説明

株式会社日本製鋼所により出願された特許

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【課題】射出成形機と成膜装置のそれぞれを高い稼働率で稼動させて、高均質の薄膜を有する成形品を安価に製造する製造方法を提供する。
【解決手段】射出成形機(4)で成形した成形品(1)を第1の搬送装置(14)によってテンポラリーステージ(12)に搬送する。射出成形工程を繰り返してテンポラリーステージ(12)では射出成形工程の複数回に相当する成形品(1)をプールする。第2の搬送装置(15)はテンポラリーステージ(12)上にプールされている全成形品(1)を一括で成膜装置(5)に搬送する。成膜装置(5)において成形品(1)を成膜し、第3の搬送装置(16)によって成形品(1)を外部に搬送する。成膜工程の実施中に、引き続き射出成形工程を実施する。 (もっと読む)


【課題】成膜用ワークを、その成膜面に成形痕あるいは取出痕が付かないように成形して取り出し、高均質の薄膜を成膜する方法を提供する。
【解決手段】射出成形により成形した成膜用ワーク(W1)を取り出すとき、成膜用ワークの成膜面(M1)が可動側金型(5)に残るように型を開き、型を開くことにより露出した非成膜部(M’1)を吸着して前記可動側金型(5)から取り出す。このとき、成膜用ワーク(W1)の縁部と、該縁部が付着している可動側金型(5)のパーティング面(P)との間に圧縮空気(24、24)を吹き付け、真空吸着力を破壊して剥離する。 (もっと読む)


【課題】レーザ照射処理が行われる処理雰囲気を短時間で安定化するとともに、安定化された処理雰囲気を容易に維持することができるレーザ処理装置を提供する。
【解決手段】被処理体が収容され、該被処理体に対するレーザ照射処理がなされる処理室2と、処理室2内にガスを給気する給気ライン3と、給気ライン3に設けられ、給気ライン3における給気を調整するMFC6と、処理室2内からガスを排気する排気ライン4と、排気ライン4における小流量排気ライン4bに設けられ、排気ライン4における排気を調整する自動調整バルブ7と、処理室2内の圧力を測定するデジタル差圧計5と、デジタル差圧計5の測定結果を受け、該測定結果に基づき、MFC6と自動調整バルブ7とを制御して、処理室2内の圧力を調整する制御部14とを有している。 (もっと読む)


【課題】コンパクトで使い勝手が良く、イニシャルコストもランニングコストも安い真空成膜装置を提供する。
【解決手段】成膜チャンバ(2)内に、ワークホルダ(10)と、マグネトロン電極(15)とを設ける。マグネトロン電極(15)には、第1のターゲット材料(16)を設け、これに重ね合わせるように第2のターゲット材料(17)を設ける。第2のターゲット材料(17、17)は第1のターゲット材料(16)をカバーする位置と、開放する位置の2位置を採ることができるようにする。ワークホルダ(10)と、第1、2のターゲット材料(16、17)との間には、直流電圧と高周波電圧とが選択可能に印加されるようにする。 (もっと読む)


【課題】車両同士が直線状のレール上に配置されているときも、曲がったレール上に配置されているときにも人手に頼ることなく、安全に連結することができる連結装置を提供する。
【解決手段】連結装置(1)を連結器(2)、弾性変形緩衝器(3)、揺動機構(6)、塑性変形緩衝器(7)、胴受機構(9)、等から構成する。胴受機構(9)は、車両(T)側に固定的に設けられている取付部材(B)に対して回転可能に設けられている回転継手(33)と、この回転継手(33)の一対の接続端部(37、37)に接続されているダンパ(34、34)とから構成する。ダンパ(34、34)他方の端部は、弾性変形緩衝器(3)の所定の部材に接続する。 (もっと読む)


【課題】ターゲットの損傷を防止しつつ、高品質の成膜を実現することができるスパッタ装置を提供する。
【解決手段】内部に配置された基板13にスパッタによる成膜を行う成膜室1と、成膜室1内に配置されたターゲット2a、2bの前面側にプラズマを生成するための電源5と、閉じ込め磁場を生成する永久磁石8a、8bと、成膜室1内に配置されたターゲット2a、2bの周縁部を覆うリングプレート6a、6bとを備え、リングプレート6a、6bは、少なくとも表層部が例えばセラミックスなどの絶縁材料で構成されており、異常放電の原因および発塵源となるスパッタ粒子が、非エロージョン領域でターゲット上に堆積するのを防止でき、ターゲットの損傷を防止しつつ高品質の成膜を実現する。 (もっと読む)


【課題】スタンパのコスト低減の要請に応得ることができ、ナノサイズの微細構造体やアスペクト比の高い微細構造体の製造に好適に使用することができる転写成形金型を提供する。
【解決手段】本発明に係る転写成形用金型は、微細構造を有するスタンパに溶融樹脂を押圧又は塗布し、冷却固化させてその微細構造が転写成形された微細構造体を成形する転写成形用金型であって、前記スタンパと、そのスタンパと周囲に所定のスキマをもって該スタンパを金型本体に保持固定するスタンパ固定部材と、前記スキマを詰める充填部材と、を有する。 (もっと読む)


【課題】製造コストを削減するとともに製造期間を短縮することができ、かつ比較的低温の気体を圧縮する場合においても吸気室の気密性を確保することができる往復動圧縮機を提供する。
【解決手段】圧縮室2a内でピストン3を往復動させて圧縮室2a内の気体を圧縮する往復動圧縮機21であって、圧縮室2a、および圧縮室2aに連通された吸気室5の間の連通部を開閉する開閉弁7と、吸気室5の外壁面に固定され、吸気室5の内外への熱の移動を抑制する断熱部材20と、断熱部材20および吸気室5の壁を貫通して設けられ、開閉弁7の開閉を行う作動軸16と、を備える往復動圧縮機21に係る。往復動圧縮機21は、断熱部材20の、作動軸16が貫通している貫通穴内に設けられ、該貫通穴と作動軸16との間の隙間を閉塞するシール部材19をさらに備えている。 (もっと読む)


【課題】成膜用ワークの形状、構造に拘わらず、成膜室に搬入すると、直ちに成膜動作に入ることができる成膜方法を提供する。
【解決手段】成膜用ワーク(W)を射出成形するときに、該成膜用ワークを成膜室(11)内に搬入して成膜台(12)に載置すると、その成膜面あるいは成膜部(A’、B’、C’)がターゲット材料(14)と対面する所定姿勢に保持するアシスト部材(1、2)を成膜用ワーク(W)と一体的に成形し、これを成膜室(11)に搬入して成膜する。 (もっと読む)


【課題】高い突刺し強度等を有するセルロースナノファイバー入りポリオレフィン微多孔延伸フィルムの製造方法、セルロースナノファイバー入りポリオレフィン微多孔延伸フィルム及び非水二次電池用セパレータの提供。
【解決手段】セルロースナノファイバー入りポリオレフィン微多孔延伸フィルムの製造方法は、少なくともセルロースナノファイバーとポリオレフィン樹脂を溶融混練して前記セルロースナノファイバーをポリオレフィンに分散させる第1工程、前記第1工程で得られた混練物から水分を除去する第2工程、前記セルロースナノファイバーとポリオレフィンに可塑剤を混合し溶融混練してポリオレフィン樹脂組成物を得る第3工程、前記ポリオレフィン樹脂組成物を押出成形する第4工程、前記第4工程で得られた押出成形体を延伸しフィルム化する第5工程、前記フィルム中から可塑剤を抽出する第5工程からなる方法によりなる。 (もっと読む)


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