【課題】処理対象基板とランプとの間に空気が流入することが抑制され、従って、処理対象基板に対して高い効率で光を照射することができる光照射装置を提供する。
【解決手段】基板搬送路に沿って搬送される処理対象基板の一面に向けて光を照射するエキシマランプが内蔵されたランプハウスと、前記処理対象基板と前記エキシマランプとの間に不活性ガスを供給するガス供給手段とを備えてなり、前記基板搬送路における前記ランプハウスの上流側に当該ランプハウスに隣接して圧力緩衝空間が形成された光照射装置であって、基板搬送路における圧力緩衝空間の上流側には、処理対象基板における光が照射される一面に沿って流れる空気を排出する空気排出手段が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】紫外線用の照度計において、測定を行いたい波長の光の照度を精度良く測定し、かつ受光器の厚さを薄くすること。
【解決手段】紫外線が入射する受光口と、この受光口から入射した紫外線を受光し受光した光の強度に応じた電気信号を送信する受光素子を備える受光器と、受光器からの信号に基づき紫外線の照度値を計算する演算部を備える本体部とを有する紫外線用の照度計において、受光器の受光口と受光素子との間に、受光口側から、拡散板と、干渉フィルタと、アパーチャ板をこの順で設ける。 （もっと読む）

【課題】チャンバにおける熱源を構成する複数の棒状ランプを介して被処理体と対向する天面部が過熱されることを抑制することができると共に、長期間にわたって高い加熱効率を安定に得ることのできる加熱装置を提供すること。
【解決手段】加熱装置は、チャンバ内に、熱源を構成する複数の棒状ランプが、一平面内において互いに離間して平行に、かつ被処理体に対向するように配置されており、前記複数の棒状ランプには、各々、被処理体とは反対側に位置する領域にセラミックス製反射膜が形成されており、当該複数の棒状ランプにおける互いに隣接する棒状ランプ同士の間には、基材にセラミックス製反射膜が形成された反射部材が配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】一対の電極が配置された発光管の両端に封止部が形成され、当該封止部内にはガラスロッドが埋設されるとともに、該ガラスロッドの表面に金属箔が配設され、該金属箔が電極に電気的に接合されてなる放電ランプにおいて、特に、フル・スタンバイ点灯される際などの封止部の温度降下時に、金属箔の収縮量が大きいことに起因してガラスロッドにクラックが生じることを防止することができる構造を提供するものである。
【解決手段】前記ガラスロッドを構成するガラス部材の熱膨張係数が、前記封止部を構成するガラス部材の熱膨張係数よりも小さいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】液体冷媒に浸漬した状態のブルー相方式の液晶パネル材料の液晶層の全面に均一な光照射を行うことができ、従って、ブルー相方式の液晶パネル材料が大型のものであっても、液晶層をむらのないブルー相状態とすることのできるブルー相方式の液晶パネルを製造することのできるブルー相方式の液晶パネル製造装置およびブルー相方式の液晶パネルの製造方法を提供すること。
【解決手段】ブルー相方式の液晶パネル製造装置は、液体冷媒に浸漬した状態の液晶パネル材料対して光を照射する紫外線光源が、当該紫外線光源と液晶パネル材料との間に液体冷媒と大気との境界面が存在しないように配置されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】陰極と陽極が発光管内で対向配置され、前記陰極の近傍に始動補助電極が配設されてなるショートアーク型放電ランプにおいて、前記始動補助電極に外力が作用しても、変形することなく陰極との位置関係が適正に保たれて、確実な始動補助が行われる構造を提供するものである。
【解決手段】前記陰極には、その後端側から先端側に軸芯方向に貫通する貫通孔が形成され、前記始動補助電極は、その根元部が前記陰極の軸部に固定されるとともに、前記貫通孔を貫通して、その先端部が貫通孔から突出して前記陰極の先端近傍にまで延在していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】発光管の内面に、封入キセノンガスの発光によって励起されて紫外光を発生する蛍光体層が形成されてなる希ガス蛍光ランプにおいて、発光管が、特にアパーチャ部分で紫外線劣化することなく、紫外光透過率の低下を招かずに照度維持率の良好な希ガス蛍光ランプを提供することにある。
【解決手段】
前記発光管と蛍光体層の間には、該発光管の全内面にガラス粉末とセラミック粉末とを含有する保護層が形成されており、前記ガラス粉末は、前記発光管を構成する石英ガラスよりも軟化点が低いガラスの粉末よりなり、前記保護層は、波長１７０ｎｍ以上の紫外光に対しては透過性を有し、波長１５０ｎｍ以下の紫外光に対しては透過性を有しないセラミックの粉末よりなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 プロジェクタなどの光学装置において使用される、キセノン放電ランプを点灯するための放電ランプ点灯装置において、陰極電極の温度が低くなるように設計されたキセノン放電ランプを点灯する際にも、
光源輝度変調のために強めの出力電流変調を加えた点灯を継続すると、次に出力電流変調を弱くしたときに発生し易い、放電不安定を回避すること。
【解決手段】 出力電流変調回路は、陰極電極の断面積１平方ミリメートルあたりのランプ電流の大きさが減少するときの変化の速さを１ミリ秒あたり２．６Ａ以下に制御するように構成する。 （もっと読む）

【課題】一対の電極を有する発光管と、金属箔が埋設された封止部と、該封止部内に挿入されて前記電極を支持する保持用筒体とからなり、前記発光管内に金属発光物質が封入され、８０−１６０Ｗの間の任意の電力範囲で定常点灯モードと待機点灯モードを切り換えて点灯するロングアーク型放電ランプにおいて、封止部内への金属発光物質の浸入による金属箔の反応溶断や、過熱による酸化溶断の恐れがない構造を提供するものである。
【解決手段】
前記電極における保持用筒体の先端から発光管内への突出長をＡ（ｍｍ）とし、前記保持用筒体の全長をＢ（ｍｍ）としたとき、
２３．５≦Ａ＋Ｂ≦２８．５
Ｂ／Ａ≦１．１１
の関係を満たすことを特徴とする。 （もっと読む）