【課題】製造工程の複雑化を防止し、炭化珪素基板の制約がなく、かつ基底面転位（ＢＰＤ）をより確実に貫通刃状転位（ＴＥＤ）に転換できる炭化珪素ウェハの製造方法を提供する。
【解決手段】炭化珪素基板１の一方面にＳｉイオンを注入し、又は電子線照射する第１工程と、炭化珪素基板１をアニール処理する第２工程と、炭化珪素基板１の一方面側をエピタキシャル成長させてエピタキシャル膜３を得を形成する第３工程とを備える。前記炭化珪素基板に注入されるイオンは、Ｓｉイオン、Ｃイオン、Ｈイオン、Ｈｅイオン、Ｐイオン、Ａｌイオン、Ｂイオン及びＮイオンからなる群から選択される少なくとも一種である。 （もっと読む）

【課題】物体までの距離を高速かつ正確に計測することができる超音波距離計測装置及び超音波距離計測方法を提供する。
【解決手段】スペクトル拡散方式で物体Ｏの位置を計測する超音波距離計測装置である。第１の拡散符号により変調した第１超音波信号、・・・、第Ｎの拡散符号により変調した第Ｎ超音波信号を、一定時間毎に発生させる符号化信号生成手段１と、超音波信号を送信する超音波送信手段２と、物体に反射した超音波反射信号を受信する超音波受信手段３と、超音波信号の送信から受信までの時間を測定する計測手段５と、超音波反射信号と前記第１の拡散符号、・・・、及び第Ｎの拡散符号との相関を夫々計算し、超音波反射信号を受信した特定時に相関ピークを有する拡散符号により符号変調した超音波信号について、超音波信号が特定時前に最後に送信された送信時から、特定時までの時間差に基づいて、超音波受信手段から物体までの距離を演算する演算手段４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】次数間電流注入方式の単独運転検出装置において、系統擾乱発生時の不要動作防止と、単独運転の高速検出とを両立させる。
【解決手段】単独運転監視装置３６は、連系点電圧Ｖsから、注入次数の高調波成分、その上側、下側次数成分を抽出する第１抽出器４４と、注入次数の電圧Ｖmを抽出する第１補正器４６と、当該電圧Ｖmを判定値Ｊ1と比較して分散電源の単独運転を検出して信号Ｄ1を出力する第１判定器４８とを有する第１監視回路４２を備えている。更に、連系点電圧Ｖsから、補助次数の電圧Ｖpを抽出する第２抽出器５２と、当該電圧Ｖpを判定値Ｊ2と比較して分散電源の単独運転を検出して信号Ｄ2を出力する第２判定器５４と、この信号Ｄ2の継続を判定して信号Ｄ3を出力する継続判定器５６とを有する第２監視回路５０と、信号Ｄ1及びＤ3のＡＮＤを取って単独運転検出信号ＤＳを出力する論理積回路５８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】スペックルパターンの明暗模様の時間変化の測定に基づくひび割れの検出方法において、その検出感度を向上する。
【解決手段】検査対象物Ｍの表面で反射されて位相変調された信号光２と、この検査対象物Ｍの表面で位相変調されていない参照光３との干渉によってフォトリフラクティブ結晶４中に生じたダイナミックホログラムで参照光３を回折し、この回折した参照光３を複数の検出チャンネル５を備えたマルチチャンネル検出器６で受光する。複数の検出チャンネル５のうち受光強度が最も高い受光強度を検出した検出チャンネル５から、予め決めた順番に相当する受光強度を検出した検出チャンネル５をディスクリミネータ７で弁別し、この弁別された検出チャンネル５の受光強度をマルチプレクサ８で積分してノイズを除去する。このノイズ除去によって位相変調を明確にとらえることができ、深いひび割れを高感度に検出できる。 （もっと読む）

【課題】ドーピング密度を増やすことなく、高濃度キャリア走行部を形成でき、高い移動度と低いオン抵抗を実現できる電界効果トランジスタの製造方法および電界効果トランジスタを提供する。
【解決手段】この電界効果トランジスタ１は、窒素ドープｎ型ＳｉＣドリフト層１２のキャリア走行部１４を挟むように形成されたソース１３とドレイン１５とを備える。ソース１３とドレイン１５は、エッチングによってキャリア走行部１４に隣接して形成された段部１６,１７を有する。キャリア走行部１４は、段部１６,１７の段差面１６Ａ,１７Ａに紫外光を照射することによって段部１６,１７から延びるように形成された積層欠陥部１８を有する。積層欠陥部１８は、３Ｃ‐ＳｉＣの結晶構造を持ち、量子井戸構造のようにふるまうことからキャリアがここに多数閉じ込められる。 （もっと読む）

【課題】ヒートポンプユニットの成績係数を下げることのない給湯システムを提供することを課題とする。
【解決手段】循環流路１１が上部と下部に接続された貯湯タンク１と、循環流路１１内を流れる湯水を凝縮器２２により加熱するヒートポンプユニット２と、太陽熱を集熱する集熱器３１、及び、貯湯タンク内に配置される複数の放熱器３２ａ〜３２ｃ、を有する太陽熱集熱ユニット３と、貯湯タンク１内の湯水の温度と放熱器へ送られる熱媒の温度との相対関係により、熱媒の送り先を放熱器３２ａ〜３２ｃの中から決定する制御手段と、を備えている。 （もっと読む）