【課題】可及的少量の洗浄ガスにより、ガス容器内を短時間で良好に洗浄することのできる方法を提供する。
【解決手段】バルブ装着口１ｂを有するガス容器１の内部に対し、窒素ガス又は不活性ガスから成る洗浄ガスを給排してガス容器１の内部を洗浄する方法である。先ず、バルブ装着口１ｂに給気口２ａと排気口２ｂとを有する口金２を装着する。口金２には、予め給気口２ａと排気口２ｂとの何れか一方に連通してバブル装着口１ｂからガス容器１の内底部付近まで達する長さを有するノズル管３を接続しておく。バルブ装着口１ｂに装着した口金２の給気口２ａに洗浄ガスの供給源６を配管接続し、排気口２ｂには吸気装置９を配管接続する。そして、吸気装置９により口金２の排気口２ｂを通じてガス容器１内からの強制排気を連続して行う一方、供給源６から口金２の給気口２ａを通じてガス容器１内に洗浄ガスを供給する。 （もっと読む）