【課題】 薄肉小型化される傾向にあるガラス板などの小片の板状物を、従来の分離装置に比して、確実に信頼性よく分離する板状物分離装置を提供する。
【解決手段】 板状物整列体１０の板状物（ガラス板）１の対向二辺の両端面を弾性を利用して挟持して板状物整列方向に移送する仮保持部材（ゴムローラ）３０を具備し、この仮保持部材３０の動きに伴って板状物整列体１０の前方から１枚ずつ分離すると共に、分離した板状物１を板状物整列方向に真空吸引して保持する吸着部材４０に受け渡すように構成する。 （もっと読む）

【課題】 厚さ５０μｍ程度の極薄型のダイでもボイド残留の影響なくして、良好に基板にマウントできるダイボンダー用コレットの提供。
【解決手段】 矩形のラバー製弾性吸着部材２０と、吸着部材２０をその側面２０ｂから抱き込むように加圧して保持するホルダー３０を備えたコレット１０で、吸着部材２０の下面の吸着面２０ａの中央部Ｍを除く周辺部Ｎのみに真空式吸引穴２１を形成し、薄型ダイ４を吸着することで吸着面２０ａの中央部Ｍとダイ４の中央部を下方に凸球面状に突出変形させた状態で、ダイ４を基板４０にマウントする。 （もっと読む）

【課題】 半導体チップとエキスパンド用シートを有するウェーハリングの品種切替時の作業ミス発生を防止した、設備投資的に有利なウェーハリング移送システム。
【解決手段】 ウェーハリング１の品種切替時に、ウェーハリング１のシート２をエキスパンドする第１作業位置Ｐ１でエキスパンド用加圧リング３２に形成した品種表示部３２ｃを、ハンドリング用第２作業位置Ｐ２に設置したチップ認識カメラ５０で撮像して、コントローラ５１で適正な品種であるかどうかを判別するようにしたウェーハリング移送システム。 （もっと読む）

【課題】 エキスパンドされたシート上のペレットをニードルレスのピックアップユニットで能率よくピックアップする。
【解決手段】 エキスパンド機構のステージ１上で伸縮性シート３を放射状に伸展させて、シート３上の複数のペレット５を１枚ずつニードルレス式ピックアップユニット２０の揺動アーム２２でピックアップする方法と装置で、カメラ２５でシート３上のペレット５を撮像し、撮像した画像信号を制御回路部３０で演算処理する機能と、揺動アーム２２をアーム回転部４０で１８０°回転可能に支持する機能を有し、ペレットピックアップ動作の途中で適宜に制御回路部３０からの制御信号に基づいて揺動アーム２２を１８０°反転させてペレットピックアップ動作を継続させる。 （もっと読む）

【課題】 リードフレームなどの帯状ワークのワーク幅方向に離隔する複数の被マウント箇所にテープ状部品をマウントする部品実装システムのインデックス向上を図る。
【解決手段】 ワーク１の任意の被マウント箇所Ｑ１、Ｑ２に、ワーク搬送機構２の上方に配置された部品供給ユニット４０とピックアップユニット５０でテープ状部品１３を単品ずつマウントするシステムで、両ユニット４０、５０をワーク搬送装置２の上方の所定の高さ位置でワーク幅方向に定ストロークＳ４で往復移動させ、この移動にオーバーラップさせて部品供給ユニット４０でピックアップ箇所Ｐに単品のテープ状部品１３を供給し、この部品をピックアップユニット５０の作業ヘッド５１で吸着してワーク１上へとマウントする。 （もっと読む）

【課題】 一対のレール間隔の不良を速やかに検知して、ワーク搬送の作業能率を向上させる。
【解決手段】 固定レール２と移動レール３でワーク１を搬送する装置で、移動レール３をレール間隔切替ユニット１０で移動させてレール間隔をワーク幅に対応させて変更する際に、レール間隔切替ユニット１０に添設されたレール間隔検知ユニット２０でレール間隔を検知する。検知したレール間隔が適正範囲内にあるか否かを判定して、ワーク搬送作業を継続させるか、レール間隔を修正するかを選択する。 （もっと読む）

【課題】 ウェーハを確実性良くチップに細分割する方法とこの分割方法を利用したダイボンダーの提供。
【解決手段】 ダイボンダーにおけるエキスパンド機構２０でウェーハリング部品５のテープ３とウェーハ１をエキスパンドしながら、テープ３の裏面から線状押圧体のスキージ８を押し付け、テープ裏面に沿って平行移動させて、ウェーハ１を割断予定線１ａの箇所から順番に分断する。割断予定線１ａは、ウェーハ１の内部にレーザーダイシング法で形成した亀裂による改質領域の他、ウェーハ表面に形成したハーフカットダイシング溝が適用できる。 （もっと読む）

解決すべき課題は、一軸のレーザを用いて、連続的、かつ、広範囲に周期構造を形成することである。解決手段は、一軸で、かつ加工閾値近傍のレーザ１を試料２に照射し、オーバーラップさせながら走査して、入射光と材料表面に沿った散乱光との干渉（１１）によるアブレーション（１２）によって、散乱光を増大させて（１３）、レーザ１の波長λ間隔で干渉を起こさせて（１４）、自己組織的に周期構造を作成することである（１５）。作成される周期構造は、レーザ１の試料２表面への入射角を変更することによって、その周期ピッチが変更される。またレーザ１の試料２表面への入射光が角度を有する場合は、その走査方向を変更することによって、その周期ピッチが変更される。
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【課題】 構造簡単で安価であり、省スペース設計が容易なワーク収納装置。
【解決手段】 クランパー２０で平板状ワーク１の側端部を把持して長さ方向前方に搬送してマガジン３に挿入するワーク収納装置で、クランパー２０にワーク１をマガジン３の奥へと押し込む押込部材２１を設ける。ワーク１を上下から把持する一対の第１クランパー２０ａと第２クランパー２０ｂの少なくとも一方に押込部材２１をワーク搬送方向前方に突出させて一体に形成し、クランパー２０でワーク１をマガジン３に挿入した後、クランパー２０を閉じて押込部材２１の先端でマガジン３から突出するワーク後端部を押してマガジン３内に挿入する。 （もっと読む）