【課題】 ２枚の基板の貼り合せ後に、該基板を基板保持部から確実に剥離させ、基板の貼り合せ精度を向上させること。
【解決手段】 チャンバ１２内にて対向して配置された第１と第２の基板保持部１５、１８の基板保持面１５ａ、１８ａにそれぞれ保持した２枚の基板１、２を貼り合せる基板の貼り合せ装置１０において、第１と第２の基板保持部１５、１８の少なくとも一方に前記基板保持面１５ａ、１８ａとは交差する方向に貫通して設けられた貫通孔２１に当該基板保持面１５ａ、１８ａに対して突没可能に挿通され、前記基板１、２を吸着保持する吸着部２３を備えた基板受渡しピン２２と、前記貫通孔２１と前記基板受渡しピン２２との間に配置され、前記基板保持面１５ａ、１８ａに保持された基板１、２との間で閉空間５１を形成するシール手段５０と、前記閉空間５１にガスを供給するガス供給手段６０と、を有してなるもの。 （もっと読む）

【課題】本発明は、密閉型容器内部の雰囲気に起因する反応物の生成を抑制することを目的とする。
【解決手段】半導体製造装置１は、被処理物であるウエーハ１０、ウエーハ１０を収納する密閉型容器のＦＯＵＰ２０、半導体処理装置であるエッチング装置３０及びＦＯＵＰ２０とエッチング装置３０との間を密閉状態でウエーハ１０の搬送を行うＥＦＥＭ４０を有する。ＦＯＵＰ２０は、前面扉２０ａ、内側に温度と湿度とガス濃度との少なくとも一つを検知するセンサ部２１及びこのセンサ部が検知した情報を送信する送信装置２５を有する。受信装置３１は、送信装置２５からの情報を受信し、その情報をパージ部４３に供給する。パージ部４３は、ＦＯＵＰ２０内の温度などが予め定められた基準値を満足するまでパージを行う。 （もっと読む）

【課題】駆動プーリとテンションプーリとに掛け渡されたワイヤに生じる弛みを除去することができるワイヤ駆動装置を提供することにある。
【解決手段】可動体２３を有するテンションユニット２１と、可動体に揺動可能に枢支され中途部にテンションプーリが回転可能に設けられた揺動レバー３１と、可動体に移動可能に設けられ先端部が揺動レバーの上端部に連結されたテンションロッド３７と、テンションロッドの後端部に設けられた圧縮ばね４１を圧縮させてテンションロッドに加わる圧縮ばねの復元力を設定するナット４２と、テンションロッドに圧縮ばねの復元力を作用させたときにその力を揺動レバーに伝達するばね第１、第２の加圧体４６，４９と、圧縮ばねの復元力が付与されて張設されたワイヤに弛みが生じて揺動レバーがワイヤの弛みに応じて揺動したときに、可動体をワイヤの走行方向に沿って位置決め調整して揺動レバーをワイヤの弛みが除去される方向に揺動させるボルト２７を具備する。 （もっと読む）

【課題】貼り合せ板状体の周辺部に不透光領域があっても、接着剤内の気泡や異物とともにその周辺部における接着剤の状態が現れ得る検査画像を得ることのできる貼り合せ板状体検査装置を提供することである。
【解決手段】ラインセンサカメラ５０と、貼り合せ板状体１０の第１板状体１１側から当該貼り合せ板状体の表面を照明する第１照明手段５１と、貼り合せ板状体１０の第２板状体１２側からラインセンサカメラ５０に向けて照明する第２照明手段５２とを有し、第１照明手段５１は、貼り合せ板状体１０の上方から、貼り合せ板状体１０の表面における撮影ラインＬ_Cから所定距離だけ離れて当該撮影ラインＬ_Cに沿った方向に延びる所定領域Ｅ_Lを斜めに照明し、第１照明手段及５１及び第２照明手段５２による照明がなされている状態で、ラインセンサカメラ５０が貼り合せ板状体１０を走査することにより検査画像を生成する構成となる。 （もっと読む）

【課題】 設備コスト、設置場所の縮小を図ることができる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】 基板Ｗに対して剥離処理と洗浄処理を行なう基板処理装置において、導入された空気を窒素ガスと酸素ガスのガス成分に分離して取り出し可能とするガス分離モジュール９と、この分離モジュール９から分離取り出された窒素ガス、酸素ガスをそれぞれ用いたマイクロナノバブル発生装置５、６を設け、各発生装置で発生した微小気泡を剥離部２、洗浄部３にそれぞれ供給する。 （もっと読む）

【課題】レーザを用いて被処理物に対するより効果的な処理が可能となるレーザ処理装置及び方法を提供することである。
【解決手段】液体の存在のもとで被処理物１００の表面にレーザビームを照射して当該被処理物を処理するレーザ処理装置であって、気体供給機構３４と、液体に前記気体供給機構からの気体を加えて気体含有液を生成する気体含有液生成機構３６、３８、３９と、処理槽１１内において、少なくとも被処理物１００の処理すべき部位を前記気体含有液生成機構からの気体含有液が満たされた状態を形成する処理状態形成機構１５ｃとを有し、前記気体含有液が満たされた状態の被処理物１００の表面の処理すべき部位に前記レーザビームを照射する構成となる。 （もっと読む）

【課題】撮像手段によって得られた撮像信号の画像範囲から位置合わせマークの座標を求めるときのサーチエリアを最小限に設定できるようにすること。
【解決手段】液晶セルもしくはＴＣＰに設けられた位置合わせマークを撮像する撮像カメラ１４，２５と、撮像カメラからの撮像信号に基いて位置合わせマークの位置を算出する演算処理部１６と、演算処理部によって算出された位置合わせマークの座標位置が格納蓄積される記憶部１８と、記憶部に格納蓄積された位置合わせマークの座標位置のバラツキに基いて撮像カメラの視野範囲における位置合わせマークをサーチするサーチエリアを設定する設定部１９を具備する。 （もっと読む）

【課題】塗布対象物に所望の塗布量で液滴を塗布し、塗布製品の品質を向上させる。
【解決手段】液滴塗布装置１は、塗布対象物Ｗを支持するステージ２と、複数のノズルが並ぶノズル列を有するインクジェット式の塗布ヘッド４と、その塗布ヘッド４とステージ２とを塗布対象物Ｗの塗布面Ｗａに沿ってノズル列に交差する第１の方向に相対移動させる移動装置３と、塗布面Ｗａ上における液滴の塗布位置を示す情報を含む塗布パターンを設定するパターン設定部８ｂと、その塗布パターンに基づいて移動装置３及び塗布ヘッド４を制御し、ステージ２上の塗布対象物Ｗの塗布面Ｗａに液滴を塗布する制御部８ａとを備える。制御部８ａは、前述の塗布パターンが複数のノズルの中で近接して位置するノズルから液滴を同時に吐出させる塗布パターンであったとき、当該近接して位置するノズル同士において液滴の吐出タイミングをずらすようにノズルからの液滴の吐出を制御する。 （もっと読む）

【課題】ポッピングの発生を抑制するとともに、ポッピングが発生してしまった場合には飛散した変質層の破片をも除去することができるアッシング方法およびアッシング装置を提供する。
【解決手段】イオン注入により表面に形成された変質層４とその下の未変質層３とを有するレジストを除去するアッシング方法であって、基板の前記レジストが形成された面を覆うように塗布膜５を形成し、前記レジストと前記塗布膜５とを反応性ガスを用いたプラズマ処理により除去する。 （もっと読む）

【課題】実装ツールを駆動して液晶表示パネルにＴＣＰを実装するとき実装ツールの振動を短時間で収束できるようにした実装装置を提供することにある。
【解決手段】ＴＣＰを保持する実装ツール４１と、実装ツールを駆動して液晶表示パネルの上方の実装位置に位置決めしてから下降方向に駆動して実装ツールに保持されたＴＣＰを液晶表示パネルに実装させるＸ・Ｙ・Ｚ・θ駆動源４２と、Ｘ・Ｙ・Ｚ・θ駆動源によって実装ツールを駆動して実装位置の上方に位置決めしたときに実装ツールに生じる振動を検出する加速度センサ４３と、加速度センサの検出に基いて実装ツールに生じた振動を打ち消す振動が実装ツールに加えられるようＸ・Ｙ・Ｚ・θ駆動源を駆動する制御装置を具備する。 （もっと読む）