日本電子株式会社により出願された特許

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【課題】荷電粒子ビーム描画装置の稼働率の低下を抑える。
【解決手段】外部処理装置の近接効果補正演算において、事前に近接効果補正演算を行うと共にショット分割も行い、ショット分割データと近接効果補正演算の結果に基づいて、1ショット毎の近接効果補正値を描画する順番に並べたショット順補正値データを作成する手段を設けた。 (もっと読む)


【課題】試料に断面を形成した後、試料ステージの移動等の動作を行うことなく、直ちに当該断面についての断面情報を取得することのできる試料解析装置を提供する。
【解決手段】電子ビーム鏡筒7と、イオンビーム鏡筒17と、制御手段25,23とを備え、イオンビーム15の照射により試料9が切削加工され、これにより露出された試料9の断面を解析対象面として該断面に電子ビーム5を照射し、これによる試料9の断面情報を検出する試料解析装置において、電子ビーム5の光軸6に直交する面に対して所定の傾斜角度となる断面が試料9に形成されるように、試料9へのイオンビーム照射時におけるイオンビーム走査のスキャンローテーション量が制御部25,23により設定可能とされ、該スキャンローテーション量に基づくイオンビーム走査により試料9に形成された断面に対して正面側に、試料9の断面情報を検出するための検出器9が配置されている。 (もっと読む)


【課題】透過電子顕微鏡像の観察時に試料が受ける磁場の影響を低減することができる透過電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】透過電子顕微鏡100は、電子線源2と、照射レンズ4と、対物レンズ6と、第2対物レンズ8と、制限視野絞り16と、投影レンズ10と、検出器12と、少なくとも照射レンズ4、第2対物レンズ8、および投影レンズ10を制御する制御部と、を含み、第1面17は、第2対物レンズ8と投影レンズ10との間に位置し、制御部22は、試料Sに電子線Lが照射されるように照射レンズ4を制御し、試料Sの回折パターンが第1面17に結像されるように第2対物レンズ8を制御し、第2対物レンズ8で結像された試料Sの透過電子顕微鏡像が第2面(受光部13)に結像されるように投影レンズ10を制御する第1処理を行う。 (もっと読む)


【課題】 エネルギー分散型X線検出器において、試料上への電子線照射により発生したX線の検出効率を上げるとともに、S/Nの良いX線信号検出することを目的とする。
【解決手段】X線を検出する半導体検出素子と、前記半導体検出素子を収容し、真空雰囲気に保持するための検出器チャンバと、検出器チャンバのX線導入するための開口部を封止するように配置されるX線を透過する薄膜と、前記薄膜を検出器チャンバ内側から支持する補強部材からなる検出器において、前記補強部材は、間隔を置いて平行配置された複数のリブ状部材から構成される間隙を持つと共に、前期複数のリブ状部材に永久磁石を組み込むことにより、又はリブ状部材を永久磁石で構成することにより前記複数のリブ状部材間に磁場を発生させるようにしたことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】大量の放射線が入射されてもリセットダイオードの破壊を防ぐことで、リセットダイオードの保護を目的としてX線の入射量に制限を設ける必要がない放射線分析装置及び放射線検出装置のリセット方法を提供すること。
【解決手段】放射線検出装置30は、入射した放射線に応じて半導体検出器31が発生させた電荷をフィードバックコンデンサー32にチャージすることにより、入射した放射線のエネルギーに応じた電圧レベルの信号を出力する。リセット回路46は、コンデンサー32にチャージされた電荷を、リセットダイオード34を介してディスチャージするためのリセットパルスを出力する。入力計数率カウンター45は、放射線検出装置30の出力信号に基づいて、所定時間あたりに放射線検出装置30に入射する放射線の数である入力計数率をカウントし、当該入力計数率のカウント値に基づいて、リセット回路46にリセットパルスの出力を停止させる。 (もっと読む)


【課題】試料冷却温度とステージ停止位置精度を保ったまま、ステージ移動可能な範囲を広げることができる試料冷却装置を提供する。
【解決手段】真空に維持される試料室と、試料室内に配置される移動ステージと、移動ステージ上に熱的に遮断された状態で取り付けられた試料ホルダ固定台と、前記試料ホルダ固定台上に脱着可能に装着され、試料を保持するための試料ホルダと、移動ステージと周囲の試料室の側壁の間に設けられ、試料を冷却するための冷媒を収容する冷却槽と、前記冷却槽に収容された冷媒と前記試料ホルダ固定台との間で熱交換するための冷熱伝導体と、冷却槽に収容された冷媒を冷却する冷却装置とを備え、前記冷熱伝導体は、試料ホルダ固定台に固定された一端と、自由端である他端を有し、その自由端が冷却槽の開口部を介して冷媒内に浸漬され、前記移動ステージの移動と共に、自由端が冷媒に浸漬されつつ前記開口部内で移動されることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】個人差を生じさせずにROI範囲を設定して検量線を算出することが可能な、検量線算出方法、及び情報処理装置を提供すること。
【解決手段】測定スペクトル上のROI範囲を設定するROI範囲設定工程と、設定されたROI範囲の積分強度を前記測定スペクトルごとに算出し、算出した積分強度に基づき最小二乗法により検量線を算出する検量線算出工程と、前記積分強度と前記検量線との誤差を算出する誤差算出工程とを含み、前記ROI範囲設定工程において、前記測定スペクトル上のROI範囲を変更し、変更後のROI範囲に基づき算出される前記誤差が最小となるROI範囲を決定する。 (もっと読む)


【課題】様々な入力信号に対応し、短時間で入力信号を処理することが可能な、信号処理方法、及び信号処理装置を提供すること。
【解決手段】サンプル画像に基づき生成された第1フィルタと該サンプル画像のパワースペクトルとを対応付けて格納する第1フィルタ格納部20と、サンプル画像に基づき生成された第2フィルタと該サンプル画像のSN比とを対応付けて格納する第2フィルタ格納部22と、入力画像のパワースペクトルに基づき第1フィルタを選択する第1フィルタ選択部30と、入力画像のSN比に基づき第2フィルタを選択する第2フィルタ選択部32と、第1フィルタと第2フィルタを加算して第3フィルタを生成する第3フィルタ生成部50と、入力画像に対して、生成された第3フィルタを用いてコンボリューション処理を行うコンボリューション処理部40とを含む。 (もっと読む)


【課題】従来よりも装置構成を簡易化できると共に装置製造コストを低減することができ、さらには装置調整の手間を軽減することが可能になる、部品供給装置を提供すること。
【解決手段】
複数の部品を貯留する機構であって、当該貯留した複数の部品の中から当該部品を一個ずつ取り出し、当該取り出した部品を当該機構の外部に排出する貯留取り出し機構20と、この貯留取り出し機構20にて外部に排出された部品を、所定方向に整列する整列機構60とを備える。整列機構60は、貯留取り出し機構20にて排出された部品を滑降させる滑降部61と、この滑降部61を滑降した部品を所定方向に整列する整列部62とを有する。 (もっと読む)


【課題】回折線による分析精度の低下を抑制することができる蛍光X線分析装置を提供する。
【解決手段】蛍光X線分析装置100は、スペクトルから、二次X線ピークを抽出する二次X線ピーク抽出部12と、抽出された前記二次X線ピークのエネルギー幅を算出する二次X線ピーク幅算出部13と、抽出された前記二次X線ピークのエネルギー値における蛍光X線ピークのエネルギー幅の情報を取得する蛍光X線ピーク幅情報取得部14と、二次X線ピーク幅算出部13が算出した前記二次X線ピークのエネルギー幅が、前記二次X線ピークのエネルギー値における蛍光X線ピークのエネルギー幅よりも大きい場合に、抽出された前記二次X線ピークを回折線ピークと判定する回折線ピーク判定部15と、を含む。 (もっと読む)


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