株式会社ダイナミックスにより出願された特許
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遠心乾燥装置
【課題】 振動を低減して被処理物の損傷を防止できると共に、被処理物の乾燥処理能力を向上できる遠心乾燥装置を提供すること。
【解決手段】 チャンバ内に収容され、回転軸12回りに回転するターンテーブル13と、回転軸に関し対称な位置に2対が等角度間隔でターンテーブルに配置され、それぞれに基板18を保持するクレードル15Aと15B、クレードル16Aと16Bと、チャンバの外側下方で、クレードル15Aと15Bに対応して設けられ、回転軸に直交する方向に移動可能なウェイト33を備えた上段バランス機構部27A及び下段バランス機構部27Bと、チャンバの外側下方で、クレードルクレードル16Aと16Bに対応して設けられ、回転軸に直交する方向に移動可能なウェイト38を備えた上段バランス機構部28A及び下段バランス機構部28Bとを有し、ターンテーブルの回転により、クレードルに保持された基板を乾燥するものである。
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