昭和電工株式会社により出願された特許
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オフセットフィンおよびその製造方法
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ヒートシンク
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炭化珪素半導体装置の製造方法
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導体パターン形成方法および導体パターンを備える基板
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炭化珪素半導体装置及びその製造方法
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フレキシブル回路基板保護膜の形成方法
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発光ダイオード及びその製造方法
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炭化珪素半導体装置の製造方法及びその検査方法、並びに、炭化珪素半導体ウェハの製造方法及びその検査方法
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触媒担体の製造方法、複合触媒の製造方法、複合触媒、およびこれを用いた直接酸化型燃料電池
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磁気記録媒体用基板、磁気記録媒体、磁気記録媒体用基板の製造方法及び表面検査方法
【課題】表面平滑性に優れた磁気記録媒体用基板、磁気記録媒体、磁気記録媒体用基板の製造方法及び表面検査方法を提供する。
【解決手段】中心孔を有する円盤状の磁気記録媒体用基板であって、その主面における表面粗さは、円周方向のうねりの空間周期(L)が10〜1000μmの範囲における二乗平均平方根粗さ(Rq)で1Å以下であり、且つ、表面粗さについてスペクトル解析を行い、その空間周期(L)を横軸[μm]とし、そのパワースペクトル密度(PSD)を縦軸[k・Å2・μm](kは定数)とした両対数グラフ上に表される曲線Sにおいて、空間周期(L)が10μmとなる点Aと、空間周期(L)が1000μmとなる点Bとを結ぶ線分Zの縦軸方向の成分をHとし、この線分Zに対して曲線Sの縦軸方向の成分が最大となる変位をΔHとしたときに、ΔH/H×100[%]で表される値(P)が15%以下である。
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