説明

日新電機株式会社により出願された特許

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【課題】
プラズマ電位を、プローブ計測器に頼ることなく、質量分析器を応用して、イオン種の分析と併せて計測でき、質量分析とプラズマ電位計測の双方を行える割には安価に済むプラズマ電位計測方法及びそれを利用した装置を提供する
【課題を解決するための手段】
真空チャンバ1内の測定対象プラズマ2のプラズマ電位計測方法であって、該真空チャンバ1内に質量分析器3を配置し、前記プラズマ2と前記質量分析器3との間にバイアス電圧を印加して質量分析を実施し、イオンが検出された条件において、前記質量分析器3内のサプレッサー電圧を変化させていき、イオン電流が検出されなくなるサプレッサー電圧と前記バイアス電圧との関係からプラズマ電位を算出するプラズマ電位計測方法及び装置を提供する。 (もっと読む)


【課題】摩擦試験機において、荷重を増加させるにつれて摺動時に凝着等が生じ、摩擦力が急激かつ瞬時に増加してロードセルを破損するのを防止する機構を備えた摩擦試験機を提供する。
【解決手段】柱状の固定の試験部材と往復動する部材間の摩擦力を測定するロードセルを具備する往復摺動摩擦試験機において、前記柱状の固定試験部材の軸方向に垂直断面の全体または一部のせん断強さがロードセルの許容負荷以下になるようにする。 (もっと読む)


【課題】電力系統の周波数を精度良く測定できる周波数計測装置を提供する。
【解決手段】周波数計測装置1は、電力系統の交流電圧(基本波)V1に、ノイズとして基本波の90%の大きさの第3調波(高調波)V3が重畳した合成波G13が入力端子2から入力された場合、演算回路4で最大のピークPK1を抽出できるように閾値Sを算出し、閾値設定回路5で波形整形回路6に閾値Sを設定する。波形整形回路6は、入力信号である合成波G13から閾値S以上の信号PU1を抽出し、抽出した信号PU1を矩形波状のパルス信号P1に整形する。そして、パルス信号P1のあるパルスから次のパルスまでの時間(1周期間)Tを計測して、この1周期間Tに基づいて電力系統の交流電圧(基本波)の周波数を算出する。閾値は、入力信号に含まれるノイズの大きさに応じて設定するか、または入力信号に含まれるノイズの大きさの算出結果に応じて設定する。 (もっと読む)


【課題】昼の電気料金と夜の電気料金との差額によるメリットを最大限に得ることが出来るとともに、電力貯蔵装置の運転とセルの出力電圧のバラツキ補正とを両立することが出来て、さらにSOCの精度が良い状態で電力貯蔵装置を運転し続けることが出来る放電方法を提供する。
【解決手段】本発明の実施形態に係る放電方法は、蓄電池を放電させて上記負荷に電力を供給することによって、上記蓄電池の充電容量に対する現在の充電量の比率を下げる比率低減工程と、上記比率低減工程の後、上記電力系統から供給される電力によって上記蓄電池を充電する充電工程とを含み、上記比率低減工程において、上記比率を、上記充電工程が開始されるまでに、放電用に設定された下限の上記比率である下限比率に近づける。上記蓄電池の比率は、上記蓄電池の出力電圧を、上記蓄電池の使用下限電圧VLに近づけることにより下げられる。 (もっと読む)


【課題】 平面導体を大型にしても、そのインピーダンスの増大を抑えて当該平面導体に大きな電位差が発生するのを抑え、それによって均一性の良いプラズマ生成を可能にする。
【解決手段】 このプラズマ処理装置は、ホルダ側の面32が真空容器4内に位置しかつホルダ10の基板保持面に対向するように設けられた平面導体30を備えている。平面導体30は、そのホルダ側の面32に、高周波電流の流れ方向と交差する方向に伸びている溝40であってその深さが、平面導体30中を流れる高周波電流の表皮厚さよりも大きい溝40を、高周波電流の流れ方向に1以上有していて、溝40によってホルダ側の面32は複数領域に分割されている。平面導体30の各溝40内にコンデンサ42をそれぞれ設けて、平面導体30の前記各領域と各コンデンサ42とを互いに電気的に直列接続している。 (もっと読む)


【課題】耐電圧試験時にGISとの切離しができ、耐電圧試験終了後はGISとの接続を容易に行うことができる断路機構を備えた三相形ガスVTを提供することを目的とする。
【解決手段】絶縁スペーサによって封止され絶縁ガスが充填された容器に三相の電圧変成要素が収納され、電圧変成要素は鉄心と、鉄心に巻かれた二次コイルと、二次コイルの外側に同軸上に巻かれた一次コイルと、電界緩和シールドとによって構成され、埋め込み導体と一次コイルとの接続及び切離しを行う三相形ガス絶縁計器用変圧器において、容器に設けられた操作機構と、操作機構に取付けられた操作棒と、操作棒に取付けられた絶縁フレームと、絶縁フレームに取付けられた三相分の接続導体を備え、接続状態では接続導体が埋め込み導体と一次コイルとの間に配置され、切離し状態では絶縁フレームがスライドすることで接続導体が埋め込み導体と一次コイルとの間から離れることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 負荷変動への対応が容易で逆潮流を確実に防止する。
【解決手段】 太陽電池20をパワーコンディショナ10により電力系統30と連系させた太陽光発電システムにおいて、パワーコンディショナ10は、太陽電池20の出力電圧および出力電流に基づいて最大電力追従制御により直流電圧制御指令値を生成し、その直流電圧制御指令値をPI制御により電流制御指令値に変換し、その電流制御指令値に基づいてPWM制御によりインバータをスイッチング動作させてインバータ11の出力電力を負荷に供給する出力制御方法であって、PI制御による電流制御指令値にリミッタ上限値を設定し、外部からの負荷変動に応じてリミッタ制御によりリミッタ上限値を可変する。 (もっと読む)


【課題】ウェハやFPD用基板等の処理基板の処理装置を構成する真空容器に関するものであり、真空容器を構成する筐体に設けられた封止部材が接する部分を傷付けることなく、蓋板の開閉ができる真空容器を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る真空容器は、開口部を有する筐体と、封止部材を備えた蓋体と、開閉可能な前記蓋体によって前記筐体の開口部を封止する真空容器において、前記蓋体の封止部材取付部より外側に傾斜部を設けたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】分解せずにフランジ結合部のガス漏れを止める。
【解決手段】絶縁ガス封入電気機器の取付部27に対して間にガスケット35を介挿させつつ相手配管のフランジ70をボルトB1で締結させたフランジ結合部Uにおける絶縁ガスの封止方法であって、前記フランジ70の外周面71を前記絶縁ガス封入電気機器の取付部27に対して全周溶接することにより、前記フランジ70と前記取付部27の合わせ面Fを通って前記フランジ70の外周面71側から外部に絶縁ガスが漏れる経路を封止すると共に、前記フランジ70のボルト締結箇所に対して前記ボルトB1を外側から囲い込む金属蓋80を被せ付け、かつそれら金属蓋80をフランジ70に対して各々全周溶接することにより、前記フランジ70に形成されたボルト挿通孔73aを通って外部に絶縁ガスが漏れる経路を封止する。 (もっと読む)


【課題】 従来と同等の防音性能を維持しつつ、現場での設置作業を簡易にしてコスト低減を図り得るコンパクトな電気機器用防音装置を提供する。
【解決手段】 コンクリート基礎22上に載置されるベース23が取付けられた底板部24と、その底板部24の周縁部から起立するように一体的に設けられた壁板部25とを備え、電気機器26のハウジング27を壁板部25の内側に収容すると共に防振部材37を介して底板部24上に固定し、電気機器26のハウジング27の開口部を蓋板部28で閉塞すると共に、その蓋板部28を壁板部25の開口部に覆い被せた構造を具備する。 (もっと読む)


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