説明

エプソントヨコム株式会社により出願された特許

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【課題】測定感度が高く、かつ、電極の形成が容易な物理量センサーを低供すること。
【解決手段】本発明にかかる物理量センサー100は、基体10と、基体10に両端が支持され、厚み方向に電界が印加されたときに厚みすべり歪みを生じる梁20と、梁20を厚み方向に挟み、梁20の中央領域を避けて、梁20の上面および下面に形成された上部電極32および下部電極34と、を含み、基体10は、基体10に加えられた外力によって厚み方向に撓むような可撓性を有し、梁20は、上部電極32および下部電極34に駆動信号が印加されたときに生じる厚みすべり振動によって屈曲振動を生じる。 (もっと読む)


【課題】スペーサの構成を簡単なものとするとともに、パッケージを実装基板に実装した後においても、パッケージの支持高さ(すなわち、スペーサの高さ)を調節することができることにより小型化を図ることのできる圧電デバイスおよび圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電デバイス1は、圧電体素子2を収容したパッケージ3と、スペーサ51〜53を介してパッケージ3を支持する実装基板4と、スペーサ51〜53により形成されたパッケージ3および実装基板4間の隙間に位置するように実装基板4に設けられ、圧電体素子2を駆動するための電子部品6とを有している。スペーサ51は、アーチ状に湾曲させた金属ワイヤで構成されている。 (もっと読む)


【課題】温度補償型圧電発振器の起動直後の温度ドリフトを低減させる手段を得る。
【解決手段】圧電振動素子6は変曲点の低温側及び高温側に夫々極大値及び極小値と有す
る周波数温度特性を有し、IC部品8は温度を感知する温度センサ31と、圧電振動素子
を補償する温度補償回路32と、圧電振動素子と共に電圧制御型発振器を形成する電圧制
御型発振回路33と、を備える。温度補償回路32は、1次成分回路と3次以上の高次成
分回路とを含む回路と、信号の処理回路35と、加算回路36と、を備え、電圧制御型発
振回路33から出力される周波数補償量と温度との関係が、圧電振動素子6の周波数温度
特性を正確に補償する補償量より少なく、温度の上昇に応じて温度補償型圧電発振器の周
波数が減少するように補償回路32を調整した。 (もっと読む)


【課題】温度変化による誤差を低減した圧力センサー提供する。
【解決手段】両端に開口部14a、18aを有するハウジング12と、前記開口部14a、18aをそれぞれ封止し、外部の圧力を前記ハウジング12内部に伝達する一対の受圧手段(第1ダイアフラム22、第2ダイアフラム24)と、前記一対の受圧手段を連結して一方の受圧手段が受けた力を他方の受圧手段に伝達するシャフト28と、力の検出方向を検出軸とし、前記検出軸が前記シャフト28の変位方向と平行に配置された感圧素子32と、を有する圧力センサー10であって、前記感圧素子32の検出軸方向の一端(第1基部32a)が前記シャフト28の中央部(第2固定部30)に接続され、前記一端の反対側の他端(第2基部32b)が前記他端から延伸した接続部材34を介して前記ハウジング12側面の中央部(第1固定部26)に接続されたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】振動型センサーの故障を検出する。
【解決手段】圧電振動子10と、圧電振動子10を発振させるための直列に接続されたn段(nは3以上の奇数)の増幅器21〜23を含み、1段目の増幅器21の入力端子と圧電振動子10の一方の端子とが接続され、n段目の増幅器23の出力端子と圧電振動子10の他方の端子とが接続された発振回路100と、1段目の増幅器21の入力端子と接続され、圧電振動子の一方の端子からの信号aに基づき圧電振動子10が故障しているか否かを検出する故障検出回路200と、を含む故障検出回路付き振動型センサー回路1。 (もっと読む)


【課題】移相回路の温度の影響をキャンセルする。
【解決手段】第1の圧電振動子10と、第2の圧電振動子20と、第1の圧電振動子10を発振させ発振信号aを出力する発振回路30と、発振信号aの位相を−45°移相させた第1の移相信号bを出力する第1の抵抗R1と第1の容量素子C1とを含む第1の移相回路40と、発振信号aの位相を+45°移相させた第2の移相信号cを出力する第2の抵抗R2と第2の容量素子C2とを含む第2の移相回路50と、第2の移相信号cに基づき第2の圧電振動子20を共振させた共振信号dを出力する共振回路60と、第1の移相信号bと共振信号dとを乗算した乗算信号eを出力する乗算回路70と、乗算信号を積分した積分信号を出力する積分回路と、を含む振動型センサー回路。 (もっと読む)


【課題】簡単な構成で、実装基板に対するパッケージの位置を所定位置とすることのできる圧電デバイスおよび圧電デバイスの製造方法を提供すること
【解決手段】圧電デバイス1は、圧電振動片2を収容したパッケージ3と、スペーサ51〜54を介してパッケージ3を支持する実装基板4と、実装基板4に設けられ、実装基板4に対するパッケージ3の面方向における少なくとも1方向の位置を定める位置規制部材7(金属ワイヤ71〜74)と、スペーサ51〜54により形成されたパッケージ3および実装基板4間の隙間に位置するように実装基板4上に設けられ、圧電振動片2を駆動するための電子部品6とを有している。 (もっと読む)


【課題】液体を含む広範な物質の粘性を容易に測定することができる粘性センサーを提供すること。
【解決手段】本発明にかかる粘性センサー100は、第1ハウジング10と、第2ハウジング20と、第1ハウジング10および第2ハウジング20を接続して密閉空間32を形成するとともに、第1ハウジング10および第2ハウジング20の間の振動の伝搬をアイソレートするアイソレーター30と、密閉空間32に収容され、第2ハウジング20に固定された基部42および基部42から伸びた腕部44を有する振動片40と、を含み、振動片40の腕部44の振動は、基部42および第2ハウジング20に漏出する。 (もっと読む)


【課題】光学物品の反射偏角を精度よく測定できる光学物品の偏角測定装置の提供。
【解決手段】端面が直角二等辺三角形とされた基準プリズム2と、基準プリズム2の斜辺部2B又は光学物品1の斜辺部1Bに向けてレーザー光を出射するレーザー光源3と、レーザー光源3の基準プリズム2又は光学物品1を挟んで反対側に配置され基準プリズム2又は光学物品1の一方の隣辺部1A,2Aにレーザー光を照射する光源41及び隣辺部1A,2Aで反射された反射光を受光する受光部42を有する第一測定部4と、レーザー光源3から出射されて基準プリズム2又は光学物品1の斜辺部1B,2Bで反射した反射光を受光する第二測定部5と、第二測定部5及び第一測定部4からそれぞれ出力される基準プリズム2の測定値の信号と光学物品1の測定値の信号とを対比して光学物品1の偏角の補正値を演算する演算装置6とを備える。 (もっと読む)


【課題】被処理物の被処理面に対する研磨効率を向上させつつ、被処理物の破損や、スクラッチの発生を防止することができる定盤およびこの定盤を備えた研磨装置を提供すること。
【解決手段】下定盤130は、環状の研磨面131と、研磨面131に開口する複数の凹部132が形成されている。また、複数の凹部132は、それぞれ、独立して形成されている。また、各凹部132の開口形状は、略円状である。また、各凹部132の開口の径は、それぞれ、20μm〜2mmである。 (もっと読む)


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