大日本スクリーン製造株式会社により出願された特許

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【課題】パターンを担持したブランケット等の担持体を基板に対して位置合せを行う(アライメント)時および担持体の中央部を基板に加圧当接する(転写)時に、担持体保持手段上での担持体の移動を防止してパターン転写を良好に行うことができるパターン転写装置を提供する。
【解決手段】押さえ部材71に対して各ピストン724の先端部が遊嵌されており、水平面内で移動自在となっており、押さえ部材71はブランケットBLの周縁部を押さえ付けたまま、下ステージ部5とともに移動してアライメント工程中にブランケットBLが吸着ステージ51上で移動するのを確実に防止する。また、ブランケットBLの中央部を浮上させている際にも、押さえ部材71は、アライメント工程が完了した時点での位置決め状態のままブランケットBLの周縁部を押さえ付ける。 (もっと読む)


【課題】透明な平板状の物体の一方主面を、他方主面側から該物体を介して撮像する技術において、特に対象物が薄い場合でも支障なく撮像を行うことのできる技術を提供する。
【解決手段】ブランケットBLを吸着保持する吸着ステージ51の上面510と、アライメントパターンAP2を下方から撮像するための石英窓52aの上面520とを同一平面とせず、石英窓52aの上面520を下方に後退させて配置する。ブランケットBLと石英窓52aとが部分的に接触することにより生じる干渉縞が画像に写り込むのを防止することができる。 (もっと読む)


【課題】パターン形成を安定して行うことができるパターン形成装置およびパターン形成方法を提供する。
【解決手段】開口P(0)に隣接する開口P(+1)に接続される正圧バルブを閉じたまま吸着バルブを開状態から閉状態に切り替えて開口P(+1)への負圧供給を停止する。すると、開口P(+1)近傍では、加圧空間SP5内の加圧力に対するブランケットBLを保持する力が次第に弱くなり、それに伴って加圧空間SP5内の気体成分が、ブランケットBLの開口P(+1)の鉛直上方部分と上面51aとの間に流入して当該ブランケット部分を上面51aから浮き上がらせて版PPの下面に当接させる。このように、上記加圧空間SP5内の圧力が急激に変動するのを抑制しつつ当接領域CAが中央部から(+Y)端縁側に緩やかに安定して拡幅される。 (もっと読む)


【課題】2つの基板のそれぞれに形成されたアライメントマークの両方に同時にピントを合わせることができない場合であっても、それらの位置合わせを高精度に行うことを可能にする。
【解決手段】パターンを転写される基板に形成されるアライメントマークAM1は、正方形の中実図形であるアライメントパターンAP101〜AP109、AP111〜AP114を配列してなるものとする。一方、基板に転写すべきパターンを担持するブランケットには、アライメントマークAM2として、環状の中空矩形のアライメントパターンAP2をパターンと同じ材料で形成する。アライメントマークAM1は、低い空間周波数成分をアライメントパターンAP2よりも多く含むパターンにより構成されており、ピントが合わない状態で撮像された場合でも重心位置を精度よく検出することが可能である。 (もっと読む)


【課題】パターンを担持したブランケット等の担持体と基板を互いに密着させた後、両者を互いに離間させることで剥離して担持体上のパターンを基板に転写するパターン転写技術において、担持体と基板との剥離を良好に行う。
【解決手段】離間開始時では第1離間速度V1でブランケットBLおよび基板SBを互いに離間移動させてブランケットBLと基板SBとの密着領域CPの各角部でブランケットBLおよび基板SBを部分剥離させた(第1工程)後、当該部分剥離後に離間速度を、第1離間速度V1よりも遅い第2離間速度V2に切り替えて、少なくとも密着領域CPが円弧を描く前までの間、この第2離間速度V2でブランケットBLに対して基板SBを離間移動されてブランケットBLおよび基板SBの剥離を進行させる(第2工程)。 (もっと読む)


【課題】パターンを担持したブランケット等の担持体と基板を互いに密着させた後、両者を互いに離間させることで剥離して担持体上のパターンを基板に転写するパターン転写技術において、担持体と基板との剥離を良好に行う。
【解決手段】剥離工程を開始する前あるいは剥離開始と同時に、吸着プレート51で複数の開口のうち開口形成エリアOFA内で有効パターンエリアEPAを取り囲むエリア、つまり非パターンエリアNPAに位置する開口P(+n)、P(−n)への負圧供給を開始する。これによって、開口P(+n)、P(−n))に対向するブランケット部分が担持体保持面51aに吸着保持され、剥離時においてブランケットBLを担持体保持面51aに保持する力、つまり保持力が増大する。 (もっと読む)


【課題】透明な平板状の物体の一方主面を、他方主面側から該物体を介して撮像する技術において、特に対象物が薄い場合でも支障なく撮像を行うことのできる技術を提供する。
【解決手段】ブランケットBLを吸着保持する吸着ステージ51の上面510と、アライメントパターンAP2を下方から撮像するための石英窓52aの上面520とを同一平面とせず、石英窓52aの上面520を下方に後退させて配置する。ブランケットBLと石英窓52aとが部分的に接触することにより生じる干渉縞が画像に写り込むのを防止することができる。石英窓52aの上面520の上方に形成されたギャップ空間GSに真空吸着されたブランケットBLが引き込まれて変形するのを防止するため、気体流路518およびバルブV53を介してギャップ空間GS内の気圧を調整する。 (もっと読む)


【課題】ブランケット等の担持体に担持される塗布層を版でパターニングすることで形成されるパターン層を基板に転写する印刷装置において版および基板をそれぞれ異なる移動体により搬送する際に両移動体の相互干渉を簡易な構成で防止することを目的とする。
【解決手段】搬送装置2を、版受取位置XP21と版保持位置XP23との間で版を支持しながら移動可能な版用往復移動体25Lと、基板受取位置XP25と基板保持位置XP23との間で基板を支持しながら移動可能な基板用往復移動体25Rと、両移動体25L,25Rを一体的に移動させる駆動機構22とを備えて構成する。駆動機構22は、両移動体25L,25Rを第1方向に移動させてそれぞれを版受取位置XP21および基板保持位置XP23に位置決めし、両移動体25L,25Rを第1方向と反対の第2方向に移動させてそれぞれを版保持位置XP23および基板受取位置XP25に位置決めする。 (もっと読む)


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