第一施設工業株式会社により出願された特許

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【課題】 大型ガラス基板全面に対する浮上量を高めつつガラス基板の撓みを回避することができる等、大型ガラス基板の搬送に対処できる浮上ユニットの提供。
【解決手段】 実施形態に係る浮上ユニット1は、搬送する大型ガラス基板Gに対応させた所定サイズのベース体2と、このベース体2の底面20に設けられた給気部21と、ベース体2の上面22に設けられた多孔部23と、給気部21からベース体2内に流入し、多孔部23から流出して基板Gを浮上させる空気を、ベース体2の上面22から底面20に流出させ、且つ、ベース体2外に排気させる排気部24と、この排気部24に設けられた流量調整器25と、ベース体2の上面22のエッジ部26に形成され、且つ、基板Gを動圧空気により浮上させるエッジ孔部27と、このエッジ孔部27から流出する空気の風速を調整する風速調整器28を備えている。 (もっと読む)


【課題】 ワーク搬送システムのスケールダウンおよび装置の小型化を図ることができ、かつ、ゴミなどの付着を防止しつつワークをスムーズに受け渡しすることができるトランスファロボットを提供する。
【解決手段】 トランスファロボットA1は、上下方向に開放したオープンスペース40をもつフレーム部材4と、オープンスペース40を跨いでフレーム部材4に梁状に設けられているとともに、ワークWの下面を支持しながら水平方向に伸縮する複数のスライドアーム機構5と、複数のスライドアーム機構5と上下方向に干渉することなくオープンスペース40内に収まるように設けられているとともに、フレーム部材4が下降移動して所定の位置にある状態では、相対的にオープンスペース40よりも上方に位置し、その際、ワークWを空気圧により浮上させて保持するエアベントステージ6とを備えている。 (もっと読む)


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