【課題】２つのウエハを高精度で位置合わせする。
【解決手段】 基板貼り合わせ装置１００において、第１及び第２テーブルＴ１，Ｔ２がそれぞれ保持するウエハＷ１，Ｗ２を張り合わせるために第１及び第２テーブルＴ１，Ｔ２を互いに接触した際に、Ｘ干渉計４０Ｘ（第１計測器）が設置された第２テーブルＴ２（ステージ装置３０）が示す共振モードに対して逆相の共振モードを示す第１テーブルＴ１（第１テーブル装置２０）にＸ干渉計４５Ｘ（第２計測器）が設置されている。これらの計測器を用いて１入力２出力系（ＳＩＭＯ系）のフィードバック制御系を構築することにより、第１及び第２テーブルＴ１，Ｔ２間の接触状態に拠らず、制御系を切り換えることなく、高帯域でロバストな第２テーブルＴ２（ステージ装置３０）の駆動を制御する駆動システムを設計することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ユーザは、希望する撮影条件で撮影することを目的として、パラメータの変動範囲を制限する制限値、例えばシャッタ速度の下限値、ＩＳＯ感度の上限値を予め設定することができる。しかしながら、パラメータの現在値を表示する表示画面には制限値が表示されないことから、ユーザは、パラメータの現在値が制限値に達したのか否かを判断することができない。
【解決手段】表示制御装置は、電子機器の処理に用いられるパラメータの変動範囲を制限する制限値を、ユーザから受け付ける受付部と、制限値をパラメータの現在の設定値とともに表示部に表示させる表示制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】無線通信を維持しつつ無線通信部の発熱を適切に抑制すること。
【解決手段】電子機器は、パケットを無線で送信する無線通信部の温度を取得する温度取得部と、無線通信部の温度が予め定められた第１基準値以上である場合に、無線通信部の温度が第１基準値より低い場合より、無線通信部から無線で送信されるパケットの送信間隔を長くする送信間隔制御部と、を備える。プログラムは、パケットを無線で送信する無線通信部の温度を取得する温度取得ステップと、無線通信部の温度が予め定められた第１基準値以上である場合に、無線通信部の温度が第１基準値より低い場合より、無線通信部から無線で送信されるパケットの送信間隔を長くする送信間隔制御ステップと、をコンピュータに実行させる。 （もっと読む）

【課題】スラリーの供給不足をより確実に検出できる研磨装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る研磨装置は、ウェハＷを保持する保持機構１０と、保持機構１０に保持されたウェハＷを研磨する研磨パッド２１とを備え、保持機構１０に保持されたウェハＷの被研磨面Ｗａに研磨パッド２１を当接させながら相対移動させてウェハＷの研磨加工を行うように構成された研磨装置１において、被研磨面Ｗａと研磨パッド２１との当接部にスラリー３１を供給するスラリー供給機構３０と、被研磨面Ｗａにプローブ光を照射する光源４１と、プローブ光が照射された被研磨面Ｗａからの反射光を検出する光検出器４３と、光検出器４３に検出された反射光の情報に基づいて研磨加工の終点を検出するとともに当該反射光の情報に基づいてスラリー３１の供給状態を判定する制御装置５０とを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】成形材料を効果的に冷却し、サイクルタイムを短縮可能な射出成形用金型を提供する。
【解決手段】
成形材料から放出される熱によって発電する熱電モジュール（３４，６４）を備えるスプルーブシュ（３０，６０）と、前記熱電モジュールで発電された電力を用いて冷却を行う冷却モジュール（５０）を備える金型部材（２８）と、を有する射出成形用金型。 （もっと読む）

【課題】露光時の走査方向の違いによって生じるスキャン精度の差異を求めることが可能
な表面検査装置を提供する。
【解決手段】露光によって作製されたパターンを有するウェハを照明光で照明する照明系
２０と、パターンで反射した照明光を検出する受光系３０および撮像装置３５と、撮像装
置３５により撮像されたウェハの回折画像からパターンの線幅を求め、走査方向によるパ
ターンの線幅の差を求める検査部４２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】流体の温度情報を比較的小さいドリフトで、かつ比較的高い分解能又は速い応答速度で計測できるようにする。
【解決手段】温度計測ユニット６４は、空気Ａ５中に配置される測温抵抗体部５１Ａを有する温度センサ５３Ａと、空気Ａ５中に配置される測温抵抗体部５４Ａを有し温度センサ５３Ａと異なる特性を持つ温度センサ５６Ａと、温度センサ５３Ａの出力の低周波成分を抽出するローパスフィルタ部５７と、温度センサ５６Ａの出力の高周波成分を抽出するハイパスフィルタ部５８と、ローパスフィルタ部５７の出力とハイパスフィルタ部５８の出力とを加算する加算部５９と、を備える。 （もっと読む）

【課題】光学性能の劣化が防止されたレンズ鏡筒を提供する。
【解決手段】本発明のレンズ鏡筒１００は、メインガイドバー１４１及びサブガイドバー１４２で懸架されるベース枠２１０と、防振レンズＬ４を保持するとともに、ベース枠２１０に対して互いに直交する２方向に移動可能な防振レンズ保持枠２２０と、防振レンズ保持枠をベース枠に対して２方向のそれぞれに移動させる第１ボイスコイルモータ２５０Ｙ及び第２ボイスコイルモータ２５０Ｘと、を有する防振ユニット２００を備え、第１ボイスコイルモータ及び第２ボイスコイルモータは、防振ユニットにおける、メインガイドバーとサブガイドバーとを通る第１直線の一方の側に配置され、第１ボイスコイルモータは、第１直線と、該第１直線と直交し且つレンズの中心を通る第２直線と、で４分割された領域のうちの第１領域における、第２直線よりも第１直線に近い位置に配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ゴーストやフレアをより低減させ、良好な光学性能を有する撮影レンズ、この撮影レンズを有する光学機器、及び、撮影レンズの製造方法を提供する。
【解決手段】撮影レンズＳＬは、物体側より順に、正屈折力の第１レンズ群ＧＦと、正屈折力の第２レンズ群ＧＲとを有し、第１レンズ群及び第２レンズ群は、無限遠から近距離物体へ合焦する際に、光軸に沿って移動するとともに、移動する区間の少なくとも一部において、第１レンズ群と第２レンズ群との移動量が異なるように移動し、第２レンズ群は、正屈折力の第１レンズＬ２１と負屈折力の第２レンズＬ２２とが貼り合わされた接合レンズＧ７を有し、所定の条件式を満足し、第１レンズ群および第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に、ウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含む反射防止膜が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】支持球が漏れなく組み込まれていることを容易に確認できるブレ補正ユニット等を提供する。
【解決手段】
第１接触面（２１ａ，２７ａ）を備える第１受け部（２１,２７）を有し、像ブレを補正するために光軸（α）と交差する方向に移動する可動部（２０，２６）と、前記第１接触面に対向する第２接触面（１１ａ,１７ａ）を備える第２受け部（１１,１７）を有し、前記可動部を前記光軸と交差する方向に相対移動可能に保持する保持部（１０，１６）と、前記第１接触面と前記第２接触面の間に回転可能に挟持される複数の支持球（３１）と、を有し、前記第１受け部及び前記第２受け部の少なくとも一方は、透明な材料で形成されていることを特徴とするブレ補正ユニット。 （もっと読む）