【課題】オートフォーカス機能を用いることなく、表面平坦性の悪い基板の露光面に所望の像を精度良く結像させる。
【解決手段】基板１は基板支持部材２の上に支持される。投影光学系３と基板１との間には、剛性の光透過性部材４が配置される。光透過性部材４は、基板１の露光面１ａに対向する平面４ａを有する。平面４ａは、投影光学系３の結像面と一致するように位置付けられる。光透過性部材４の平面４ａに対して露光面１ａを密着および離反させるべく、基板支持部材２を移動させるための駆動機構５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】露光時に基板をフォトマスクに対して近接・離反させる距離を短くし、露光処理精度および作業速度を向上させる。
【解決手段】露光装置は、フォトマスク１の周縁１ａに引張力を加えるために該周縁１ａに取り付けられるアクチュエータ２を含む。アクチュエータ２は、エアシリンダ装置１３の作動により、フォトマスク１に平行な基板１６の搬送経路Ｔから遠ざかる位置へと傾動可能である。 （もっと読む）

【課題】高い生産性を維持しつつ、設備費を軽減することができる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置は、互いに隣接して且つ平行に配置された一対の露光ユニット１，２と、該一対の露光ユニット１，２のそれぞれが共用する光源手段３と、を含む。露光ユニット１，２の各々は、帯状基板４をその長手方向に沿って間欠的に送るための搬送機構５，６，７，８と、帯状基板４の搬送経路に配置された露光部９にして、少なくとも一つのフォトマスク１０を有する露光部９と、を備える。光源手段３は、フォトマスク１０に描かれたパターンを帯状基板４の露光面に転写するために、一対の露光ユニット１，２におけるそれぞれの露光部９へと交互に光を照射可能となされている。 （もっと読む）

【課題】複数の面発光素子を利用して、安価な配線で高効率発光の光源を提供する。
【解決手段】光源は、平面内に集合して並べた複数の発光モジュール１ａ、１ｂ、１ｃを含んでなる。発光モジュール１ａ、１ｂ、１ｃの各々は、平面内に集合して並べた複数の面発光素子と、該面発光素子を内部に収容するハウジングとを備える。ハウジングは、面発光素子と電気的に接続して該面発光素子へと電力を供給するための電気経路を形成する。複数の発光モジュール１ａ、１ｂ、１ｃは、複数のグループに分けられており、各グループに属する複数の発光モジュール１ａ、１ｂ、１ｃが、電気的に互いに直列に接続されて電力を供給されるようになされている。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクの交換を容易にする。
【解決手段】露光装置は、露光ステーションと作業ステーションとの間を往復移動する支持台を備える。支持台は、フォトマスク４の中央部を支持可能な中央支持領域２１と、フォトマスク４の周縁部を支持可能な周縁支持領域２２とを備えている。支持台は、作業ステーションにてフォトマスク４を中央支持領域２１および周縁支持領域２２上に受け取り、フォトマスク４を露光ステーションまで運ぶ。周縁支持領域２２は、フォトマスク４が露光位置へ動かされたときに、フォトマスク支持機構の一部９との干渉を避けるための凹所２５を備えている。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクに描かれたパターンを基板に分割露光する際に、フォトマスクと基板との密着および離反を１回で済むようにする。
【解決手段】フォトマスク４の全体領域と基板１の全体領域とをＸＹθ方向に相対移動させて位置合わせした後、両者を均一に接触させる。フォトマスク４および基板１を湾曲させることにより、フォトマスク４と基板１とを一つの分割領域について位置合わせする。Ｘシャッター３４ａ，３４ｂ，３４ｆおよびＹシャッター３６を用いて、位置合わせされた分割領域以外を覆い、位置合わせされた分割領域のみを露光する。フォトマスク４と基板１とを接触させたまま、すべての分割領域について、フォトマスク４および基板１を湾曲させることによる位置合わせと露光とを繰り返す。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクおよび基板を水平状態で重ねて露光する方式の露光装置において、フォトマスクおよびその関連部材の保守点検を容易に行えるようにする。
【解決手段】露光装置は、固定フレーム３と、フォトマスク９を水平に支持するフォトマスク支持ベース４とを備える。フォトマスク支持ベース４は、枢軸５によって、固定フレーム３に対して枢動可能に取り付けられる。基板１０を水平に支持する基板支持台１３が露光位置Ｅから作業位置Ｗへと退避したのち、フォトマスク支持ベース４は枢軸５の軸線の回りを水平位置から垂直位置まで枢動可能となる。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクを、パターンが描かれた中央部分とその周囲の力伝達部分とに分けて作成し、その後、接合することにより、材料費の低減および新たな設備投資の回避の可能性をもたらす。
【解決手段】フォトマスク１は、パターン表示領域５を含む中央部分３と、中央部分３の外周縁部を取り囲む力伝達部分４とに分けて作成される。両者は粘着テープ７で互いに接合される。力伝達部分４は、中央部分３を弾性的に変形させるための力付与手段と連結するための連結部（孔）８を有する。 （もっと読む）

【課題】面発光素子と電極間の配線の保護ができず、電源との接続、面発光素子の冷却の信頼性の確保が十分でない。
【解決手段】冷却ヘッダ１１４の上面に接触して配置された３列３台、合計９台の発光モジュール５の各列上方に、長方形電極板２０が設けられ、この長方形電極板２０の下面と各発光モジュール５の上面とに接した光照射方向２３と同じ方向に弾力性を持つ中空の弾性電極部材１９を備え、各長方形電極板２０と各電源２２が配線１１２で接続され、冷却ヘッダ１１４と各電源２２が配線１１３で接続され、各長方形電極板２０は、両端部で絶縁材の支柱２１を介して冷却ヘッダ１１４に固定され、中空の弾性電極部材１９の中空部に前記光学４角柱３を設ける。 （もっと読む）

【課題】基板とフォトマスクとを、全面領域に渡って特異点なく連続した所望の湾曲状に変形させ、露光する。
【解決手段】露光装置は、基板支持部材２を基板１とともに湾曲状に変形させるための変形手段６，７を備える。変形手段は、基板支持部材２に対して少なくともひとつの力の作用点１４を有する第二の駆動機構６と、基板支持部材２の上下方向の移動を規制するとともに傾斜および横方向の移動を許容する連結機構７とを備える。露光装置はさらに、基板支持部材２を横方向に関して位置規制する基板支持部材位置規制機構８ａ，８ｂと、基板１に対して接触および離反する方向へのフォトマスク４の移動を許容するフォトマスク支持部材５と、フォトマスク支持部材５に対してフォトマスク４を横方向に関して位置規制するフォトマスク位置規制機構９とを備える。 （もっと読む）