【課題】基板のサイズに応じて基板を搬送する一対のガイドレールの間隔を基板を支持するステージに対して中心を一致させて変更できるようにする。
【解決手段】一対のガイドレール１の間隔を設定する回転駆動源９と、一対のガイドレールによって幅方向両端部が支持された基板の下面を支持するステージ３と、一対のガイドレール間に位置するステージの幅方向の端面に対して正圧或いは負圧の気体圧を作用させるノズル体１９と、基板のサイズ変更にともなってステージが異なる幅寸法のステージに交換されたとき、ノズル体から交換されたステージの側面に向かって気体圧を作用させながらノズル体が設けられたガイドレールがステージの側面に接近する方向に駆動されることで、ノズル体とステージの側面との間隔の変化によって生じる気体の圧力変化を検出する圧力センサ２４と、圧力センサが検出するノズル体に流れる気体の圧力変化によって回転駆動源の駆動を制御して一対のガイドレールの間隔を設定する制御装置を具備する。 （もっと読む）

【課題】貼り合わせた２つの基板層のいずれかに検査光の透過しない部分があっても、貼り合わせ界面に発生し得る微小空洞を検査することのできる基板検査装置を提供することである。
【解決手段】基板１００の表面に対して斜めに入射するように検査光を帯状に照射する光源ユニット３０と、前記検査光により前記基板の表面に形成される帯状照明領域を挟んで光源ユニット３０と逆側の所定位置に配置されるラインセンサカメラ２０とを有し、照明ユニット３０及びラインセンサカメラ２０と基板１００とが相対移動している際にラインセンサカメラ２０から出力される映像信号に基づいて基板画像情報を生成し、基板画像情報に基づいて基板１００の第１基板層１０１と第２基板層１０２との界面に生じ得る微小空洞についての検査結果情報を生成する構成となる。 （もっと読む）

【課題】安定した稼働を実現でき、気泡やゴミ等の混入がなく、高い精度での貼り合せが可能な貼合装置及びその制御方法を提供する。
【解決手段】一対のワークＳ１、Ｓ２を貼り合わせる押圧装置５が、ワークＳ１、Ｓ２を保持する部分を収容可能な真空チャンバ５１を有し、真空チャンバ内５１に設けられた真空計と、電圧値と、これに対応する圧力を算出するための複数の多項近似式とを記憶した記憶部と、電圧値及び多項近似式に基づいて、真空計からの電圧値に対応する多項近似式を選択する式選択部と、選択された多項近似式に基づいて、圧力を算出する圧力演算部を有する。 （もっと読む）

【課題】ＴＣＰの粘着テープが貼着される端部を静電気の蓄積を招くことなく清掃することができるようにしたことにある。
【解決手段】シート状の基部及びこの基部に素子が設けられ金型によって基部が打ち抜かれて成形されたＴＣＰを清掃する電子部品の清掃装置であって、
上記清掃装置３７は、支持体３８と、導電性材料によって形成され支持体にアースされた状態で回転可能に支持される軸体４３と、軸体を回転駆動する駆動源と、軸体に設けられ軸体が駆動源によって回転駆動されることでＴＣＰ３の基部３ａのＩＣチップ３ｂが設けられていない部分を清掃する帯電防止構造の第１の清掃部４６を具備する。 （もっと読む）

【課題】
本発明の実施形態では、ずれを防止し、取り替え作業を容易に実施できる保護層を有した載置台を提供する。
【解決手段】
載置台１０は、ウェーハＷを載置する載置面４を有する電極本体２と、前記載置面４に設けられ、紫外光を照射されることによって前記載置面４に対する粘着力が可変となる着脱自在な保護層３とを有することを特徴とする。また、載置台１０をプラズマ処理装置１００に適用し、プラズマ発生時の紫外光を用いて、保護層３の粘着力を可変とする。 （もっと読む）

【課題】扉に設けられているヒンジ受け部を誤って先に外しても、扉が本体から外れない自動販売機を提供する。
【解決手段】扉１４の端部に設けられたヒンジガイド部４４と、ヒンジガイド部４４に開口し、上ヒンジ軸３２が貫通する貫通孔４６と、扉１４の端部で、かつ、ヒンジガイド部４４より下方に設けられ、貫通孔４６を貫通した上ヒンジ軸３２が係合するヒンジ受け部４８を有する。 （もっと読む）

【課題】微小気泡の安定供給を実現する。
【解決手段】送液装置１は、微小気泡を含む液体が流れる配管３と、その配管３の途中に設けられ、配管３内を流れる液体に旋回運動を与えて配管３内に旋回流を発生させる旋回流発生部８とを備える。これにより、前述の旋回流が配管３内に発生するため、液体中の微小気泡が配管３の内周面に付着することが抑止されるので、微小気泡の安定供給を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】プラズマ生成空間から処理空間に進入するプラズマの光エネルギーを低下させ、生産性を向上することができるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】実施形態に係るプラズマ処理装置は、被処理物を載置する載置部１０３を有する処理容器１０１と、前記被処理物Ｗを処理するためにプロセスガスを活性化してプラズマを生成するプラズマ生成部６と、前記プラズマを生成した空間と前記被処理物を処理する空間７の間に設けられた遮光部８とを備え、前記遮光部は、内壁部に遮光面を持つ開口部を有し、前記プラズマの光が前記遮光面に遮られることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】この発明は所定長さに切断された粘着テープの切断部の頭出し精度が低下するのを防止した粘着テープの貼着装置を提供することにある。
【解決手段】離型テープの供給リール１１と、供給リールから離型テープを所定の長さずつ間欠的に引き出して走行させる送り機構２０と、送り機構によって引き出されて走行する離型テープに貼着された粘着テープを所定の長さに切断する切断機構３１と、切断機構によって切断されて貼着位置に位置決めされた所定の長さの粘着テープを貼着位置で待機するＴＣＰに加圧加熱して貼着する加圧ツール４８と、離型テープの走行方向の送り機構よりも上流側で、貼着手段よりも下流側において離型テープに残留する粘着テープを除去する残留物除去手段５３を具備する。 （もっと読む）

【課題】この発明は所定長さに切断された粘着テープの切断部の頭出し精度が低下するのを防止した粘着テープの貼着装置を提供することにある。
【解決手段】上記離型テープの供給リール１１と、開閉駆動される一対の挟持片１７ａ，１８ａを有する保持チャック１７と送りチャック１８を備え、これらチャックの一対の挟持片の開閉及び送りチャックの駆動によって離型テープを供給リールから所定の長さずつ間欠的に引き出して走行させる送り機構２０と、送り機構によって引き出されて走行する離型テープに貼着された粘着テープを所定の長さに切断する切断機構３１と、切断機構によって切断されて貼着位置に位置決めされた所定の長さの粘着テープを貼着位置で待機するＴＣＰに加圧加熱して貼着する加圧ツール４８を具備し、各チャックの少なくとも一方の挟持片の挟持面には、挟持面を油脂によって湿潤させるための油溝が形成されていて、油溝には挟持片に形成された油脂溜りから油脂が供給される。 （もっと読む）