【課題】半導体製造工程等において、反応性を有する特殊ガスを吸い込むような場合に好適なスクロール形真空ポンプを提供する。
【解決手段】固定スクロールに設けた渦巻状の固定ラップと、旋回スクロールに設けた渦巻状の旋回ラップを、圧縮室５内において相互に嵌入させるとともに、該旋回スクロールの端板の鏡面と当接する端面の外周側に凹設したダストシール溝部にダストシールを嵌入させ、固定スクロールに対して一定の偏心量で旋回させることにより、吸入孔から吸入した気体を、中心方向への移動に伴って圧縮して外部に排出させるスクロール形真空ポンプであって、前記ダストシール部より内周側に環状溝を設け、この環状溝に穿設した流入孔から不活性ガスを導入する。 （もっと読む）

【課題】低コストな手段で、ロータ間に形成される圧縮ポケットの過圧縮を緩和し、脈動や動力損失及び到達圧力の悪化等を抑制する。
【解決手段】ポンプ室１２の内部で、回転軸１８ａ、１８ｂに、爪部２２ａ、２２ｂをもつ雄ロータ２０と、該爪部が侵入する凹部２６ａ、２６ｂが形成された雌ロータ２４が取り付けられている。回転軸１８ａ、１８ｂを含む平面Ｌに対し、雌ロータ２４の回転方向上流側に窪み３２ａ、３２ｂが刻設されている。窪み３２ａ、３２ｂは、圧縮ポケットＰが吐出口３０との連通を止め、吐出口３０から分離した時から、圧縮ポケットＰが徐々に縮小して消滅する時まで、該窪みを介して圧縮ポケットＰと吐出口３０とを連通させるように、かつ圧縮ポケットＰが消滅すると同時に、吐出口３０との連通を止めるように、配置位置及び大きさ、形状が選定されている。 （もっと読む）

【課題】空気圧縮機から吐出される圧縮空気の保有熱を効率良く回収し、回収した熱エネルギーを空気圧縮機の消費電力節減に利用可能にする。
【解決手段】オイルフリー型空気圧縮機１６の吐出経路１２と低沸点媒体が循環する循環経路１４とを備え、循環経路１４に圧縮空気の保有熱で低沸点媒体を加熱し蒸発させる蒸発器２２と、蒸発器２２の上流側で圧縮空気の保有熱で低沸点媒体を余熱するプレヒータ２４とを備えている。蒸発器２２で蒸発し高圧となった低沸点媒体でスクロール型膨張機３０を回転させ、スクロール型膨張機３０の回転軸に接続された発電機３６で発電させる。スクロール型膨張機３０を出た低沸点媒体を凝縮器３２で冷却し凝縮させる。発電機３６で発電した電力でオイルフリー型空気圧縮機１６の消費電力を補う。 （もっと読む）

【課題】半導体製造工程等において、反応性を有する特殊ガスを吸い込むような場合に好適なスクロール形真空ポンプを提供する。
【解決手段】固定スクロールに設けた渦巻状の固定ラップと、旋回スクロールに設けた渦巻状の旋回ラップを、ハウジングに設けた圧縮室５内において相互に嵌入させるとともに、旋回スクロールを、自転することなく固定スクロールに対して旋回させるようにし、かつ旋回スクロールの自転運動を防止するための自転防止機構部を配設したスクロール形真空ポンプにおいて、前記固自転防止機構部８ａ、８ｂ、８ｃの周囲の空間を連通する環状溝１１ｃを旋回スクロールに対向する筐体１１の端面に設け、この環状溝１１ｃに穿設した流入孔１１ｄから不活性ガスを導入する。 （もっと読む）

【課題】両回転型のスクロール式流体機械において、螺旋状ラップ及び端板で形成される密閉空間で発生した液状物を、低コストな手段で効率良くハウジング外に排出する。
【解決手段】油冷式スクロール式圧縮機１０Ａのハウジング３６の外側壁内面に排出管５４を設けている。排出管５４の流路を形成する内側面５７は、ハウジング３６の内面３６ａに段差なく連設され、かつ内面３６ａの接線ｔの方向に向けられている。排出管５４の開口５６には、ハウジング３６の内面３６ａから内側に突出した突出壁６０が形成されている。ハウジング３６内に滞留し、内面３６ａに沿って旋回する潤滑油を含む液状物ｒは、開口５６から排出管５４に捕集される。 （もっと読む）

【課題】駆動スクロール体と従動スクロール体とを同期回転させる連動機構の長寿命化及び低コスト化を実現する。
【解決手段】駆動スクロール側端板１４の周縁部に貫通孔１４ｂを穿設し、貫通孔１４ｂにピン部材５２を固定する。貫通孔１４ｂに対面する従動スクロール側渦巻き状突起体２６に基台４４，４６を設ける。基台４４，４６の対向面４４ａ、４６ａに円柱形状の凹部４８を刻設し、凹部４８にアルミ製の回転体５０を遊嵌する。回転体５０に偏心孔５１を穿設し、偏心孔５１にピン部材５２を遊嵌する。かかる構成の連動機構４２Ａをスクロール端板の外縁部に、等間隔に奇数個等間隔に配設する。回転体５０に付加される荷重Ｆ_１及びＦ_２が同一面に作用するようにする。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で、除湿行程の圧力損失を伴わず、ドレインの処理が不要であり、かつ圧縮された除熱空気を連続して供給するようにした空気圧縮装置を提供する。
【解決手段】モータ２により駆動される圧縮機１と、圧縮機１から吐出される圧縮空気の圧縮熱を、送風機４から送風する空気をもって除去する熱交換器３と、圧縮機１が吸引する乾燥空気を流す吸気路９と、吸気路９と隔壁１０で仕切って隣接配置され、送風機４から送風され、熱交換器３により加熱された再生空気を流す排気路１１と、圧縮機１が吸引する空気中の水分を吸着し、再生空気により水分を脱着される吸着剤を担持し、吸気路９と排気路１１とに跨るように回転自在に配置された円筒状の除湿ローター５とを備える。 （もっと読む）

【課題】ヒータが不要であり、且つ、気体透過膜を必要としないため、気体透過膜を透過する際に揮発物質等が悪影響を受けることがないＶＯＣ除去液再生・回収装置及び再生・回収方法を提供する。
【解決手段】ＶＯＣ除去液を噴霧する送液ポンプ及びノズルと、前記ノズルを内部に配置した真空容器と、前記真空容器内部を減圧してＶＯＣ除去液に含まれるＶＯＣを真空蒸発させる真空ポンプと、前記真空容器内に蒸発促進気体を導入する気体導入機構と、前記真空容器から処理後のＶＯＣ除去液を排出する排液機構と、を有し、外部からの空気を圧縮して熱エネルギー及び圧力エネルギーを有する圧縮空気を生成する圧縮機を備え、前記送液ポンプからノズルに至る通路上に熱交換器を設け、該熱交換器で前記ＶＯＣ除去液と前記圧縮空気を熱交換して、前記熱エネルギーを前記ＶＯＣ除去液に供給するとともに、前記送液ポンプは空気圧を動力源として駆動するエアー駆動型ポンプであって、該ポンプの動力源として前記圧縮空気の圧力エネルギーを利用する。 （もっと読む）

【課題】
乾式塗装ブースのバッフル板の交換が容易で、作業者の負担を軽減できるバッフル板及びその取付け板を提供する。
【解決手段】
乾式塗装ブースに用いられる塗料ミストの捕集用バッフル板であって、複数の通気窓１６が設けられた矩形の平板１１を、該平板１１の長辺１１ａに沿って両側から平行に内側に向けて折り曲げることにより四方が囲まれた角柱状の２つの部屋２２、２３を形成した塗料ミスト捕集用バッフル板１０と、該バッフル板１０を塗装ブースに取付けるための取付け板２５であって、塗装ブースの前面開口部に複数列横架され、内側に向けて折り曲げられて形成される角柱状の２つの部屋２２、２３に構成されたバッフル板の底板１７、１８の上下位置に形成された一対のスリット１９に嵌入する、角部をテーパー状に形成した一対の保持爪２６を突設して構成される。 （もっと読む）

【課題】精密な膜厚コントロールを必要とせず、ラップ側面に密封性の良好な弾性被膜の形成を可能にすると共に、高精度な膜厚調整が可能な弾性被膜形成手段を実現する。
【解決手段】熱硬化性樹脂であるエポキシ樹脂１０〜２０重量％、ＭｏＳ_２２０〜３０重量％、グラファイト５〜１０重量％、及び残部が有機溶媒からなる塗装液を、吹付ノズル５２から旋回スクロール体２０のラップ側面２４ａに吹き付ける。吹付け時回転台３２上の旋回スクロール体２０を回転させると共に、吹付ノズル５２を吹付け開始時の姿勢を保持したまま、直線状移動経路Ｌ上を旋回スクロール体２０の径方向外側へ向けて移動させる。塗装後塗装液を焼付け乾燥させ、馴染み運転を経て弾性被膜をラップ側面間クリアランスに応じて弾性変形可能な膜厚に形成する。 （もっと読む）