【課題】高精度で信頼性の高い過酸化水素の濃度測定を行う方法を提供する。
【解決手段】純水製造装置の配管から分取した試料水を第1の配管により電量滴定セルに導入して電気滴定により過酸化水素濃度を測定する試料水電気滴定工程と、実質的に過酸化水素を含まない水からなる基準水を第２の配管により前記電量滴定セルに導入して電気滴定により過酸化水素濃度を測定する基準水電気滴定工程と、前記試料水電気滴定工程における測定結果を、前記基準水電気滴定工程における測定結果で補正して、前記試料水中の過酸化水素濃度を求める過酸化水素の濃度測定方法において、第1の配管と第２の配管の途中にこれら配管の温度の高い側から温度の低い側へ熱を伝導させる共通の熱交換器を介在させて、微量過酸化水素の濃度を測定する。 （もっと読む）

【課題】フォトレジスト膜形成用の樹脂溶液から、高い除去効率で、イオン性不純物や金属不純物を除去する不純物除去方法及び不純物除去用濾過装置を提供する。
【解決手段】フォトレジスト膜形成用の樹脂溶液を、繊維径２０μｍ以下、密度が７０〜１１０ｇ／ｍ^２のポリオレフィン系の不織布に、放射線グラフト重合法によりイオン交換基及び／又はキレート基を１ｍeｑ／ｇ以上固定化し、層厚２０ｍｍ以上に加圧積層してなる濾過部材に透過させるフォトレジスト膜形成用の樹脂溶液から、高い除去効率で、イオン性不純物や金属不純物を除去する不純物除去方法及び不純物除去用濾過装置。 （もっと読む）

【課題】液中に微量に存在する金属成分を、前処理を行わず、安価で簡便な操作により迅速に微量金属を測定可能とした微量金属の測定方法及び測定装置を提供する。
【解決手段】微量の金属成分を含む濃厚アルカリ溶液等からなる測定対象液体を必要に応じて加温するヒーター２と、該測定対象液体を通液させる測定用流路を有するフローセル３と、フローセル３の測定用流路内に設けられた作用極、対極及び参照極からなる測定用電極を用いてストリッピングボルタンメトリー法による電気化学測定を行い、得られたデータに基づいて測定対象液体中の金属濃度を求める電気化学測定手段４と、を有し、測定用流路の短径を測定対象液体の濃度拡散層厚と所定の関係となるように通液可能とする微量金属の測定装置１。 （もっと読む）

【課題】半導体インゴットの切断工程又は半導体インゴットから切削した半導体ウエハの加工工程で排出される使用済みの冷却液の循環再使用を可能とする冷却液の回収方法及び装置を提供する。
【解決手段】半導体インゴットの切断又は半導体インゴットから切断された半導体ウエハの加工装置２から排出される使用済みの冷却液を処理して固形粒子を粗除去する遠心分離機４と、遠心分離機４で固形粒子が粗除去された使用済みの冷却液を濾過する直径０．０２μｍ以上の粒子を濾別可能なフッ素系樹脂からなる膜分離装置５と、膜分離装置５を透過した使用済み冷却液を加工装置２に還流させる還流手段と、を有する使用済み冷却液の回収装置１。 （もっと読む）

【課題】電気脱イオン装置の運転を断続で行っても製造される純水水質の低下を招くことなく、ユースポイントの純水使用量に応じて純水装置の断続運転制御を行うことのできる、純水装置を提供する。
【解決手段】電気脱イオン装置を有し、製造された純粋を貯留する純水タンクの水位が上昇したとき運低を停止し、水位が下降したとき運転を再開する純水装置において、運転の停止状態から運転再開するにあたって、電気脱イオン装置の前段に設置された装置で処理された水を所定の時間排水(ブロー)し、しかる後、この前段装置で処理された水を電気脱イオン装置に被処理水として供給する。運転再開直後の前段装置からの高いＴＯＣ濃度の処理水を排出することで、運転再開時の電気脱イオン装置の処理水の水質悪化が防止される。 （もっと読む）

【課題】従来の検出感度を維持しつつ、検出対象物が含まれていることを検出することができ、特に化学的に不安定な反応中間体をも検出可能とした電気化学センサー並びに電気化学的検出装置及び方法を提供する。
【解決手段】孔道が円筒状かつ真直であり、均一な孔径を有するろ過膜の表面に導電膜を形成した作用極用の電気化学センサー用電極１１Ａと、孔道が円筒状かつ真直であり、均一な孔径を有するろ過膜の表面に導電膜を形成した対極用の電気化学センサー用電極１１Ｂと、を短絡しないように重ねてなる電気化学センサー１１と、作用極及び対極間の電位差を一定にする電位制御手段２２と、電気化学センサー用電極において、検出対象物の酸化又は還元による電流値の変化を測定する電流測定手段２３と、を有する電気化学的検出装置２１。 （もっと読む）

【課題】排水中に含まれる難分解性物質を効率的に分解除去し、従来方法と比較して、より低濃度まで処理可能な排水処理方法を提供する。
【解決手段】難分解性物質を含む被処理水を、オゾン、紫外線及び過酸化水素のうちの少なくとも２つを用いて促進酸化処理する排水処理方法であって、前記被処理水に、炭素数１〜６のカルボン酸、炭素数１〜６のカルボン酸塩、炭酸ガスまたは水溶性の炭酸塩のうちの少なくともいずれか一からなる反応助剤の存在下、前記被処理水のｐＨ値を６．５より大きく１０以下の値に調整して、促進酸化処理を行う排水処理方法。 （もっと読む）

【課題】剥離性能に優れたレジスト剥離剤の提供及び剥離性能に優れたレジスト剥離剤を選別するためのレジスト剥離剤の評価方法を提供する。
【解決手段】炭酸エチレン、炭酸プロピレン又は炭酸エチレンと炭酸プロピレンの混合物に、８０容量％以下となる量のエチレングリコール及び／又はプロピレングリコールを添加したレジスト剥離剤、レジスト剥離剤を選別するための評価方法は、基板表面にネガ型レジストを塗布し、プリベーグ、露光を行ったレジスト被膜試料を作成する工程と、前記レジスト被膜試料とレジスト剥離剤を接触させてレジスト被膜の除去速度を計測する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】圧力損失の増大や、膜の閉塞による回収率の大幅な低下を抑制しながら、研磨剤が高濃度に濃縮されたスラリーを回収可能な研磨剤の回収装置および研磨剤の回収方法を提供する。
【解決手段】ＣＭＰ工程で使用された使用済み研磨スラリーから研磨剤を回収する装置であって、前記使用済み研磨スラリーが導入される孔道が円筒状で、かつ有効濾過部の長さが０．８ｍ以下である分離膜４１を有しており、前記使用済み研磨スラリーの研磨剤濃度を、１０質量％以上の濃度に濃縮する研磨剤の回収装置１。 （もっと読む）

【課題】超純水中に含まれる微粒子数を測定する方法及び装置を提供する。
【解決手段】一端に測定対象の超純水の流入口を有し、他端に流出口を有する筒状の装置本体と、装置本体の中空部を２分する水密隔壁と、水密隔壁を水密的に貫通し流出口側端部が封止された有効ろ過面積が８．８ｍｍ²〜３７．７ｍｍ²で内表面がスキン層とされた中空糸膜を有する装置で、測定対象の超純水を内圧ろ過し、中空糸膜の内表面に捕捉された微粒子数を計測する工程を有する。 （もっと読む）