【課題】高周波圧電振動子の輪郭形状を小型化する手段を得る。
【解決手段】水晶基板１の一方の主表面に凹陥部２を形成し、その反対の平面側のほぼ中央に電極３を配置し、該電極３から水晶基板１の端部に向けてリード電極４を延在し、水晶基板１の環状囲繞部の厚肉部に設けたパッド電極５と接続し、水晶基板１の凹陥側には全面電極６を付着して高周波の圧電振動子を構成すると共に、厚肉の環状囲繞部の内、一辺の環状囲繞部の厚肉部αを他の辺に比べて小さく形成する。 （もっと読む）

【課題】圧電基板の平面寸法を大型化することなく、周波数を有効かつ十分に可変制御し得るＳＡＷ素子及びＳＡＷデバイスを提供する。
【解決手段】ＳＡＷ素子１は、水晶からなる圧電基板２の主面に、ＳＡＷを励振するためのＩＤＴ３と、ＩＤＴに対してＳＡＷ伝搬方向の両側に配置した反射器５，６と、反射器の少なくとも一部から構成されるヒーター電極１０とを備える。ＳＡＷ素子の動作温度範囲は、圧電基板２の周波数温度特性が２次曲線又は３次曲線で表される場合に、その極値となる温度を含まないように設定し、該２次曲線又は３次曲線が温度の上昇に関して常に正方向に変化するようにする。 （もっと読む）

【課題】屈曲振動片の振動漏れを解消してＱ値を向上させ、ＣＩ値を改善し、小型化及び薄型化を促進する。
【解決手段】屈曲振動片１１は、基部１２から延長する振動腕１３が互いに対向する第１及び第２の主面１４，１５に振動腕の長手方向に沿って形成した第１及び第２溝部を有する。第１溝部は、振動腕の長手方向に沿って分割し、振動腕の長手方向の中心線ｉに関してその両側に交互にずらして配置した複数の第１溝部分１６ａ，１６ｂからなり、第２溝部は、振動腕の長手方向に沿って分割し、中心線ｉに関してその両側に交互にずらしてかつ各第１溝部分とは中心線ｉに関して互いに反対側に配置した複数の第２溝部分１７ａ，１７ｂからなる。第１及び第２溝部の第１励振電極と振動腕両側面の第２励振電極とに交流電圧を印加すると、振動腕は第１又は第２の主面の面内方向に屈曲振動する。 （もっと読む）

【課題】小型化、低背化を図りつつ、周波数をより大きな可変幅で効率良く可変制御し得るＳＡＷデバイスを提供する。
【解決手段】ＳＡＷデバイス１は、圧電基板４の主面にＳＡＷを励振するためのＩＤＴ５を有するＳＡＷ素子３と、ＳＡＷ素子を圧電基板のＳＡＷ伝搬方向の一方の端部４ａで片持ちに支持固定するベース２と、印加電圧に応じて自由端部９ａを長さ方向に変位させるアクチュエータ９とを備える。アクチュエータの自由端部は、圧電基板のＳＡＷ伝搬方向にＩＤＴよりも他方の端部４ｂ側においてその裏面４ｃに、該アクチュエータの長さ方向に関して４５°より小さい角度で当接し、圧電基板をその他方の端部を押し上げて撓ませる。アクチュエータの自由端部が、圧電基板裏面に摺接しつつ印加電圧により長さ方向に変位して圧電基板の撓み量を変化させ、ＳＡＷデバイスの周波数を線形に変化させる。 （もっと読む）

【課題】周波数を有効かつ十分に可変制御し得るＳＡＷ素子及びＳＡＷデバイスを提供する。
【解決手段】ＳＡＷ素子１は、水晶からなる圧電基板２の主面に、ＳＡＷを励振するためのＩＤＴ３とヒータ電極５ａ，５ｂとを設け、該ヒータ電極をＩＤＴに対してＳＡＷ伝搬方向と直交する向きの両側に配置した。ＳＡＷ素子の動作温度範囲は、圧電基板の周波数温度特性が２次曲線又は３次曲線で表される場合に、その極値を含まないように設定し、該２次曲線又は３次曲線が温度の上昇に関して常に負方向に変化するようにする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高調波による発振を防止して基本波のＣＩ値を下げることを目的とする。
【解決手段】振動腕１４は、表裏面１６の両側に接続される第１及び第２の側面２１，２２と、を有する。表裏面１６には、それぞれ、振動腕１４の長手方向に延びる溝３０が形成されている。溝３０は、第１及び第２の側面２１，２２とそれぞれ背中合わせに延びる第１及び第２の内面３１，３２を含む。一対の振動腕１４は、相互の第１及び第２の側面２１，２２が相互に接近及び離隔するように屈曲振動し、最も大きく屈曲する第１の屈曲部１８を基部１２との接続部２４に有し、接続部２４の次に大きく屈曲する第２の屈曲部２０を溝３０の長さ方向の中間部が形成されている部分に有する。第１の側面２１と第１の内面３１（又は第２の側面２２と第２の内面３２）の間隔は、第２の屈曲部２０において最も大きい。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動片及び振動子の製造方法に関する。
【解決手段】相互に反対を向いて厚みを定義する第１及び第２の表面１２，１４を有し、基部１６及び基部１６から厚み方向に直交して並んで延びる複数の腕部１８を含む支持体１０を用意する。支持体１０は、複数の腕部１８のそれぞれの第１の表面１２に下部電極膜２０が形成され、下部電極膜２０上に圧電膜２２が形成され、圧電膜２２上に上部電極膜２６が形成され、第２の表面１４において複数の腕部１８のそれぞれの少なくとも一部は露出領域３０を有する。第２の表面１４の露出領域３０をエッチングする。エッチングによって厚みを減らして、複数の腕部１８を厚みの方向に曲がりやすくする。 （もっと読む）

【課題】 機械的研磨により厚さが数十μｍとなるまで薄型化されることによって機械的強度が低下した大面積の圧電ウェハを、その後のフォトリソグラフィプロセスによって複数の圧電チップ個片に加工する際のハンドリングによって、圧電ウェハが破損して歩留まりが低下する不具合を解決することができる圧電ウェハの構造を提供する。
【解決手段】 薄板領域２と、薄板領域の外周縁部に一体化された厚肉の枠体部３と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】第１及び第２の波長板を光学軸を互いに交差させて重ね合わせた積層波長板において、４００〜８００ｎｍの広帯域の波長範囲全体で変換効率の劣化を最小限に抑制し、１又は１に近い良好な変換効率を実現する。
【解決手段】第１及び第２の波長板１２，１３の設計波長λ_０に対する位相差をΓ_１＝Γ_２＝１８０°、光学軸の面内方位角をθ_１，θ_２、積層１／２波長板１１に入射する直線偏光の偏光方向と出射する直線偏光の偏光方向とがなす角度をψ、光学軸調整量をａとしたとき、θ_１＝ψ／４＋ａ、θ_２＝３ψ／４−ａ、０＜ａ＜ａ_ｍａｘであり、光学軸調整量最大値ａ_ｍａｘが、設計波長λ_０に応じて所定の多項式を満足するように構成する。 （もっと読む）

【課題】輪郭振動片における振動漏れを大幅に低減させてＱ値及びＣＩ値の向上を実現する。
【解決手段】輪郭圧電振動片１１は、接続部１３ａ〜１３ｄが正方形の振動部１２の４つの角部から左右各辺に沿って外向きに延長し、その先端が、接続部の幅より縦寸法が大きく高い面内剛性を有する矩形の中間剛性部１４ａの両端に結合している。中間剛性部の上辺中央にそれより十分に狭幅で縦方向に真直ぐに延長する連結部１５ａが結合され、その先端が、連結部の幅より幅寸法が大きく高い面内剛性を有する矩形の支持部１６ａに結合されている。 （もっと読む）