説明

日本化薬株式会社により出願された特許

921 - 921 / 921


【構成】下記式(1)で表されるヒドロキシメチル化合物を下記式(2)を構成単位に含むポリマ−と縮合させることにより得られる縮合樹脂及びこれを含有する感放射線性樹脂組成物。
【化1】


(式(1)中R1 は炭素数1から4のアルキル基を、又式(2)中R2 は水素又はメチル基をそれぞれ示す)
【効果】本発明の縮合樹脂及びこれを含有する感放射線性樹脂組成物は、遠紫外部に高透過率を有し、遠紫外線リソグラフィを利用する半導体集積回路の製造に極めて有用である。 (もっと読む)


921 - 921 / 921