説明

セントラル硝子株式会社により出願された特許

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【課題】表面に凹凸パターンを形成されたウェハにおいて、該凹凸パターンの少なくとも凹部表面の一部が、チタン、窒化チタン、タングステン、アルミニウム、銅、スズ、窒化タンタル、及びルテニウムからなる群から選ばれる少なくとも1種の物質を含むウェハ(金属系ウェハ)の凹部表面に撥水性保護膜を形成する撥水性保護膜形成剤を含有する撥水性保護膜形成薬液を提供すること、及び、前記薬液を用いて凹部表面に保護膜を形成することで、該凹部に保持された液体と該凹部表面との相互作用を低減せしめることによって、パターン倒れを誘発しやすい洗浄工程を改善する前記ウェハの洗浄方法を提供すること。
【解決手段】前記金属系ウェハの洗浄において、
該ウェハの少なくとも凹部表面に撥水性保護膜を形成するための撥水性保護膜形成剤を含有する撥水性保護膜形成薬液。 (もっと読む)


【課題】
ジフルオロ酢酸フルオライドから効率よくジフルオロ酢酸クロライドおよび2,2−ジフ
ルオロエチルアルコールを製造する。
【解決手段】
少なくともジフルオロ酢酸フルオライドを含むジフルオロ酢酸フルオライド組成物を反
応可能な温度において塩化カルシウムと接触させる塩素化工程によるジフルオロ酢酸クロ
ライドの製造方法、および、得られたジフルオロ酢酸クロライドを接触還元させる接触還
元工程による2,2−ジフルオロエチルアルコールの製造方法。 (もっと読む)


【課題】表面に凹凸パターンを形成されたウェハにおいて該凹凸パターンの少なくとも凹部表面の一部がチタン、窒化チタン、タングステン、アルミニウム、銅、スズ、窒化タンタル、及びルテニウムからなる群から選ばれる少なくとも1種の物質を含むウェハ(金属系ウェハ)の凹部表面に撥水性保護膜を形成し、該凹部に保持された液体と該凹部表面との相互作用を低減せしめることによって、パターン倒れを誘発しやすい洗浄工程を改善する前記金属系ウェハの洗浄方法、及び、前記保護膜を形成する撥水性保護膜形成剤を含有する撥水性保護膜形成薬液を提供すること。
【解決手段】前記金属系ウェハの洗浄方法であって、
該ウェハ表面を酸化処理する、酸化処理工程
撥水性保護膜形成薬液を、ウェハの少なくとも凹部に保持し、該凹部表面に撥水性保護膜を形成する、撥水性保護膜形成工程
を含むウェハの洗浄方法。 (もっと読む)


【課題】α,β,β−トリフルオロスチレン類の工業的な製造方法を提供する。
【解決手段】α,β,β−トリフルオロスチレン類の製造において、α−アリール−α,β,β,β−テトラフルオロエタン類をアルカリ金属ビス(トリメチルシリル)アミドと反応させる脱フッ化水素工程と、引き続いて行う、目的物のα,β,β−トリフルオロスチレン類と副生物のビス(トリメチルシリル)アミンとを含む混合物をフッ化水素、または、有機塩基とフッ化水素とからなる塩もしくは錯体と反応させる後処理工程を含む、α,β,β−トリフルオロスチレン類の製造方法を提供する。 (もっと読む)


【課題】単純な構成のガラス運搬用パレットでありながら、ガラス板を破損しないように安全に運搬することが可能であり、ガラス板運搬後に前記パレットを回収する場合も、廃棄する場合も嵩張らないガラス板運搬用パレットを提供する。
【解決手段】
複数枚の矩形のガラス板を縦姿勢で載置するベース部と、前記複数枚の矩形のガラス板からなるガラス板群を背面から支持する背受と、前記ガラス板群の前面を覆う前枠と、からなるガラス板輸送用パレットにおいて、前記ガラス板群の左右端部にそれぞれ当接される一対のガラス板側部抑えフレームと、前記ガラス板側部抑えフレームと前枠及び背受とを締結する側部抑えバンドとを備えていることを特徴とするガラス板輸送用パレット。 (もっと読む)


【課題】潤滑材の介在下で相互摺動する摺動部材の摩擦係数を、従来の摺動部材に較べて、さらに一層低減することができる低摩擦摺動機構を提供する。
【解決手段】含酸素有機化合物及び脂肪族アミン系化合物の一方又は双方を含む潤滑材の介在下で互いに摺動する摺動部材を備えた摺動機構において、摺動部材における摺動面の少なくとも一部に、フッ素含有量が望ましくは5〜20%のフッ素化ダイヤモンド粒子を含む層を形成する。 (もっと読む)


【課題】積載する板ガラスの大きさに合わせてパレットの横幅が調整可能なように左右にスライド部材を設けたパレットに関して、スライド部材の円滑な伸縮動作を長期間保障できるガラス板輸送用パレットを提供する。
【解決手段】
背枠の左右に伸縮自在な一対のスライド部材とを備えるガラス板輸送用パレットであって、前記背枠に備えられた前記スライドガイドには、レールが備えられ、前記レールの一端にスライドガイド車輪が軸着されており、前記一対のスライド部材は、それぞれ少なくとも1本のスライド軸を備えており、前記スライド軸は、その一端部に、スライド軸車輪が軸着されており、前記スライド軸を、前記スライドガイドに挿入したときに、前記スライド軸は、前記レールよりも下方に位置しており、前記スライド軸車輪は、前記レールの下方から前記レールに当接し、前記スライドガイド車輪は、前記スライド軸の下方から前記スライド軸に当接している。 (もっと読む)


【課題】CVD装置内の堆積物のリモートプラズマクリーニング法に用いられるクリーニングガスにおいて、地球温暖化係数が低く、かつ、高いエッチング速度が得られるクリーニングガス、及びそれを用いるリモートプラズマクリーニング方法を提供する。
【解決手段】CVD装置の反応チャンバー1内に堆積した、Si含有物、Ge含有物、又は金属含有物を、リモートプラズマクリーニング法により除去するクリーニングガスにおいて、該ガスはCFxOy[但し、xは2又は4であり、x=2のときy=1〜3の整数、x=4のときy=1〜4の整数を表す。]とNが含有されている混合ガスである。 (もっと読む)


【課題】高収率、簡便かつ低コストでジフルオロメチル化ヘテロアリール化合物を製造する方法を提供する。
【解決手段】本発明の製造方法は、ハロゲン化へテロアリール化合物とα−シリルジフルオロ酢酸エステル化合物とを金属ハロゲン化物の存在下で反応させることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】高圧充填された容器から4MPaG以上の圧力を有して高圧ガスを供給する場合において、特に容器弁や外部装置中のシール材において、漏れが発生する場合があった。
【解決手段】容器に高圧充填されている、可燃性ガス又は支燃性ガスを含有する高圧ガスを、該容器の容器弁を通じて外部装置へと供給するガス供給方法において、該ガスは衝撃波減衰機構を有する機器を通じて外部装置へと導かれることを特徴とする高圧ガスの供給方法。 (もっと読む)


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