【課題】容易かつ低コストに加熱炉間のダクト接続作業を行う。
【解決手段】本発明の乾燥装置１は、直列に配置される複数の加熱炉１０Ａ〜１０Ｃと、各加熱炉の筐体２０を貫通して配管されたダクト５０，６０とを有する。隣接する加熱炉１０Ａ，１０Ｂまたは１０Ｂ，１０Ｃの間の筐体２０外部に突出するダクト５０，６０の端部５２１同士を対向させた状態で、該端部５２１，５２１にゴム状シート部材１２０を巻付けて接続する。 （もっと読む）

【課題】室温から高温までの広い使用温度範囲で、すべり、発塵、破損、変形等が生じない軸受構造を提供する。
【解決手段】本発明の軸受構造は、シャフト１２０および複数の軸受１５０Ａ〜１５０Ｇを有する。シャフト１２０は曲げ弾性を有し、弾性変形の範囲内でアーチ状に撓まされる。複数の軸受１５０Ａ〜１５０Ｇはアーチ状に撓まされたシャフト１２０に追従するようにアーチ状に配置され、シャフト１２０を軸支する。シャフト１２０と各軸受１５０Ａ〜１５０Ｇの内輪との間に隙間Ｃが設定され、隙間Ｃに配置されるＯリング１７０を介してシャフト１２０を複数の軸受１５０Ａ〜１５０Ｇにより支持する。 （もっと読む）

【課題】熱風ノズルと搬送ローラとの間の狭い隙間への通箔作業を容易に行う。
【解決手段】本発明の乾燥装置１００は搬送ローラ１５０および熱風ノズル１４２を有する。搬送ローラ１５０は長尺シート状のワークＷを搬送する。熱風ノズル１４２は、搬送ローラ１５０の直上に配設され、ワークＷに向けて熱風を吹き出す。そして、熱風ノズル１４２が、搬送ローラ１５０から上方へ退避可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】アーチ状に配置された複数の搬送ローラを一本の駆動軸により一括で回転駆動させる搬送装置において、回転伝達部品の点数を減らす。
【解決手段】複数の搬送ローラ１１０Ａ〜１１０ＥはワークＷが搬送される方向に沿ってアーチ状に配置される。駆動軸１２０は曲げ弾性を有し、複数の搬送ローラ１１０Ａ〜１１０Ｅのアーチ状の配置に追従するように弾性変形の範囲内でアーチ状に撓まされている。複数の第１歯車１３０Ａ〜１３０Ｅは各搬送ローラ１１０Ａ〜１１０Ｅに対応して駆動軸１２０に軸方向に並んで固定される。複数の第２歯車１４０Ａ〜１４０Ｅは各搬送ローラ１１０Ａ〜１１０Ｅの回転軸に固定され、第１歯車とともに駆動軸１２０の回転を各搬送ローラに伝達する。複数の軸受１５０Ａ〜１５０Ｇはアーチ状に撓まされた駆動軸１２０に追従するようにアーチ状に配置され、駆動軸１２０を軸支する。モータ１６０は駆動軸１２０を回転駆動する。 （もっと読む）

【課題】洗浄水を必要とせずにメッシュベルトの汚れを除去することができるベルトクリーニング装置を提供する。
【解決手段】ベルトクリーニング装置２００は、無端状に形成され、被処理物Ｗを搭載して搬送するためのメッシュベルト２１０をクリーニングする。また、ベルトクリーニング装置２００は、第１円柱ブラシ部材２２０および第２円柱ブラシ部材２３０を備える。第１円柱ブラシ部材２２０は、被処理物Ｗが搭載されない領域に配置され、メッシュベルト２１０における被処理物Ｗの搭載面に摺接する。第２円柱ブラシ部材２３０は、第１円柱ブラシ部材２２０に対向して配置され、メッシュベルト２１０における被処理物Ｗの非搭載面に摺接する。 （もっと読む）

【課題】搬送ラインを逆転駆動することが可能であり、搬送不良発生時に早急な復帰を目指せるワーク検知装置を提供する。
【解決手段】本発明のワーク検知装置１は、検知レバー１０、揺動軸２０、バランス部材５０、および検知スイッチ１００を備える。検知レバー１０は、搬送ライン上を搬送されるワークが当接することで中立位置から揺動される。揺動軸２０は、検知レバーを揺動自在に支持する。検知スイッチ１００は、検知レバー１０の揺動によりオンされる。バランス部材５０は、揺動軸２０に取り付けられ、検知レバー１０を中立位置に均衡状態で保持する。 （もっと読む）

【課題】別個の装置を必要とせず、簡単な構成で軸受を冷却することが可能であり、設備コストおよび運転コストの削減を可能とした熱処理装置を提供する。
【解決手段】この発明の熱処理装置１は、熱処理炉２、攪拌翼４、軸受５，６、および回転翼７を備える。熱処理炉２は被処理物を収容する。攪拌翼４は、熱処理炉２の炉壁を貫通して熱処理炉２の内部と外部とにわたって配置される駆動軸１８の先端に取付けられ、炉内の雰囲気ガスを攪拌する。軸受５，６は、熱処理炉外に軸受保持部材１４，１６を用いて取付けられ、駆動軸１８を軸承する。回転翼７は、駆動軸１８に固定される。この構成において、駆動軸１８により回転翼７が回転されることにより生ずる空気流により軸受保持部材１４，１６および軸受５，６が冷却される。 （もっと読む）

【課題】温度調整作業の簡便化に寄与する熱電対付きウエハを提供する。
【解決手段】この発明の熱電対付きウエハ１０は、ウエハ１１の一方面に一対の素線１３，１４の一端同士を接合した感温部１３が固定され、ウエハ１１の反対面に一対の素線１３，１４の他端がそれぞれ接続される一対の電極板１５，１６が設けられる。そして、一対の電極板１５，１６に対応してウエハ１１に一対のスルホール１１１、１１２が設けられ、各素線の他端が各スルホール１１１、１１２を通して電極板１５、１６に接続される。 （もっと読む）

【課題】ボートの傾きの矯正機構を低コストに提供する。
【解決手段】この発明のウエハ搬送装置１は、ボート２の中心から近い内側に第１接点３１よりも周長が長い第２接点３２を有し、両車輪３Ｌ，３Ｒの高さが等しくボート２が略水平なときは、両車輪３Ｌ，３Ｒとも第１接点３１でボート受け４の走行面４１に接して回転し、一方の車輪３Ｒが下方で、他方の車輪３Ｌが上方となるようにボート２が傾いたとき、一方の車輪３Ｒが第１接点３１でボート受け４の走行面４１に接して回転するとともに、他方の車輪３Ｌが第２接点３２でボート受け４の走行面４１に接して回転する。 （もっと読む）

【課題】雰囲気温度の上昇を抑制しながら被処理品を効率よく熱処理する。
【解決手段】この発明の熱処理装置１０は、熱処理炉１、熱源２１、フィルタ３、および透光部材４を備える。熱処理炉１は被処理品１００を収容するものである。熱源２１は、赤外線を放射するものが用いられる。フィルタ３は、熱源２１に隣接して配置され、所定波長以上の赤外線をカットするものである。透光部材４は、フィルタ３に対向して熱源２１と反対側に離隔配置され、フィルタ３によりカットされない赤外線を透過させるとともにフィルタ３を熱処理路１内の雰囲気から分離するものである。 （もっと読む）