【課題】従来の磁場測定器に使用されるホールプローブでは、一般に磁気検出部分は不透明な状態であり、磁気測定結果を磁場分布パターンとして把握しようとする場合、ホールプローブの磁気検出部分がプローブのどの位置にあるかわかり難く、被測定物との相対的な位置を正確に把握できない。ホール素子チップの磁気検出部を形成する動作層がホールプローブのどこの位置にあるか外部より把握しやすい構造とすることが課題であった。
【解決手段】ホール素子チップの基体を透明ガラスとすること、およびホール素子チップが搭載されるガラスエポキシ配線基板の穴中にホール素子チップが固着され、ガラスエポキシ配線基板との接続部分に使用される樹脂およびホール素子チップの上面を保護する樹脂を透明な樹脂とすることによって、ホール素子チップの磁気検出パターンを形成するＩｎＳｂ層が正確にどの位置にあるか外部より目視して確認が可能なホールプローブとする。 （もっと読む）