【課題】 大型ガラス基板全面に対する浮上量を高めつつガラス基板の撓みを回避することができる等、大型ガラス基板の搬送に対処できる浮上ユニットの提供。
【解決手段】 実施形態に係る浮上ユニット１は、搬送する大型ガラス基板Ｇに対応させた所定サイズのベース体２と、このベース体２の底面２０に設けられた給気部２１と、ベース体２の上面２２に設けられた多孔部２３と、給気部２１からベース体２内に流入し、多孔部２３から流出して基板Ｇを浮上させる空気を、ベース体２の上面２２から底面２０に流出させ、且つ、ベース体２外に排気させる排気部２４と、この排気部２４に設けられた流量調整器２５と、ベース体２の上面２２のエッジ部２６に形成され、且つ、基板Ｇを動圧空気により浮上させるエッジ孔部２７と、このエッジ孔部２７から流出する空気の風速を調整する風速調整器２８を備えている。 （もっと読む）

【課題】 ワーク搬送システムのスケールダウンおよび装置の小型化を図ることができ、かつ、ゴミなどの付着を防止しつつワークをスムーズに受け渡しすることができるトランスファロボットを提供する。
【解決手段】 トランスファロボットＡ１は、上下方向に開放したオープンスペース４０をもつフレーム部材４と、オープンスペース４０を跨いでフレーム部材４に梁状に設けられているとともに、ワークＷの下面を支持しながら水平方向に伸縮する複数のスライドアーム機構５と、複数のスライドアーム機構５と上下方向に干渉することなくオープンスペース４０内に収まるように設けられているとともに、フレーム部材４が下降移動して所定の位置にある状態では、相対的にオープンスペース４０よりも上方に位置し、その際、ワークＷを空気圧により浮上させて保持するエアベントステージ６とを備えている。 （もっと読む）