【課題】基材上に薄膜状の光電変換層を設けてなる光電変換デバイスの製造方法および製造装置において、光電変換層を任意のパターンに成膜することのできる技術を提供する。
【解決手段】高周波電力を与えられたコイル２３と、光電変換層としてのシリコン膜を形成する基材１０とを対向配置し、その間に、光電変換層のパターンに対応する開口部２４１を設けたマスク２４を配置する。コイル２３により高周波磁場を形成した状態で、シランガスを主体とする原料ガスを基材１０およびマスク２４の上部空間ＳＰに送り込むことにより、原料ガスがプラズマ化し、マスク２４を通して所定パターンのシリコン薄膜が基材１０上に堆積する。 （もっと読む）

【課題】基材上にポリシリコン層を含む光電変換層を設けてなる光電変換デバイスの製造方法および製造装置において、低い基材温度でも膜質の良好な光電変換層を形成することのできる技術を提供する。
【解決手段】基材１０上に、第１電極１１１、ｐ型ポリシリコン層１１２、ｉ型中間層１１３、ｎ型アモルファスシリコン層１１４、第２電極１２を順に積層する。各シリコン層の形成には誘導結合プラズマＣＶＤ法を適用し、特にｉ型中間層１１３については基材温度を段階的に低下させることで、ポリシリコン層、微結晶シリコン層およびアモルファスシリコン層を積層した構造とする。 （もっと読む）

【課題】基板に形成された集積回路と電気的に接続されてこの集積回路の電気的な動作確認を行う集積回路検査装置において、安価で、コンパクトかつ取り扱いが容易な装置とその製造方法を提供する。
【解決手段】基板２の集積回路３の複数の入出力端子３ａに接触して、この入出力端子３ａと電気的に接続される複数のプローブ７と、これら複数のプローブ７を集積回路３の複数の入出力端子３ａに接触可能な状態で担持する積層回路部５と、この積層回路部５を担持する積層回路担持基板４とを備え、複数のプローブ７は、長手方向が互いに概ね平行になるような状態で積層回路部５に担持された柱状のカーボンナノチューブ群７ａを備えている。 （もっと読む）

【課題】消化液によって溶解可能な制御層を備えた消化管用経口製剤において、薬剤と薬剤担持層とに対する保護層を薄くすることにより、薬剤と薬剤担持層とを外側の消化液から保護するという保護層の機能を満足しつつ、消化管用経口製剤の寸法を微細なものにして、薬剤の吸収のばらつきを少ないものにする。
【解決手段】薬剤２と、この薬剤２を担持した薬剤担持層３と、この薬剤担持層３の外側の一部分を覆うように設けられ、消化管から分泌される消化液によって溶解可能な制御層６と、薬剤担持層３の外表面の概ね残りの部分を覆うように設けられ、薬剤２と薬剤担持層３とを外側の消化液から保護する保護層５とを備え、保護層５は、化学気相成長法により保護層５の成分が薬剤担持層３の外表面に成層されている。 （もっと読む）

【課題】１層または２層以上の薄膜を、煩わしい作業無しで大量生産することができる成膜方法及び好適な成膜装置を提供する。
【解決手段】一定幅のシート１０が巻回された供給ローラ２から一定距離離れた巻取ローラ６により、前記供給ローラ２から解かれたシート１０を、プラズマＣＶＤ法による薄膜形成ゾーン３、４、５を通過させて巻取る工程と、上記薄膜形成ゾーン３〜５を通過させることに伴って上記シート１０上に上記ゾーン３〜５と同数の薄膜のそれぞれを順次プラズマＣＶＤ法により成膜する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】導電路と導電路との中心間隔をより小さくして微細な中心間隔の電極に対応することができるだけでなく、電極端子の高さに高低差があっても、すべての電極端子を電気的に接触させることができる異方導電性シートを提供する。
【解決手段】電気的絶縁性を有する材料からなる絶縁シート部材４と、この絶縁シート部材４の中に保持され、両端部が絶縁シート部材４の両面に露出した状態で、絶縁シート部材４の表面から裏面にかけて伸びている互いに電気的に絶縁された複数の導電路５とを備え、導電路５は、長手方向が、互いに概ね平行になるような状態で絶縁シート部材４に保持されることにより、互いに電気的に絶縁されている柱状のカーボンナノチューブ群で構成されている。 （もっと読む）

【課題】 衝撃等に対する耐久性を維持しつつ、クラックの発生を効果的に防止することができ、これにより有機ＥＬ素子を長期にわたって湿気、酸素から保護することにより信頼性を向上させることができる封止膜、および有機ＥＬ表示パネル並びにその製造方法を提供する。
【解決手段】 基板３に搭載された有機ＥＬ素子４を被覆して封止する。窒化シリコンからなる第２バリヤ層５１と、この第２バリヤ層５１の内側に配設され当該バリヤ層５３が積層される窒酸化シリコンからなる応力緩和層５２とを含む複数層から構成される。 （もっと読む）

【課題】 微量な物質の分析を微細なデバイスで行うマイクロ・トータル・アナリシス・システム（μＴＡＳ）において、従来のシリコンウェハーやガラス、石英などの基板を備えたμＴＡＳと比較して、製作が容易かつ安価で大量生産に適した実用的なμＴＡＳを提供する。
【解決手段】 微量な物質の試料およびもしくは各試薬が輸送される溝状の流路１ｊが表面に形成されたプラスチック基板１と、少なくともこのプラスチック基板１の表面の各流路１ｊをコーティングする薄膜部３とを備え、この薄膜部３は、少なくとも無機化合物、有機化合物、金属のいずれかを、誘導結合プラズマＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ・ｖｅｐｏｒ・ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法により蒸着したものである。 （もっと読む）

【課題】優れた膜厚均一性を確保することができ、簡単な構造であってかつ安価なＣＶＤ装置を提供する。
【解決手段】内部に基板設置部２５を備えるチャンバー１４の内部に基板処理用のガスを供給して上記基板設置部材２５にセットされる基板１１に処理を施すガス導入部２４を有し、ガス導入部２４が、複数の管１とこれら管１を連通させる管連通・支持部材４とを有するとともに各管１に多数の孔２が設けられ、かつ、上記基板設置部材２５のガス導入部２４とは反対側にコンダクタンス調整のための開口板（コンダクタンスプレート）１７が設けられている。 （もっと読む）