【目的】周囲雰囲気の影響をなくし、また点灯中における発光管の破損が生じてもその破片が飛散しないようにすることを目的とする。
【構成】反射鏡９と一体となった発光管１を備え、前記反射鏡９の前面にガラス板12を配設したメタルハライドランプ。 （もっと読む）

【目的】 フォトマスクの裏面を数箇所で支持し、真空吸着で固定する方式のマスクホルダーでは、マスクの自重によるたわみや、マスク自体の持つ凹凸により、マスク上に形成されたパターンの位置はマスク上方からみたとき変化する。このため、パターン位置座標や長寸法の測定誤差が生じる。本発明は、このマスクのたわみや凹凸をなくすことのできるマスクホルダーを提供する。
【構成】 マスク３の裏面全体が密着される大きさの基準平面をもち、この平面内にマスク３を真空吸着するための吸着孔２を支持台１に複数個設けて、この基準平面にマスク３の裏面全体を密着させる構造を有するマスクホルダーである。 （もっと読む）