エプソントヨコム株式会社により出願された特許

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【課題】圧電振動子を励振するドライブレベルの周囲温度変化に対する変動を抑圧したコルピッツ型発振回路を提供する。
【解決手段】発振用トランジスタTR1のベースと接地間に負荷容量の一部となるコンデンサC1とコンデンサC2との直列回路を接続し、この直列回路の接続中点と発振用トランジスタTR1のエミッタとを接続し、更に、エミッタと接地との間にエミッタ抵抗R1を接続する。そして、エミッタ抵抗R1に並列に抵抗R2とサーミスタTH1の直列回路を接続している。発振用トランジスタTR1のベースに抵抗R3及び抵抗R4とからなるベースバイアス回路を接続すると共に、発振用トランジスタTR1のベース−接地間に圧電振動子X1を接続するようにした。 (もっと読む)


【課題】接合時の温度を軽減するとともに、気密性を確保し、圧電振動片と上下基板との電気的な接続が確実にとれる構造を実現することにより、周波数特性に優れた圧電振動子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】水晶振動子10は、両主面に励振電極14a,14bが設けられた水晶振動片12と枠体13とを一体に形成した中間水晶板11と、上側及び下側基板2,3とが互いに直接接合されている。各励振電極14a,14bは、引き出し電極15a,15b及び枠体スルーホール50a,50bを介して反対側の主面の枠体13に設けた接続部18a,18bにそれぞれ接続されている。上側及び下側基板2,3のそれぞれに、外部接続端子8a,8bと電気的に接続されて設けられた基板スルーホール60a,60bに半田90が埋設されることにより、各励振電極14a,14bと外部接続端子8a,8bとが導通している。 (もっと読む)


【課題】金属膜を保護膜として水晶基板をエッチングし複数の水晶片を形成する水晶基板において、板厚が薄い高周波のものでも製造が容易で、個片を簡単に分離可能な水晶片集合体を提供することを目的とする。
【解決手段】水晶のX軸(電気軸)に対して平行で且つZ軸(光軸)に対して傾斜したカット面を有する水晶基板であって、前記水晶基板の表面の前記X軸と直交する方向に延設されたフレーム部と、前記フレーム部に沿って形成された複数の水晶片と、前記フレーム部から前記X軸と平行な方向に延設された第1アーム部と、前記第1アーム部の端部から前記X軸と平行な方向に延設され前記水晶片に接続された第2アーム部とを備え、前記第2アーム部は前記第1アーム部より細幅であることを特徴とする水晶片集合体。 (もっと読む)


【課題】圧電ウエハをエッチングして圧電基板を形成しても、圧電基板の形状を維持し、且つ、圧電ウエハ本体から圧電基板を折り取り易い圧電ウエハおよび圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電ウエハ10には、エッチングによって圧電基板20、支持部40および圧電ウエハ本体12が形成されている。圧電基板20は、複数の支持部40によって圧電ウエハ本体12と接続している。すなわち支持部40は、圧電基板20の基端26側に設けられた面(基端面)22の端部に接続している。そして支持部40の外側面46は、圧電基板20の側面24に沿って連続して設けられている。また支持部40の内側面42には、圧電基板20の基端面22に沿った第1の溝44が設けられた構成である。 (もっと読む)


【課題】被処理物を支持する支持台と被処理物との間にエッチング液が侵入するのを防止または抑制することのできる支持装置およびエッチング方法を提供すること。
【解決手段】ワーク10の被処理面101にエッチング液を供給することにより、ワーク10に対して所望のエッチング処理を行う際に、ワーク10を支持する支持装置2であって、ワーク10を支持するする支持面31を有する支持台3と、支持台3に形成され、支持面31にワーク10を支持した状態にて、ワーク10の縁部に位置し、支持面31に開放する吸引孔4と、吸引孔4からエッチング液を吸引する吸引手段5とを有する。 (もっと読む)


【課題】圧電ウエハの表面に対して垂直なエッチング面を短時間で形成する圧電ウエハのエッチング加工方法を提供する。
【解決手段】圧電ウエハのエッチング加工方法は、圧電ウエハの一方の面12および他方の面14に開口部16を有するマスク18を形成し、前記開口部16をエッチングして貫通溝を形成するものである。そして前記一方の面12に形成され前記開口部16に隣接する前記マスク18におけるZ’軸方向の端部を、前記他方の面14に形成され前記開口部16に隣接する前記マスク18におけるZ’軸方向の端部に対して、前記圧電ウエハの+Z’方向に前記圧電ウエハの板厚の50±10%ずらしている。 (もっと読む)


【課題】吸引口から吸引しきれなかったエッチング液を受けることにより、エッチング液による装置の腐食を防止することのできるノズル、このノズルを備えたエッチング液供給装置およびエッチング方法を提供すること。
【解決手段】ワーク10の被処理面101にエッチング液を供給するノズル4であって、エッチング液を送出する送出口412aおよび送出口412aから送出されたエッチング液を吸引する吸引口413aを有し、送出口412aおよび吸引口413aが被処理面101の下方に位置されたノズル本体41と、吸引口413aから吸引しきれなかったエッチング液を受ける液受け部42とを有する。 (もっと読む)


【課題】硬質の導電性接着剤により圧電振動素子をセラミックパッケージ内底面に接続しても、熱応力の発生に起因する諸特性の劣化を解決する表面実装型圧電デバイス(振動子、フィルタ)を提供する。
【解決手段】圧電振動素子を表面実装型パッケージ内に片持ち保持で電気的機械的に接続する圧電デバイスであって、圧電振動素子の片面上のパッド電極と表面実装型パッケージ内底面上の導通パッドとの接続を硬質の導電性接着剤にて行ったものにおいて、パッド電極上の各導電性接着剤を結ぶ直線の延長上に圧電振動素子の主振動部が位置するように構成した。これにより導電性接着剤固着部の支持拘束力が圧電振動素子の温度変化に付随した膨張、収縮を妨げることを防止し、熱応力の発生を抑制し、諸特性の劣化を防止することができる。 (もっと読む)


【課題】小型の圧電基板の面取り加工寸法精度の低下による圧電振動子の共振特性や周波
数温度特性のバラツキ、等価回路定数値のバラツキ等の問題を防止することを可能とする
エネルギー閉じ込めに必要な圧電基板の構造的な加工を高精度に再現性良く実現し、且つ
、量産においても好適な圧電振動子及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】厚み滑り振動を主振動として励振する圧電基板を有する圧電振動子において
、圧電基板両主面上中央部に励振用電極を形成すると共に、圧電基板長手方向端部と前記
励振用電極との間に、フォトリソグラフィ技法とエッチング技法とを用いて複数の溝また
は孔を形成する、或はイオン打込みによりドーピング層を形成することによって励振用電
極直下の振動領域にエネルギー閉じ込めを可能せしめた。 (もっと読む)


【課題】他軸感度を低減した圧電振動片、これを実装した圧電振動子および加速度センサを提供する。
【解決手段】第1の方向に延び、片持ち支持された振動腕14と、前記振動腕を片持ち支持する基部12と、前記振動腕14を前記第1の方向に垂直な第2の方向に屈曲振動させる第1の側面電極膜36、第2の側面電極膜38、第1の内面電極膜40、第2の内面電極膜42、底面電極膜44、第1の励振電極膜46、第2の励振電極膜48、第3の励振電極膜50、引出し電極膜52、接続電極膜54を有する圧電振動片であって、前記振動腕に、前記第1及び第2の方向に垂直な第3の方向の曲げに対する剛性の調整部を備えることを特徴とする圧電振動片である。前記調整部は、前記振動腕の前記第3の方向を向く面の基部側から前記振動腕14の自由端方向に沿って設けられた溝26であることを特徴とする。 (もっと読む)


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