説明

三菱マテリアル株式会社により出願された特許

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【課題】 複共振化した各共振周波数のフレキシブルな調整が可能で、小型化や薄型化が可能なアンテナ装置用基板及びアンテナ装置を提供すること。
【解決手段】 基板本体と、基板本体にそれぞれ金属箔でパターン形成された第1〜第4エレメントEL1〜EL4及びグランド面GNDとを備え、第1エレメントEL1が、基端に給電点FPが設けられていると共にアンテナ素子ATを有して延在し、第2エレメントEL2が、第1エレメントに基端が接続されて延在し、第3エレメントが、基端に給電点が接続されて延在し、第4エレメントが、第3エレメントに基端が接続されて延在し、第1エレメントから第4エレメントまでの各エレメントが、隣接するエレメント同士間の浮遊容量と、グランド面との間の浮遊容量とをそれぞれ発生可能に、隣接するエレメント及びグランド面に対して間隔を空けて延在している。 (もっと読む)


【課題】被処理基板に面内均一なプラズマ処理を行わせることができるとともに、プラズマの逆流を確実に防止して冷却板の損傷及び被処理基板の汚染を防ぐことができるプラズマ処理装置用電極板を提供する。
【解決手段】厚さ方向に貫通する複数の通気孔11が設けられるとともに、各通気孔11は、放電面21に開口する噴出側孔部22と、その反対面に開口する導入側孔部23とを厚さ方向の中間部で連結してなり、噴出側孔部22は、導入側孔部23との連結部24から放電面21に向かうにしたがって相互に離間する方向に傾斜する複数の細孔25により構成され、導入側孔部23は、連結部24における横断面積と同じか又はそれより小さい横断面積を有し、各細孔25の長さ方向に対して交差する方向に形成されている。 (もっと読む)


【課題】長期間の使用にわたって、すぐれた耐摩耗性を発揮する合金鋼製エンドミル、表面被覆合金鋼製エンドミルを提供する。
【解決手段】 質量%で、C:2.0〜3.0%、Si:3.0〜6.0%、Cr:9.0〜15.0%、WおよびMoのうちの1種または2種の合計:10.0〜12.0%、V:2.0〜3.0%、Co:3.0〜4.0%、残部はFeおよび不可避不純物からなる高温焼戻し軟化抵抗性を有する合金鋼で工具基体を構成した合金鋼製エンドミル、表面被覆合金鋼製エンドミル。 (もっと読む)


【課題】 短時間での合成が可能で、合成後に含フッ素N−アルキルスルホニルイミド化合物の回収が容易な含フッ素N−アルキルスルホニルイミド化合物の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 一般式(1):(RfSONH(式中、Rfは、F又は炭素数1〜4のペルフルオロアルキル基である)で表される含フッ素スルホニルイミド酸、又は一般式(2):(RfSON・M(式中、Mは、Li、Na又はKである)で表される含フッ素スルホニルイミド酸塩を、一般式(3):Rf’SOR(式中、Rf’は、炭素数1〜4のペルフルオロアルキル基であり、Rは、炭素数1〜4のアルキル基である)で表されるペルフルオロアルキルスルホン酸エステルと反応させることを特徴とする、一般式(4):(RfSONRで表される含フッ素N−アルキルスルホニルイミド化合物の製造方法である。 (もっと読む)


【課題】 複数のアンテナエレメントに効果的に高周波電流を流すことができると共に、周辺部品の影響を抑制することができるアンテナ装置を提供すること。
【解決手段】 基板本体と、基板本体にパターン形成されたグランド面GNDと複数のアンテナエレメントEL1〜EL4とを備え、複数のアンテナエレメントが、給電点FPから互いに別の2方向に向けて延在する第1延在部E1及び第6延在部E6のいずれかに分かれてこれらに接続され、基端がグランド面に接続されていると共に先端が第1延在部の途中に接続された第1グランド接続部と、基端がグランド面に接続されていると共に先端が第6延在部の途中に接続された第2グランド接続部と、第1基端部と第2基端部とを連結して延在する連結パターンL1とを備え、給電点の近傍に、連結パターンと第1延在部と第6延在部との間で環状の開口パターン部S1が形成されている。 (もっと読む)


【課題】高硬度材を旋削加工する場合においても、すくい面のクレータ摩耗による被削材の仕上げ面粗度の劣化を十分に抑制することが可能な切削インサートを提供する。
【解決手段】インサート本体1の多角形状をなすすくい面2の辺稜部に、すくい面2の角部に円弧状のコーナ刃7Aを有する切刃7が形成されており、このすくい面2には、コーナ刃7Aの突端Pからすくい面2の内側に向かう途中ですくい面2が低くなる段差部2Bが、コーナ刃7Aに交差するように形成されている。 (もっと読む)


【課題】プラズマの逆流を抑制して冷却板の損傷を防ぐことができるとともに、被処理基板に面内均一なプラズマ処理を行わせることができるプラズマ処理装置用電極板を提供する。
【解決手段】電極板3は、プラズマ処理装置1内においてウエハ8(被処理基板)と対向配置されるプラズマ処理装置用電極板であって、厚さ方向に貫通する通気孔11が複数設けられてなり、その通気孔11は、ウエハ8と対向する放電面30a側に、厚さ方向に対して斜めに形成された傾斜孔部21を有し、放電面30aには、傾斜孔部21の開口端部を切り欠く凹部23が形成されており、傾斜孔部21の傾斜方向に沿う断面において、その傾斜孔部21の180°対向する二つの周縁21A,21Bと傾斜孔部21に交差する凹部23の切欠面24とのなす角度が、両周縁部で同じ角度に設定されている。 (もっと読む)


【課題】緻密な薄膜の成膜を可能にして、薄膜の耐チッピング性を向上させることができるアークイオンプレーティング装置を提供する。
【解決手段】アークイオンプレーティング装置1は、蒸発源5が載置される陰極の背面中央に設けられる中央磁石15と、ワーク3の背面に設けられる補助磁石17とを備え、中央磁石15と補助磁石17とは、異なる極を対向させて配置され、ワーク3の成膜面の磁束密度が1mT以上14mT以下となるように設定されている。 (もっと読む)


【課題】 本発明は、シリコーン樹脂と相溶性がよく、帯電防止が可能な導電性を有するシリコーン化合物を提供することを目的とする。
【解決手段】 ―(CHW(CHNRR’R”・A(式中、R、R’及びR”は、同一又は異なってもよく、水素、メチル基、エチル基又はプロピル基であり、Aは、炭素数が1〜4のペルフルオロアルキル基を有するペルフルオロアルカンスルホン酸若しくはビス(ペルフルオロアルカンスルホン)イミド、又はビス(フルオロスルホン)イミドを表し、Wは、NH、O又は単結合であり、m及びpは1から10の整数である)で表されるアンモニウム基を少なくとも一つ含む特定のシリコーン化合物塩である。 (もっと読む)


【課題】鋳鉄の高速断続切削加工において、すぐれた耐塑性変形性、耐チッピング性を発揮する表面被覆WC基WC基超硬合金製切削工具を提供する。
【解決手段】WCを硬質成分として含有し、また、Coを少なくとも結合相成分として含有するWC基超硬合金を工具基体とし、該工具基体表面に、硬質被覆層(例えば、Ti化合物層からなる下部層と、酸化アルミニウム層からなる上部層)を被覆形成した表面被覆WC基超硬合金製切削工具において、上記工具基体の表面から10〜100μmの深さ領域の結合相中の平均酸素含有量は5000〜10000ppmとすることによって高速断続切削における耐塑性変形性、耐チッピング性を改善し、一方、上記工具基体の表面から10μmまでの表層領域および100μmを超える内部領域における結合相中の平均酸素含有量は2000ppm以下とすることによって工具基体の靭性を確保する。 (もっと読む)


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