説明

新光電気工業株式会社により出願された特許

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【課題】1つの層でガス流路が形成された静電チャック及びその製造方法、並びに前記静電チャックを有する基板温調固定装置。
【解決手段】基板載置する基体の内部に電極と環状のガス流路を有する静電チャックの製造方法であって、第1のグリーンシート102に隣接する複数の貫通孔180と連結部190を形成する貫通孔形成工程と、第2のグリーンシート101上に第1のグリーンシート102を仮接着し、複数の貫通孔180の一方の側を塞ぐ仮接着工程と、前記仮接着工程の後に、連結部190を除去し複数の貫通孔180を一体化して環状の貫通孔181を形成する連結部除去工程と、第1のグリーンシート102上に第3のグリーンシートを仮接着し、環状の貫通孔181の他方の側を塞ぎ、第1のグリーンシート102のみに環状のガス流路を形成するガス流路形成工程と、仮接着された各グリーンシートを焼成して前記基体を形成する基体形成工程と、を有する。 (もっと読む)


【課題】はんだによる短絡不良を低減すること。
【解決手段】半導体素子10の一主面には複数の電極パッド11が、半導体素子10の外周に沿って矩形枠状に配列されている。各電極パッド11には、柱状の電極端子13が立設されている。各々の電極端子13の中心軸L1は、電極パッド11の中心から、電極パッド11の配列方向と直交する方向に沿って半導体素子10の外側にずれた位置に形成されている。半導体素子10が実装される配線基板20には、半導体素子10の電極パッド11と対応する複数の接続パッド22が形成されている。各接続パッド22の中心L2は、半導体素子10の電極パッド11の中心と略一致する。また、各接続パッド22は、配列方向と直交する方向、即ち半導体素子10の外周と直交する方向に沿って延びる矩形状に形成されている。電極端子13は接続パッド22にはんだ30により電気的に接続される。 (もっと読む)


【課題】はんだによる短絡不良を低減すること。
【解決手段】半導体素子10の一主面には複数の電極パッド11が、半導体素子10の外周に沿って矩形枠状に配列されている。各電極パッド11には、柱状の電極端子13が立設されている。電極端子13の基端部(金属端子部15の基端部16及びバリア層14)は電極パッド11に接続されている。電極端子13(金属端子部15)の先端部17は略半円柱状に形成されている。この略半円柱状の先端部17は、先端面の弧部分が半導体素子10の外側を向くように形成されている。配線基板20の接続パッド22は、配列方向と直交する方向、即ち半導体素子10の外周と直交する方向に沿って延びる矩形状に形成されている。電極端子13は接続パッド22にはんだ30により電気的に接続される。 (もっと読む)


【課題】優れた放熱性能を有する電子部品搭載用パッケージ及び前記電子部品搭載用パッケージに複数の電子部品を搭載した電子部品パッケージ、並びにそれらの製造方法を提供すること。
【解決手段】本電子部品搭載用パッケージは、導電体からなる細長状部が複数並設された電子部品搭載部と、放熱板と、前記電子部品搭載部と前記放熱板とを埋設する樹脂部と、を有し、前記放熱板上に前記電子部品搭載部が配置され、前記樹脂部上面から、前記細長状部上面が露出している。 (もっと読む)


【課題】スクリーン印刷法により開口部を形成する場合であっても、認識マークの認識性の低下を抑制することができるという効果を奏する。
【解決手段】配線基板1は、基板10と、基板10の第1主面R1上に形成された複数の配線パターン20と、基板10の第1主面R1上に形成され、配線パターン20の一部を露出するように形成された絶縁層50と、絶縁層50から露出された配線パターン20上に形成された金属層30とを有している。絶縁層50は、金属層30の上面を全て露出させるとともに、金属層30の周囲に配線パターン20の上面20Aを露出させる開口部50Yが形成されている。そして、開口部50Yから露出された配線パターン20上に形成された金属層30は、上面の全てが絶縁層50から露出されることで認識マーク40となる。 (もっと読む)


【課題】 発光効率の向上を図ると共に色ムラを抑制する。
【解決手段】 出光面2aから光を出射する半導体発光素子2と、半導体発光素子から出射された光が入射され半導体発光素子の出光面に対向して位置された入射面4と、入射面から入射された光を外部へ出射する出射面5と、入射面と出射面の間に位置する外周面6とを有する波長変換層3とを備え、波長変換層の外周部の少なくとも一部が外周面側に凸の突状部3aとして設けられ、突状部の外周面が入射面に連続する第1の傾斜部6aと出射面に連続する第2の傾斜部6bとを有し、波長変換層の外周面に入射面から入射された光を反射する光反射層が設けられ、光反射層に第1の傾斜部に接する第1の反射面7aと第2の傾斜部に接する第2の反射面7bとが形成された。 (もっと読む)


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