【課題】本発明はＥＰＭＡ(電子プローブマイクロアナライザ)におけるＸ線像データ処理方法及び装置に関し、異なるシーケンスで取得し位置ずれが存在しているＸ線像データ同士であっても、相関演算処理を正確に行なうことができるようにすることを目的としている。
【解決手段】 ＥＰＭＡを用いて試料の同一領域について異なるタイミングでそれぞれＸ線像のデータを取得して記憶する場合において、各タイミングで前記領域について２次電子又は反射電子検出に基づく電子像データを併せて取得して記憶し、異なるタイミングで取得した電子像データを比較して位置ずれ量を算出し、算出した位置ずれ量に基づき、前記異なるタイミングで得た各Ｘ線像データに対して、各Ｘ線像データに共通して存在する領域を切り出す処理を施すことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
絞りホルダの絞りを隔壁の電子ビーム通過口に密着させると共に、絞りホルダ移動による微粉末発生を抑える。
【解決手段】
本発明の電子顕微鏡用絞り機構は、絞りを保持する絞りベースと、該絞りベースを保持すると共に絞りが電子ビーム通過口に一致する位置と外れる位置とに選択的に配置されるよう、隔壁に沿って移動可能に設けられる絞りホルダと、該絞りホルダの周囲に移動方向に沿って配置される凹凸部を有するレールとから構成される。前記絞りベースは前記レールと接する上下ローラを備え、前記絞りホルダは、前記絞りホルダに対して独立に前記絞りベースが前記電子ビーム通過口との距離が変わる方向に移動可能に前記絞りベースを支持し且つ前記絞りベースを前記電子ビーム通過口から離れる方向に付勢する絞りベース付勢手段を備える。前記レールは、絞りが電子ビーム通過口に一致する位置で電子ビーム通過口を塞ぐように前記ローラに力を与える凹凸部を有する。 （もっと読む）

【課題】容易に荷電粒子ビームの軸合わせができる荷電粒子ビームの軸合わせ方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビームの軸合わせ方法は、試料上における荷電粒子ビームの入射方向での焦点位置、第１アライメントコイルの励磁電流、および第２アライメントコイルの励磁電流を制御して、少なくとも第１〜第６画像データを取得する画像データ取得工程（Ｓ１０）と、少なくとも前記第１〜第６画像データから、荷電粒子ビームの軸合わせのための第１アライメントコイルの励磁電流値および第２アライメントコイルの励磁電流値を算出する演算工程（Ｓ１１〜Ｓ１３）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は試料ホルダの排気方法及び装置に関し、大気暴露を確実に防止したままで鏡筒に試料を挿入することができる試料ホルダの排気方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】試料を顕微鏡の鏡筒に挿入する試料ホルダシステムにおいて、真空排気シーケンスを制御するための排気制御手段を設け、該排気制御手段により前記気密室の気圧が一定の状態で、ゴニオメータ内を真空引きしてその内部が所定の低真空状態になるまで排気し、その内部が所定の低真空状態になったら、前記排気制御手段により前記気密室の仕切り弁を開いて気密室を前記低真空状態にし、その後、前記排気制御手段により前記ゴニオメータ及び気密室を高真空状態にし、その後、試料をゴニオメータの先端部まで移送して鏡筒に試料ホルダを挿入するように構成する。 （もっと読む）

【課題】分析部で選択イオンを変更するタイミングの制御を容易化することができる質量分析装置を提供すること。
【解決手段】蓄積部２０は、イオン源１０で生成されたイオンを蓄積し、蓄積したイオンをイオンパルスとして排出し、第１分析部３０は、蓄積部２０が排出するイオンパルスから、質量電荷比に基づいて第１の目的イオンを選択し、コリジョンセル３０は、第１の目的イオンの一部又は全部を開裂させてプロダクトイオンを生成し、第２分析部５０は、第１の目的イオン及びプロダクトイオンから、質量電荷比に基づいて第２の目的イオンを選択し、検出器６０は、第２の目的イオンを検出する。制御部９０は、第１分析部３０では質量が大きい第１の目的イオンほど光軸方向の運動エネルギーを高くし、第２分析部５０では質量が大きい第２の目的イオンほど光軸方向の運動エネルギーを高くするように制御する。 （もっと読む）

【課題】様々な入力信号に対応し、短時間で入力信号を処理することが可能な、信号処理方法、及び信号処理装置を提供すること。
【解決手段】サンプル画像に基づき生成されたフィルタと、該サンプル画像のパワースペクトルとを対応付けて格納する格納部２０と、入力画像のパワースペクトルを算出し、格納部２０に格納された複数のパワースペクトルのうち、算出されたパワースペクトルに近似するパワースペクトルを選択し、格納部２０に格納された複数のフィルタのうち、選択されたパワースペクトルに対応するフィルタを選択するフィルタ選択部３０と、入力画像に対して、選択されたフィルタを用いてコンボリューション処理を行うコンボリューション処理部４０とを含む。 （もっと読む）

【課題】稼働率が向上する検体ホルダ搬送装置を提供することを課題とする。
【解決手段】第２搬送路５７で搬送される検体ホルダ５１の前後の向きを検出する方向検出手段９３を設け、制御部は、方向検出手段９３の検知結果を取り込み、検体ホルダ５１の向きが正しい場合には、検体ホルダ回転機構５９を正方向に回転させ、検体ホルダ５１の向きが間違っている場合には、検体ホルダ回転機構５９を検体ホルダ５１の向きが正しくなるように逆方向に回転させる。 （もっと読む）

【課題】装置を大型化および複雑化させることなく、処理能力を向上できる自動分析装置を提供する。
【解決手段】自動分析装置１００は、第１反応セル２において、前処理液によって検体の前処理を行うことにより前処理検体を作成する第１処理を行い、第２反応セル２において、前処理検体を試薬と反応させて反応検体を作成する第２処理を行い、前記制御手段１０は、ターンテーブル４を第１方向Ａに第１角度だけ回転させて停止させる第１制御と、ターンテーブルを第２方向Ｂに第２角度だけ回転させて停止させる第２制御と、を繰り返し行い、第２反応セル２は、第１反応セル２よりも第１方向Ａに第２角度だけ離れた位置に配置され、ターンテーブル４は、第１制御および第２制御が繰り返されることによって、第１反応セル２および第２反応セル２が、少なくとも第１ポジションＰ１、第２ポジションＰ２、および第３ポジションＰ３に停止するように回転する。 （もっと読む）

【課題】重合体を構成する多種の構成単位の組成分布を、同時にかつより正確に測定できる方法を提供する。
【解決手段】質量分析装置を用いて、ピーク半値幅が０．１Ｄａ以下となる条件で、重合体の質量分析を行う質量分析工程と、得られた質量スペクトルにおいて、末端基の組成が共通し、かつ末端基以外の構成単位の組成が共通する成分毎に、対応するピークを特定するピークピック工程を有する、重合体の測定方法。 （もっと読む）

【課題】 試料片を保持している試料支持体からの反射電子や散乱電子が試料片に当たり難くする試料保持方法を提供する。
【解決手段】 試料素材１に集束イオンビーム２を照射して試料片４を切り出す工程と、切り出された試料片４をマニピュレータの先端部に取付けられたプローブ５の先端部に付着させ、ピックアップする工程と、試料素材１に換えて電子顕微鏡用試料ホルダーにセットされる試料支持部材７を集束イオンビーム装置の試料載置台にセットする工程と、プローブ５の先端部に付着された試料片４が試料支持部材７から離れた空間部に位置して、プローブ５の一部が試料支持部材７に接触する様にプローブ５を移動させる工程と、その接触部でプローブ５の一部を試料支持部材７に付着させる工程と、及び、その接触部よりプローブ５の根元側の部分を切断する工程から成る。 （もっと読む）