【課題】被測定対象物のレーザスペックル画像を得る装置において、被測定対象物の材質などに起因するスペックル画像の画質低下を可及的に抑制する。
【解決手段】被測定対象物(20)表面の観察領域(21)に向けてコヒーレント光を投光する投光部(10)と、被測定対象物表面の観察領域で拡散反射した上記コヒーレント光を受光する受光部(30)と、被測定対象物表面から受光部以外の方向に伝播するコヒーレント光を被測定対象物表面の観察領域に戻す反射部(41)と、受光部における受光状態に基づいて被測定対象物の状態を検出する検知部(50)と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ベースと本体が着脱可能な制御装置を複数隣接して配置した制御ユニットについて配線したケーブルによるストレスから制御装置間において互いが反発する向きに力が発生しても制御装置間に隙間が生じない制御装置を提供する。
【解決手段】ベースと本体とからなり、ＤＩＮレールに前記ベースが取り付けられている状態で前記本体を回動することにより前記本体のみを着脱可能な制御装置であって、前記本体において前記回動の回動軸から最も遠い位置にあるふたつの頂点のうち一方に第１の鉤爪を備え、他方に隣接する制御装置の前記第１の鉤爪と嵌合する第１の嵌合溝を備えるようにしたので、配線したケーブルによるストレスから制御装置間において互いが反発する向きに力が発生しても制御装置間に隙間が生じない。 （もっと読む）

【課題】複数種類の物理量を測定するセンサに好適な計測装置のインタフェース装置を提供する。
【解決手段】複数の容量型センサの各出力が供給されるべき入力部(10)と、供給される切替指令信号に応じて上記入力部に供給される複数の容量型センサのいずれかの出力を選択するセンサ選択部(21)と、選択された容量型センサの出力をデジタル値に変換する信号変換部(22)と、デジタル値を含む伝送可能な電気信号を形成する出力部(23)と、を備える。 （もっと読む）

【課題】正確に調整可能な形状計測装置を提供する。
【解決手段】第１の光を発する第１の発光部１１、及び第２の光を発する第２の発光部１２と、第１の光及び第２の光を受ける格子３と、平坦な基板が配置されるステージ１４と、格子３を透過した第１の光を第１の入射角で基板表面に入射させ、格子３を透過した第２の光を第２の入射角で基板表面に入射させる投影光学系５と、第１の光による基板表面の格子３の第１の変形像、及び第２の光による基板表面の格子３の第２の変形像に基づき、基板表面の高さ方向の位置を算出する高さ算出部と、基板表面の高さ方向の位置が投影光学系５の焦点位置と一致するよう、ステージ１４を移動させる移動装置１５と、を備える、形状計測装置。 （もっと読む）

【課題】ステップ応答制御においてエネルギー使用量が一定値を大幅に超えないように、かつ設定値への追従特性が損なわれないようにする。
【解決手段】電力総和抑制制御装置は、各制御ループの操作量を特定の値にした場合の昇温時間を推定する昇温時間推定部（１２）と、各制御ループの制御量を昇温時間の間に設定値変更に応じた量だけ変化させるのに必要な出力を推定し、この必要出力から各制御アクチュエータの使用電力の総和である使用電力総量を算出し、割当総電力に対する使用電力総量の達成率と最大限度時間に対する昇温時間の確保率とのバランスを表す重み付け評価関数の評価値を最適にする必要出力の組み合わせを探索して、最終的に得られた必要出力を各制御ループの操作量出力上限値として設定する電力抑制部（１６〜１９）と、制御ループ毎に設けられた制御部（２２−ｉ）とを備える。 （もっと読む）

【課題】低いコストで、広い高さ範囲を高精度に計測可能な形状計測装置を提供する。
【解決手段】第１の光を発する第１の発光部１１、及び第２の光を発する第２の発光部１２と、第１の光及び第２の光を受ける格子３と、測定物４が配置されるステージ１４と、格子３を透過した第１の光、及び格子３を透過した第２の光の両方が透過する投影光学系５であって、第１の光を第１の入射角で測定物４表面に入射させ、第２の光を第２の入射角で測定物４表面に入射させる投影光学系５と、第１の光による測定物４表面の格子３の第１の変形像、及び第２の光による測定物４表面の格子３の第２の変形像に基づき、測定物４表面の高さの分布を算出する高さ分布算出部と、を備える、形状計測装置。 （もっと読む）

【課題】小型化を実現し、かつ、設計通りの寸法や位置に収めて製作することが容易に可能な火炎センサを提供する。
【解決手段】紫外線を検出するＵＶセンサを用いた火炎センサにおいて、ＵＶセンサが、紫外線を照射される金属体１３と、電圧を振動に変換する第１の圧電素子１１と、振動を電圧に変換し金属体１３を帯電させる第２の圧電素子１２と、金属体１３の上部にある誘電体の電圧変化を計測する測定部１８と、第１の圧電素子１１に電圧をかけるのか、第１の圧電素子１１、第２の圧電素子１２及び金属体１３を接地するのかを切り替えるスイッチ部１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】飛散する微粒子の量が正確に制御された環境を提供可能な環境提供装置を提供する。
【解決手段】試験室１と、気流の供給を受け、試験室１内部に微粒子を含む流体を噴霧する噴霧装置２と、噴霧装置２に供給される気流の流量の計測値を計測する流量計３と、計測値に基づき、噴霧装置２に供給される気流の流量を所定の値に制御する流量制御装置４と、試験室１内部に微粒子を含む流体が噴霧された時間を計測するタイマと、所定の量の微粒子が試験室１内に噴霧された後、微粒子を含む流体の噴霧を停止させる噴霧装置制御装置と、を備える環境提供装置。 （もっと読む）

【課題】微粒子検出装置を正確に評価可能な微粒子検出装置の評価システムを提供する。
【解決手段】それぞれ微粒子検出装置２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄが設置される複数の吸引口１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃ、１２０Ｄが一面に設けられた試験室１と、試験室１内部に微粒子を注入する注入装置２と、複数の吸引口１２０Ａ−１２０Ｄに沿って、試験室１内部に光シート５１を形成する光シート形成装置５０と、光シート５１によって可視化された微粒子を撮影する撮影装置７０と、を備える微粒子検出装置の評価システム。 （もっと読む）

【課題】飛散する微粒子の量が正確に制御された環境を提供可能な環境提供装置を提供する。
【解決手段】複数の微粒子検出装置２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ、２０Ｄがそれぞれ設置される複数の抗微粒子付着性配管１２０Ａ、１２０Ｂ、１２０Ｃ、１２０Ｄが設けられた試験室１と、試験室１内部に微粒子を注入する注入装置２と、を備える、環境提供装置。 （もっと読む）