説明

株式会社日本セラテックにより出願された特許

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【課題】保持する基板裏面の面粗さや不可避的な基板反り量のばらつきに影響されることなく、安定して被吸着物である基板の平坦度を高めることが可能な基板保持具を提供する。
【解決手段】基板を保持するための複数の突起2と、外周を囲む第1隔壁3と、基板脱着用のリフトピン7が上下移動可能な複数の貫通孔6それぞれの周囲を囲む第2隔壁5とを、具備する基板保持具1であって、第1隔壁3の上面が突起2の上面と実質的に同一平面上に位置し、かつ、第2隔壁5の上面が突起2の上面より4〜50μm低い位置にあり、かつ、第1隔壁3の上面の表面粗さ(Ra)が0.2μm以下である。 (もっと読む)


【課題】 被吸着基板の温度分布均一性を高めることができる静電チャックを提供する。
【解決手段】 主に100℃以上で使用される静電チャックである。被吸着基板を吸着固定するための吸着面にピンを形成する。このピンと被吸着基板との接触面積を被吸着基板の面積の10%以下とし、ピンの平均高さを5μm以上30μm以下とし、かつ、ピンの高さの標準偏差を1.8以下とした。 (もっと読む)


【課題】 近年、喫煙に対する受動喫煙などによる人体への影響など周囲環境の目が厳しくなってきており、建物内や公共乗り物などにて喫煙箇所の設置が多くなっているが、そこより漏れ出す喫煙臭をさらに低減させるための煤煙臭除去器を提供する。
【解決手段】 紫外線透過筐体1に対して煤煙臭導入口2からたばこの煙、液体導入口3から水道水を導入し、ミスト発生室5において水とたばこの煙の混合クラスターをつくり、無機セラミックス構造体室7へ導入し、多孔質を有する無機セラミックス構造体12の親水性と気孔の相乗効果で効率よく吸着し、処理煤煙臭排出口8での除去率を向上し、たばこの受動喫煙の低減効果が可能となる技術を提供する。 (もっと読む)


【課題】温度変化による位置決め精度の低下がなく、製品歩留まりと信頼性の向上が可能となる静電チャックを提供する。
【解決手段】セラミック中に埋設された電極3を具備した静電チャック1において、該セラミックの23±3℃の温度範囲における熱膨張係数が−0.5×10-6〜0.5×10-6/℃であり、かつ、該セラミックと該電極3の23±3℃の温度範囲におけるそれぞれの熱膨張係数の差が−0.1×10-6〜0.1×10-6/℃であり、かつ、前記電極3の上面に形成された前記セラミック層2の厚みが0.5〜2.5mmであり、前記電極3の厚さが0.01〜0.8mmである。 (もっと読む)


【課題】 高感度に液体中の微量成分を少量の試料においても簡易に測定サイトでリアルタイムに分析、測定するための試料製造装置の提供とその手法を用いた水晶マイクロバランス分析測定装置を提供する。
【解決手段】 液体中に含まれる微量物質を検出するために超音波振動の原理を用い、共振体1に装着されている電極9が施されている圧電特性を持つ無機系セラミックス8に周波数印加を行い液体内に含有する物質を1個以上の水分子にて水素結合または内包し、出来た集合分子体の軽量なものから霧化分離させ、水晶振動子5に霧化した物質を導入することにより、水晶周波数印加装置6により安定発振している水晶振動子5の周波数変化を周波数変化表示装置7による分析において高精度に物質の特定を行う技術を提供する。 (もっと読む)


【課題】 ボイドの大きさが制御されており、優れた耐食性と基材への密着性を有する耐食性部材およびその製造方法を提供する。
【解決手段】
腐食性環境下で用いられる耐食性部材は、基材と、該基材表面の一部もしくは全部を被覆する相対密度が80%以上のセラミックス溶射膜とを備え、前記セラミックス溶射膜表面に存在するボイドの最大ボイド径が25μm以下である。この耐食性部材は、原料として、嵩密度が少なくとも1.5g/cm以上であり、含水率1%以下に乾燥させたYを用い、2個のアノードトーチを備えた溶射装置により、基材に対し40〜110kWの出力でプラズマ溶射することにより得られる。 (もっと読む)


【課題】 地中埋設物を切断事故や災害から防護するための切断防止用保護板を提供する。
【解決手段】 保護板20は、ビッカース硬度が15GPa以上のセラミックスからなる。その主面の輪郭は、互いに平行な直線状の2つの辺21と、外側に突出した円弧状の凸辺22と、凸辺22と平行となるように内側に凸辺22と同じ曲率でへこんだ円弧部23aを備えた凹辺23とを有する。保護板20において、凹辺23と直線状の辺21とが交わる部分の端部は切り落とされており、複数の保護板20の繋ぎ目部に隙間を形成することなく、複数の保護板20を曲線を描くように連結することができる構成とした。 (もっと読む)


【課題】 静電チャック周囲の電界の形成を抑制してパーティクルによる汚染を低減する。
【解決手段】 静電チャック100において、導電性膜10は、静電チャック100の吸着面5を除く表面に被覆形成され、かつ接地部11によって電気的にアースされている。内部電極3と被吸着物としてのウエハWとの間に電圧を印加すると、静電気力が発生してウエハWを吸着する。このとき、接地された導電性膜10により静電チャック100周囲の電位は略ゼロに等しいレベルになるため、パーティクルを引き寄せる電界の形成が抑制され、ウエハWへのパーティクルの付着が防止される。 (もっと読む)


【課題】 ねじれ振動に対して抵抗力及び共振周波数の高いステージ部材を提供することである。
【解決手段】 四角柱状の空隙部を備え、当該空隙部を構成する璧をねじれ変形の方向に対して垂直となるように配置したハニカム構造体を有するステージ部材及び当該ステージ部材を含む露光装置が得られる。ステージ部材のハニカム構造体はセラミックスによって構成することが望ましい。 (もっと読む)


【課題】 価格および形状制約の問題が生じず、ハロゲン系プラズマに対する耐性が高い耐食性セラミック材料を提供すること。
【解決手段】 周期律表3A族に属する元素のうち少なくとも1種の元素と周期律表4A族に属する元素のうち少なくとも1種の元素とを含む酸化物を主体とすることで、耐食性のセラミックス材料が得られる。 (もっと読む)


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