【課題】大気中に浮遊する黄砂等の粒径０．５〜２０μｍ程度の小さな粒子をその粒子形状により分別して測定することが可能な粒子測定装置の提供。
【解決手段】試料空気を通過させる検出部４に導く導入管４ａと、導入管４ａの出口の試料空気の流れ方向に対して直交方向に偏光させた照射光Ｌを検出部４に照射する投光部５と、照射光Ｌの偏光面内内にあり、検出部４を中心として照射光Ｌの光軸に対する交角が６０〜１２０°の方向に集光光学系の光軸を有し、偏光成分を分離して散乱光を検出する受光部６と、受光部６により検出された散乱光の偏光解消度を分析する信号解析部３とを有する。 （もっと読む）

【課題】透明平板基板の表裏に存在する微細な異物を光散乱方式により高感度に検出するとともに、異物が表裏のいずれに存在するかを確実に判別することができる異物検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】透明平板基板に投光系により検出光を照射し、前記透明平板基板に存在する異物による散乱光を受光系により受光して前記異物の存在を検出する異物検査装置において、前記透明平板基板の表面に前記透明平板基板の基板法線に対して所定の入射角で前記検出光を照射する投光系と、前記表面側に設けられ、前記検出光の照射点を基準として、前記投光系と略対称の位置に設けられ、前記検出光が異物に照射された際の散乱光を受光する第１の受光系と、前記表面側で、前記検出光の照射点のほぼ頭上に設けられ、前記散乱光を受光する第２の受光系とを備える。 （もっと読む）

【課題】ウェハのどの部分にどの程度の大きさの欠陥があるのか、又どの程度の異物がどの部分に付着しているのかを、正確、かつ定量的に検出可能なウェハ周縁端異物検査方法、及び異物検査装置を提供する。
【解決手段】複数の照明系によりウェハ周縁端を照らし、前記ウェハ周縁端の各部をカメラにより撮像するとともに撮像画像を解析し、前記ウェハ周縁端に付着する異物、及び/又は欠陥の有無を検査するウェハ周縁端の異物検査方法において、前記ウェハ周縁端の近傍の上下に前記ウェハの表面又は裏面からの反射光を水平方向に曲げるプリズム１を前記ウェハ周縁端を挟みこむように設け、前記水平方向に曲げられた反射光路上に設けたカメラにより前記ウェハ周縁端を検査する。 （もっと読む）

【課題】ウェハ周縁端に付着した異物を正確に、かつ定量的に検出可能なウェハ周縁端の異物検査方法、及び異物検査装置を提供する。
【解決手段】投光系により光をウェハ周縁端に照射し、受光系によりウェハ周縁端からの散乱光を検出し、検出した散乱光の強度からウェハ周縁端に付着する異物、及び/又は欠陥を検査するウェハ周縁端の異物検査方法において、前記ウェハ周縁端における光のスポット形状を、前記ウェハ周縁端のアペックスの長さ方向に前記アペックスの長さよりも細長く成形する。 （もっと読む）

【課題】簡単な回路構成で電圧をロスすることなく効率的に放電電極に高電圧を印加可能な高電圧発生回路及びイオナイザーを提供する。
【解決手段】放電電極３と接地電極との間に正又は負の直流高電圧を交互に印加し、放電電極のコロナ放電により正負のイオンを発生させるイオナイザーに用いられる正極性及び負極性倍電圧整流回路６ａ，６ｂを含む高電圧発生回路６において、前記正極性整流回路の出力端子間、及び前記負極性整流回路の出力端子間には各々電流制限抵抗が設けられ、前記正極性整流回路と前記負極性整流回路とは直列に接続され、前記放電電極に高電圧が印加されているときの高電圧発生回路６は、前記放電電極と、高電圧を発生している前記いずれかの倍電圧整流回路と、高電圧を発生していない他の倍電圧整流回路の電流制限抵抗とが直列に接続された回路と等価な回路となるように構成する。 （もっと読む）