【課題】ＡＴカット水晶振動子と同等かそれ以上の優れた周波数温度特性を有する弾性表面波素子を提供する。
【解決手段】弾性表面波素子１は、カット角がオイラー角（φ°，θ°，ψ°）による表示で（０±０．２５°，１１３〜１３５°，±（４０〜４９°））となる水晶基板２と、水晶基板２上に設けられ、複数の電極指３１ａ、３１ｂを備えるＩＤＴ３（櫛歯電極）と、ＩＤＴ３を水晶基板２とは反対側から覆うように設けられ、ＳｉＯ_２を主成分として構成されたＳｉＯ_２膜６とを有し、ＳｉＯ_２膜６の規格化膜厚ｈｓ／λ（ただし、ｈｓは、ＳｉＯ_２膜６の平均厚さ［ｎｍ］であり、λは、弾性表面波の波長［ｎｍ］である）が、０．００４６〜０．０２３３である。 （もっと読む）

【課題】プリズム内を通過する光の光路が安定するとともに三角柱基材同士や三角柱ペア部材同士の接合作業が容易となる製造方法の提供。
【解決手段】第１の三角柱基材２１の第１隣辺部２１１に設けられた光学薄膜２３Ｒと第２の三角柱基材２２の第１隣辺部２２１にプラズマ重合膜２０１をそれぞれ形成し、第１の三角柱基材２１と第２の三角柱基材２２とを基準面３Ｃの上でプラズマ重合膜２０１を間に挟むように配置した後、基準面３Ｃの上で互いの第２隣辺部２１２，２２２同士が同一平面に沿うように押し付け、さらに、２個の三角柱ペア部材２０のうち少なくとも一方に設けられた光学薄膜２３Ｂにプラズマ重合膜２０１を形成し、これらの三角柱ペア部材２０を基準面３Ｃの上でプラズマ重合膜２０１を間に挟むように配置した後、基準面３Ｃの上で互いの第１隣辺部２２１同士が同一平面に沿うように押し付ける。 （もっと読む）

【課題】ＡＴカット水晶板に水晶振動片の外形をウエットエッチングで加工する工程で、水晶振動片を折り取るための溝を水晶板との連結部に形成した場合にエッチングの入り込みを抑制する。
【解決手段】水晶振動片の外形を有する水晶素子片１１と水晶板の支持枠部４と水晶素子片を支持枠部に結合する連結部１２ａ，１２ｂとを加工する工程と、連結部を折り取って水晶振動片を切り離す工程とを有する。連結部は、水晶素子片のＺ´方向に延長する横辺に、Ｘ方向に延長する互いに対向する各縦辺に沿って延長するように、水晶素子片の外形線に沿って有底の溝１４ａ，１４ｂを形成するように加工される。＋Ｚ´側の溝は連結部の＋Ｙ´側の主面１３ａに、−Ｚ´側の溝は−Ｙ´側の主面１３ｂに配置される。 （もっと読む）

【課題】０点電圧の調整値を外部から簡単に設定可能な物理量検出装置、物理量検出システム及び物理量検出装置の０点電圧調整方法を提供すること。
【解決手段】本発明の角速度検出装置２（物理量検出装置の一例）は、振動子１００と角速度検出用ＩＣ１０を含む。角速度検出用ＩＣ１０は、振動子１００の出力信号に基づいて角速度（物理量の一例）に応じた検出信号６２を生成する。角速度検出用ＩＣ１０は０点電圧調整値設定回路５０と０点電圧調整回路６０を含み、０点電圧調整値設定回路５０は、外部入力端子１５から入力された０点電圧調整信号１８に基づいて０点電圧調整値５２を設定し、０点電圧調整回路６０は、０点電圧調整値５２に基づいて、検出信号６２の０点電圧を調整する。 （もっと読む）

【課題】故障の有無を判定するだけでなく、故障箇所をある程度特定することができる物理量検出装置を提供すること。
【解決手段】角速度検出装置１（物理量検出装置の一例）は、振動子１００、駆動回路２０、検出回路３０、電圧判定回路５０ａ、５０ｂ、故障判定回路６０を含む。駆動回路２０は、駆動信号を生成して振動子１００に供給する。検出回路３０は、振動子１００の出力信号に基づいて、角速度（物理量の一例）に応じた検出信号を生成する。電圧判定回路５０ａ、５０ｂは、それぞれ、駆動回路２０の入力信号又は出力信号の電圧レベル及び同期検波回路３５の入力信号の電圧レベルが正常か否かを判定する。故障判定回路６０は、電圧レベルが正常でないと判定した電圧判定回路５０ａ又は５０ｂに応じて異なる電圧レベルの信号を生成し、外部出力端子１７を介して外部へ出力する。 （もっと読む）

【課題】複数の振動腕の間に連結部から１本の中央支持腕を延長させた屈曲振動モードの屈曲振動片において、振動腕の振動損失を抑制して性能向上を図る。
【解決手段】圧電振動片１１は、２本の振動腕１３，１４を結合する連結部１２から振動腕の間を延出する１本の中央支持腕１５からなる振動片本体が、その外側に配置した矩形枠体１８の１側辺部１９に中央支持腕の先端部１５ａを結合させて支持される。この側辺部は、その幅方向内側と外側とで振動腕の屈曲振動による圧縮及び引張応力が発生する範囲に有底溝２３，２４又は貫通溝２５を形成し、熱弾性損失によるＱ値の低下を抑制することができる。振動片本体は、枠体４８の対向する側辺部の間を延長する支持部４９に中央支持腕４５の先端部を結合させて支持することができ、該支持部に同様の有底溝又は貫通溝を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】温度補償型発振回路を提供する。
【解決手段】圧電振動子１４と、電圧制御型の第１可変容量回路１６、及び前記圧電振動子１４の発振周波数の温度特性を相殺する温度特性を有する電圧制御型の第２可変容量回路２４、が接続された発振回路と、前記第１可変容量回路１６に前記第１可変容量回路１６の容量を制御する電圧を出力して前記発振周波数を所定の値に調整するＡＦＣ回路３２と、前記第２可変容量回路２４に１次の温度特性を有する温度補償電圧を出力する温度補償回路３８（高温温度補償回路４０、低温温度補償回路６２）と、を有する温度補償型発振回路１０であって、前記温度補償回路３８は、温度センサー３６からの出力を増幅する増幅回路（第２増幅回路４２、第３増幅回路６４）と、前記増幅回路のオフセット入力に接続され、前記ＡＦＣ回路３２の出力に対応してオフセット電圧を調整するオフセット電圧調整回路（第１オフセット電圧調整回路４４、第２オフセット電圧調整回路６６）を備えてなる。 （もっと読む）

【課題】高精度で且つ低消費電力の応力検出装置を得る。
【解決手段】応力が変化したときに出力周波数が変化する応力センサ１０と、温度が変化
したときに出力周波数が変化する周波数変化型の温度センサ１１と、前記応力センサ１０
を動作させる第１の発振回路１２ａと、前記温度センサ１１を動作させる第２の発振回路
１２ｂと、を備えている。更に、前記第１の発振回路１２ａから出力される応力検出信号
の周波数をカウントする第１の周波数カウンタ１３ａと、前記第２の発振回路１２ｂから
出力される温度検出信号の周波数をカウントする第２の周波数カウンタ１３ｂと、前記第
２の周波数カウンタ１３ｂから出力される周波数カウント信号に基づいて、前記第１の周
波数カウンタ１３ａから出力される周波数カウント信号を補正する処理回路１４と、を備
えている。 （もっと読む）

【課題】故障の有無を判定するだけでなく、故障箇所をある程度特定することができる物理量検出装置を提供すること。
【解決手段】角速度検出装置１（物理量検出装置の一例）は、振動子１００、駆動回路２０、検出回路３０、電圧判定回路５０ａ、５０ｂ、故障判定回路６０を含む。駆動回路２０は、駆動信号を生成して振動子１００に供給する。検出回路３０は、振動子１００の出力信号に対して検波処理を行う同期検波回路３５を有し、同期検波回路３５の出力信号に基づいて角速度（物理量の一例）に応じた検出信号を生成する。電圧判定回路５０ａ、５０ｂは、それぞれ、駆動回路２０の入力信号又は出力信号の電圧レベル及び同期検波回路３５の入力信号の電圧レベルが正常か否かを判定し、判定結果を示す信号が外部出力端子１８を介して外部に出力される。故障判定回路６０は、電圧判定回路５０ａ、５０ｂの判定結果に基づいて、角速度検出装置１が故障しているか否かを判定する。 （もっと読む）

【課題】インナーリードによるフォーミング量の工程バラツキが少なく、静止時出力電圧
の温度ドリフトが少ない物理量検出装置を提供する。
【解決手段】水晶振動片１２をインナーリード３６によりリッド５０側へ押し上げ、水晶
振動片１２をパッケージ４０のキャビティ６８内に弾性支持する構造を有するジャイロセ
ンサーであって、水晶振動片１２におけるリッド５０に対抗する面にスペーサー２８を設
け、スペーサー２８は、パッケージ４０をリッド５０により封止した状態においてリッド
５０に接触し、インナーリード３６による水晶振動片１２の押し上げ量を規制することを
特徴とする。このような特徴を有するジャイロセンサー１０では、スペーサー２８は、イ
ンナーリード３６による水晶振動片１２の中心に設けることが望ましい。 （もっと読む）